処理効率及び／又は有効性を増大させつつ、処理中に基板装置へのダメージを最小限にすることのできる、音響エネルギ源にパワーを供給する方法及び装置。本装置及び方法は、音響エネルギ源を駆動するために使用する電気信号の振幅を変動させ、及び／又は振動数を変化させるというコンセプトを利用するものである。これにより、基板に適用される音響エネルギの振幅及び振動数が、対応する形で変動し及び／又は変化する。音響エネルギで基板を処理する方法は、ａ）少なくとも一つの基板を処理チャンバ内に支持する、ｂ）ベースとなる電気信号を生成する、ｃ）該ベースとなる電気信号をアンプに伝達し、該アンプが該ベースとなる電気信号を最大振幅を有する出力電気信号に変換する、ｄ）該出力電気信号をトランスデューサに伝達して、該トランスデューサ該は出力電気信号を対応する音響エネルギに変換する、ｅ）該音響エネルギを、前記処理チャンバ内に支持された前記少なくとの一つの基板上に適用する、ｆ）該出力電気信号の最大振幅を変動させる、ことから構成される。
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【課題】振動発生時の振動立ち上がり時間および振動収束時の振動立ち下がり時間を短くでき、また小型の電子機器にも搭載することができる振動発生装置を提供する。
【解決手段】筐体２内部の両側方に閉磁路を形成する磁界形成部３ａ，３ｂを設け、磁界形成部３ａと３ｂにおける磁界形成部を構成する磁石の磁極の積層の仕方を逆にする。磁界形成部の間に磁界形成部とそれぞれ所定の間隔Ｌａ，Ｌｂを空けて振動子６を複数の弾性支持部材７を介して筐体の内部に設置する。振動子に電圧を印加し、振動子を、振動子と磁界形成部との間の吸引力と反発力との合力により筐体の厚さ方向に振動させる。振動発生時の振動立ち上がり時間および振動収束時の振動立ち下がり時間を短くでき、また装置を小型にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 起電力が低い状態でもスムースに回転し始めることが可能で、電圧の変化によってさらに大きな振動を得ることが可能な振動モータを提供する。
【解決手段】 モータ１とモータ１の回転軸２に固定された錘３とから構成される振動モータである。伸縮自在な袋状収容部４内に流動体５が収容され、流動体５を収容した袋状収容部４が錘３としてモータ１の回転軸２に取り付けられている。流動体５は、例えば液状、ゲル状、粉体状の物質である。袋状収容部４は、例えばゴム状物質により形成されている。流動体５を収容した袋状収容部４は、回転軸２の回転に伴って遠心力により重心が外側に移動する。 （もっと読む）

外形寸法の増加を避けつつ、振動振幅が大きく、共振周波数の調整が可能であり、高信頼性を有する圧電アクチュエータを提供する。
圧電アクチュエータは、電界の状態に応じて少なくとも対向する２つの面が伸縮運動をする圧電体３ａを有する圧電素子１ａと、圧電素子１ａを２つの面の少なくともいずれかで拘束する拘束部材２１ａと、拘束部材２１ａの周囲に設けられた支持部材４ａと、両端の各々を拘束部材２１ａと支持部材４ａとに固定され、拘束される面と略平行な方向に曲げの中立軸を有する複数のはり部材２２ａとを有する。
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