【課題】低エネルギーイオン注入システムにおいて、粒子性汚染物質を減少する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】ワークピース（２２８）へのイオン注入の際にイオンビーム（２１０）を磁気的にフィルタリングする為のシステム（２００）及び方法が提供される。ここで、イオンはイオンソース（２１２）から放出され、イオンビームを形成するように、当該イオンソースから離れる当該イオンが加速される。イオンは選択され、当該イオンビームは、質量分析器（２１４）によって質量が分析される。そして、当該イオンビームの質量が分析された後で、当該イオンビームは、減速器（２４２）によって減速され、当該減速の下流側において、更に磁気的にフィルタリングされる。当該磁気的なフィルタリングは、４重極磁気エネルギーフィルター（２５０）によって供給される。ここで、磁場（２６４）が、減速器から出て行く当該イオンビーム中の当該イオンを妨害する為に形成され、望まれないイオン及び高速の中性体を選択的にフィルタリングする。
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【課題】 磁場偏向型エネルギー分析器及びイオン散乱分光装置に関し、簡単な機構によりエネルギースペクトルのノイズレベルを低減して、高分解能で分析試料の構成元素を分析する。
【解決手段】磁場偏向型エネルギー分析器の壁面に、壁面に入射したＨｅ或いはＨのいずれかの並進エネルギーを減衰させる突起を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明はオメガ型エネルギーフィルタに関し、ｎ個の磁極に対して（ｎ−１）個の電子線検出器を用意し、それらが電子線の軌道の邪魔にならないように配置することができるオメガ型エネルギーフィルタを提供することを目的としている。
【解決手段】複数の扇形磁極３２より構成され、それぞれの磁極により電子線の軌道が曲げられ、オメガ型の軌道を形成するようにしたオメガ型エネルギーフィルタにおいて、各磁極３２の軌道の接線方向に設けられた電子線を検出する電子線検出器３３と、電子線が理想的な軌道をとった時のみ該電子線を通過させる絞り穴２５と、を含み、該絞り穴２５を通過した電子線が前記電子線検出器３３に到達するように構成される。 （もっと読む）

プラズマにおけるイオン種を監視する飛行時間型イオンセンサは、ハウジングを含む。ハウジング内にはドリフトチューブが配置される。プラズマからのイオンを引き付けるよう、ハウジング内のドリフトチューブの第１の端部に抽出器電極が配置される。抽出器電極の近傍のドリフトチューブの第１の端部には複数の電極が配置される。複数の電極は、引き付けられたイオンの少なくとも一部がドリフトチューブに入り、ドリフトチューブの第２の端部の方へ移動するようバイアスされる。ドリフトチューブの第２の端部の近傍にはイオン検出器が配置される。イオン検出器は、引き付けられたイオンの少なくとも一部に関連する到着時間を検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は荷電粒子線偏向装置に関し、個々の偏向コイルを個別に軌道修正することができる荷電粒子線偏向装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数の偏向コイルを組み合わせて荷電粒子の軌道を曲げることが可能となるように構成された荷電粒子線偏向装置において、それぞれの偏向コイルをパスさせるためのスイッチ４ａ〜４ｃと、パスされた偏向コイルのインピーダンスを等しくした疑似負荷５ａ〜５ｃと、偏向方向を微調整することが可能な調整コイル３ａ〜３ｄを設け、これら偏向コイルにビーム検出器２ａ〜２ｃを設け、このビーム検出器２ａ〜２ｃの検出出力が最大値となるように、前記調整コイル３ａ〜３ｄを調整する。 （もっと読む）

【課題】 高強度のゼロロス電子を効率よく遮蔽できて且つエネルギー分散スリット開口部の散乱電子やコンタミネーションによる影響を軽減するエネルギー選択スリットを提供する。
【解決手段】 スリット開口部３３を挟んで、スリット部材３１のスリット構成辺３４とスリット部材３２のスリット構成辺３５が対面するように配置する。スリット部材３２をスリット部材３１よりも薄くし、スリット構成辺３４の側壁下部をテーパー部３６のように、上方から下方に向かって広くする。高強度のゼロロス電子側がスリット部材３１で遮蔽されるようにエネルギー選択スリット３０を配置する。 （もっと読む）