完全に平坦な形態を有し、要素は平坦な非導電性基板に配置され、扇形とりわけ９０°の扇形として構成される、イオンのためのエネルギーフィルター（ｋ）と、イオン化チャンバー（ｂ）と、電子およびイオンを加速するための電極（ｇ、ｈ、ｊ）と、イオンの検出器（ｌ）と、エネルギーフィルター（ｋ）とを含むことを特徴とする質量分析計は、基板に、ドープした小さな半導体プレートおよび配線のフォトリソグラフィーおよびエッチングにより作られ、前記の部品は第２の平坦な非導電性基板により覆われている。
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【課題】 超伝導スペクトロメータ内部に余計な装置を設けることなしに，散乱イオンのサイクロトロン周回数を判別することが可能な平行磁場型ラザフォード散乱装置を提供すること。
【解決手段】 イオンビームが超伝導スペクトロメータ内に入射される前にイオンビームをパルス化し，前記イオンビームをパルス化してから，試料に散乱された散乱イオンが検出器に検出されるまでの時間を測定することにより，前記散乱イオンの飛行時間を測定し，前記飛行時間から前記散乱イオンのサイクロトロン周回数を判別する平行磁場型ラザフォード散乱装置として構成される。 （もっと読む）

【課題】タングステンを減速材として用いた場合と同等又はそれ以上のビーム強度を有し、かつエネルギー分布の幅が狭い低速陽電子ビームを発生することができるタングステンに替わる減速材を用いた陽電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】結晶化されたニッケルメッシュを減速材２として用いる。ニッケルメッシュは、直径１μｍ以上１００μｍニッケル単線からなることが好ましく、ニッケル単線は、酸溶液によるエッチングで線径を細くしたものであることが更に好ましい。 （もっと読む）