【課題】 低加速電圧を用いた高精度な三次元解析を行える走査型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 二次電子検出器１２よりも電子源側に、４分割された変換電極２１ａ〜２１ｄが配置されている。変換電極２１ａは対物レンズの下面（試料側）より上方に配置されており、その変換電極２１ａに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換され、変換電極２１ａの近傍の二次電子検出器１２ａに捕集される。同様にして、変換電極２１ｂに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換されて二次電子検出器１２ｂにより捕獲され、変換電極２１ｃに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換されて二次電子検出器１２ｃにより捕獲され、変換電極２１ｄに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換され、二次電子検出器１２ｄに捕集される。 （もっと読む）

本発明は試料表面を検査する方法に関する。この方法は、試料表面に向けて誘導される複数の一次ビームを発生するステップと、複数の一次ビームを、試料表面上のそれぞれの位置に集束させるステップと、一次ビームが入射するとすぐ、試料表面から発生する荷電粒子の、複数の二次ビームを収集するステップと、収集された二次ビームの少なくとも１つを光学ビームに変換するステップと、光学ビームを検出するステップとを含む。
（もっと読む）

従来システムの低い解像度及び甚だしい直線性要求を克服する高データレート電子ビームスポット格子アレー像形成システムが提供される。実施形態は、像形成されるべき物体の表面上に互いに離間されたスポットのアレーを同時に照射するための電子ビーム発生器と、上記スポットと上記物体の表面との相互作用の結果として放出される後方散乱電子及び又は二次電子を収集して、上記物体表面の照射部分の像を形成するための検出器とを備えた像形成システムを含む。機械的システムが、上記スポットのアレーの軸にほぼ平行な方向に基板を移動し、その基板が走査方向（ｙ方向）に上記スポットアレーを横切って移動されたときに、上記スポットは、機械的な交差走査方向（ｘ方向）にギャップを残さない経路をたどる。サーボ又は可動ミラーのような補償装置が、可動ステージにおける機械的な不正確さを補償し、これにより、像形成精度を高める。他の実施形態では、基板に対して異なる角度で配置された多数の検出器が電子を収集し、基板表面の多視点像形成を与える。
（もっと読む）