【課題】導入された光束の向きを変えながら集光して該光束から近接場光を効率良く発生させること。
【解決手段】光束Ｌを集光させながら伝播させる光束集光部４０ｂと、集光された光束から近接場光Ｒを生成して外部に発する近接場光生成部４０ｃと、を有する多面体のコア４０と、コアを内部に閉じ込めるクラッド４１とを有し、コアは、一端側から他端側に向かう長手方向に沿って延びる１つの側面と他の側面とを有し、光束集光部は、１つの側面が他端側に向かうにしたがって他の側面に近づくように傾くことにより絞り成形され、近接場光生成部は、１つの側面が他端側に向かうにしたがって他の側面に近づき、光束集光部における傾きより大きく傾くことによりさらに絞り成形されると共に、他端側で外部に露出する端面４０ｄが光の波長以下のサイズとされ、且つ１つの側面が遮光膜４２によって遮光されている近接場光発生素子２２を提供する。 （もっと読む）

データ記憶装置のデータ変換器に使用するための三次元（３Ｄ）微細構造コイルを含むがこれに限定されない、多次元微細構造を形成するための方法を提供する。いくつかの実施例に従って、本方法は概して、第１の誘電材料に埋込まれた第１の導電性経路を有するベース領域を設けるステップと、各々が、埋込まれた第１の導電性経路に接触する第１のシード層で部分的に充填された複数のビア領域を、第１の誘電材料にエッチングするステップと、複数のビア領域の各々に導電性支柱を形成するように第１のシード層を使用するステップとを含み、各導電性支柱は、ベース領域の上方の第１の距離まで延在する実質的に垂直の側壁を有する。
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【課題】製造コストを抑制しつつ漏れ磁界の発生を抑制することが可能な薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】薄膜磁気ヘッド１の製造方法は、第１下部磁極層４２ａ上の一部に第２下部磁極層４２ｂを形成する工程と、第２下部磁極層４２ｂの積層方向における厚さよりも厚くなるように、第２下部磁極層４２ｂよりもエッチングされにくい絶縁層４８をウエハ表面全体に形成する工程と、ウエハ表面全体に対して第２下部磁極層４２ｂが露出するまでＣＭＰによる平坦化処理を行う工程と、ウエハ表面全体に対してイオンビームエッチングを施すことで、第２下部磁極層４２ｂ及び絶縁層４８により構成される凹部５６を形成する工程と、ウエハ表面全体に記録ギャップ層５２を形成する工程と、凹部５６を充填するように上部磁極層４４のうち第１上部磁極層４４ａを形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】軟磁気特性を向上させながら、パルスめっきによるピンホールの発生を抑制することができる磁性膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】貴金属及び卑金属を含有する下地層２にパルスめっきを施して、下地層２上に、磁性材料からなるめっき層３を析出させる。貴金属としては、Ｃｕ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｒｅ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｕから選択された少なくとも一つを採用することができる。また、卑金属としては、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏから選択された少なくとも一つを採用することができる。 （もっと読む）

【課題】高温環境下における配線層内でのボイドの発生を抑制して配線層の導通不良を抑制し、半導体装置の信頼性を向上しうる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜３４に、配線溝３８を形成する工程と、配線溝３８内に、Ｃｕを主材料とする配線層４４を形成する工程と、配線溝３８内に埋め込まれた配線層４４の表面に、アンモニア及び水素が溶解された純水を含ませた布２を摩擦させる布摩擦処理を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 記録磁界傾度の低下を抑えつつ記録磁界強度を増大でき、高周波記録時も高いＳＮ比が得られる高記録性能の垂直磁気記録ヘッドを得る。
【解決手段】 記録媒体との対向面で所定のギャップ間隔をあけて対向する主磁極層及びリターンパス層と、この主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるコイル層とを備えた垂直磁気記録ヘッドにおいて、上記リターンパス層は主磁極層と対向する面側から順にギャップ調整層と主体層とを積層してなり、このギャップ調整層は、少なくとも主磁極層及び記録媒体と対向する領域に存在し、主磁性層及び主磁極層よりも比抵抗の小さい磁性材料から形成する。 （もっと読む）

【課題】微小な寸法を有する薄膜パターンをより高精度、かつ容易に形成することのできる薄膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】第１薄膜１１１Ｚの上にＡｌ₂Ｏ₃からなる可溶層１０２Ｚを形成したのち下部レジスト層１０３Ｚと上部レジスト層１０４Ｚとを順次形成する。下部および上部レジスト層１０３Ｚ，１０４Ｚを選択的に露光して２層レジストパターン１０５を形成し、これをマスクとしたドライエッチングにより第１薄膜１１１Ｚおよび可溶層１０２Ｚを選択的にエッチングする。これにより、端部１１１Ｔにおける第１薄膜パターン１１１の型くずれを抑制し、より正確にパターニングすることができる。さらに、所定の溶剤をそれぞれ用いて２層レジストパターン１０５と可溶層パターン１０２とを順次除去するようにしたので、第１薄膜パターン１１１の上面にバリが発生せず、円滑なリフトオフが可能となる。 （もっと読む）

【課題】浮上量調整用発熱抵抗体と、シールド膜や磁極等の金属膜との間の電気的リークを防止する。
【解決手段】磁気ヘッド・スライダ１の薄膜磁気ヘッド部分１ｂには磁気再生素子２ｂと磁気記録素子２ａとからなる磁気記録再生素子２が形成されている。また、磁気ヘッド・スライダ１の一部を加熱して熱膨張、突出させ、浮上量を調整するための発熱抵抗体１１が基板部分１ａと磁気再生素子２ｂとの間に形成されている。磁気ヘッド・スライダ１の浮上量調整の応答速度をできるだけ早くし、発熱抵抗体１１の発熱による磁気再生素子２ｂへの影響を少なくするために、発熱抵抗体１１を基板部分１ａと磁気再生素子２ｂとの間で、磁気再生素子２ｂから離れた位置に配置する。発熱抵抗体１１と下部シールド膜１８の金属膜との絶縁を確保するために、絶縁膜１２の膜厚を、発熱抵抗体１１の膜厚以上、１０倍以下とする。 （もっと読む）

【課題】 マルチヘッドにおける磁極位置の精度を低下させないで記録密度を高くして、記録データの高転送レート化を図るようにした磁気ヘッド装置を提供する。
【解決手段】 記録ヘッド部１０のヘッドチップは、２（＝ｍ）群のマルチヘッドを薄膜技術により一体に構成したマルチ記録ヘッドである。それぞれ記録方向にずらして隣接配置された４（＝ｑ）個の磁気ヘッドＨ１１〜Ｈ１４が第１群のマルチヘッドを構成し、別の４個の磁気ヘッドＨ２１〜Ｈ２４が第２群のマルチヘッドを構成している。これらの２群のマルチヘッドは、記録ヘッド部１０のヘッドチップ上で隣り合っており、かつ互いに下記の式で決められた距離Ｄだけずらして配置することにより、８本の記録トラックをそれぞれ同一の記録幅Ｔｐで記録できる。ただし、ｎは０以上の整数であるが、ここではｎ＝１に設定している。
Ｄ＝Ｔｐ×ｑ×（ｍ×ｎ＋１）＝１２Ｔｐ （もっと読む）