【課題】 露光面或いは焼付面等の照射面上に高輝度で分布光量が均一なヘリカル放電ランプおよびヘリカル放電ランプハウスを得る。
【解決手段】 管体１および管体２がヘリカル状の少なくとも２本のヘリカル放電ランプＨＭ１，ＨＭ２を基部３１内の内部反射体４０に立設したヘリカル放電ランプハウス３によって強力、高輝度で且つ、分布光量が均一なヘリカル放電ランプおよびヘリカル放電ランプハウスを得る。 （もっと読む）

【課題】電極対ユニットを配置する面積を広げることなく、エキシマ光が照射される面積を広げることができ、さらには照度分布を任意に制御することが可能なエキシマ光照射装置を提供すること。
【解決手段】エキシマ放電ガスが封入された放電室１内に、垂直方向に等間隔で複数の貫通穴が形成された厚板状の一方の電極３と前記各貫通穴に挿通した他方の電極２とのうち、少なくともいずれかの一方の電極表面または表面近傍が誘電体で覆われ、一方の電極３と他方の電極２とで構成される電極対ユニット４が複数並置され、各電極対ユニット４の一方の電極３と他方の電極間２に高周波電圧を印加することにより、前記各電極対ユニット４下方に配置された光放射窓７からエキシマ光を放射するエキシマ光照射装置において、放射するエキシマ光の被照射面でのエキシマ光分布を制御する手段１４，１５を具備したことを特徴とするエキシマ光照射装置である。 （もっと読む）