本発明は、成形技術に関する。さらに詳しく述べると、本発明は、可とう性成形型と、その製造方法と、微細構造体の製造方法とに関する。本発明は、例えばプラズマディスプレイパネルの背面板のバリアリブのような種々の微細構造体の製造に利用することができる。
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ＰＤＰリブあるいはその他の微細構造体をパターンの変形及びその他の欠陥を伴わないで高アスペクト比かつ高い寸法精度で製造できる微細構造体前駆ペーストを提供すること。本感光性ペーストは、感光性材料と、ペースト中に一次粒子として分散せしめられたセラミック微粒子と、リン系化合物及びスルホン酸系化合物を含む界面活性剤とを含んでなる。
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本発明は、式ａ(Ｍ¹Ｏ)・ｂ(ＭｇＯ)・ｃ(Ａｌ₂Ｏ₃)又はａ(Ｍ²Ｏ_1.5)・ｂ(ＭｇＯ)・ｃ(Ａｌ₂Ｏ₃)のアルカリ土類又は希土類金属アルミン酸塩前駆体化合物であって、本質的に球状であり且つ化学的に均質の粒子から成る遷移アルミナの形で結晶化された前記前駆体化合物に関する。ここで、Ｍ¹はアルカリ土類金属であり、Ｍ²はイットリウム、又はセリウムとテルビウムとの組合せ物であり、ａ、ｂ及びｃは次の関係：０．２５≦ａ≦４；０≦ｂ≦２；及び０．５≦ｃ≦９を満たす整数又は非整数である。この粒子は、平均直径が１０ｎｍ未満である孔を有する。この化合物は、アルミニウム化合物と前記前駆体の組成中に存在するその他の元素の化合物との液状混合物を形成させ、この混合物を噴霧乾燥させ、乾燥生成物を７００℃〜９５０℃の範囲の温度においてか焼することから成る方法によって得られる。得られた物質を次いでか焼することによって、アルカリ土類金属又は希土類金属アルミン酸塩が得られる。
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【課題】 ガラス基板にペーストを用いて誘電体層などの厚膜を形成する場合に、誘電体層に気泡や空隙のない高品質なプラズマディスプレイパネルを製造することのできるプラズマディスプレイの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 プラズマディスプレイに用いられるガラス基板１上に厚膜を形成する方法であって、ペースト７を用いてガラス基板１上に厚膜を塗布する工程と、ガラス基板１上のペースト７を超音波で振動させる工程とを有するものである。すなわち、ガラス基板１上のペースト７を超音波で振動させることでペースト７中の気泡・空隙をなくし、より高品質な誘電体層を形成することができる。 （もっと読む）