【課題】２層構造のＲｕ下地層において第１の下地層の結晶粒のサイズを小さくすることで、記録層であるグラニュラ磁性層の磁性結晶粒をより微細化することのできる垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】炭化酸素を含んだ不活性ガス雰囲気においてＲｕ又はＲｕ合金を軟磁性裏打ち層１２上に堆積させることにより下部下地層１４を形成する。不活性ガス雰囲気においてＲｕ又はＲｕ合金を下部下地層１４上に堆積させることにより上部下地層１５を形成する。上部下地層１５上に、磁性結晶粒１６ａを含んだ磁性層１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ磁気特性と記録再生特性に優れ、さらなる高記録密度化が可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録媒体の製造方法は、ＮｉＣｒ合金ターゲット又はＣｒターゲット及びＮｉターゲットを用い、スパッタ法によりシード層を形成する工程と、前記シード層の上に非磁性下地層を形成する工程と、前記非磁性下地層上に磁性層を形成する工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ＦｅＰｔ結晶を規則合金化することにより高い磁気異方性を発現させ、かつ磁化容易軸であるｃ軸を膜面垂直方向に優先配向させ、更にＦｅＰｔ結晶粒を微細化し、結晶粒間を磁気的に分離することにより、熱安定性に優れた高密度磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１１上に、Ｆｅ酸化物粒子１５からなる凹部と、該凹部を取り囲む非晶質酸化物１４を主成分とする凸部とから構成された下地層を形成し、下地層の凹部の上にＦｅＰｔ規則合金結晶粒子１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】基体に凹凸が生じる事態を回避しつつ、薄膜の形成時における基体の熱変形や穴あきを回避し得る薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】長尺帯状のベースフィルム１１（基体）を巻回した繰り出し側ロール１１ａからベースフィルム１１を繰り出して冷却ドラム２２に沿わせて走行させつつ気相成長法によってベースフィルム１１の上に磁性層（薄膜）を形成する際に、反発硬さが６９１Ｌ値以下の繰り出し側ロール１１ａを使用すると共に、ベースフィルム１１における冷却ドラム２２に接している部位の薄膜形成面（磁性層の形成面）に電子線照射装置２３によって電子線を照射する。 （もっと読む）

【課題】 不純物の混入がすくなく、磁気特性が向上した磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】 磁性粒子部分が非磁性部分に分散して配置した記録層を有する磁気記録媒体の製造方法において、基体上に気相成膜法でＣｕまたはＡｇ粒子部分を非磁性部分に分散して配置する第１工程と、気相成膜法で前記ＣｕまたはＡｇ粒子部分に磁性粒子部分を積層し、非磁性部分にはさらに非磁性部分を積層する第２工程と、積層後に熱処理を行う第３の工程とを有する磁気記録媒体の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンのスタンパを効率良く高精度で製造できるスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】所定の凹凸パターンの転写面１０Ａを有する原盤１０に、照射源３２から粒子を一方向に直線的に照射して膜を成膜する成膜法により、原盤１０の表面の法線Ｌｎに対して少なくとも一時的に照射方向を相対的に傾斜させ、且つ、照射源３２に対して原盤１０の姿勢を相対的に変化させつつ導電性材料の粒子を照射し、転写面１０Ａの上に導電膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】 強磁性層における磁性結晶粒子を適切に微細化する。
【解決手段】 垂直磁気記録に用いる磁気ディスク１０であって、基体１２と、下地層１８と、グラニュラー構造の微細化促進層２０（非磁性グラニュラー層）と、グラニュラー構造の強磁性層３２を有する磁気記録層２２とを備え、微細化促進層２０は、無機酸化物のマトリックスと、非磁性の金属結晶粒子とを有し、強磁性層３２は、無機酸化物のマトリックスと、金属結晶粒子の結晶方位に応じた所定の方位に磁化容易軸が向く磁性結晶粒子とを有する。 （もっと読む）

【課題】高い磁気異方性を有するＦｅＰｔ膜結晶を規則化し、かつ磁化容易軸であるｃ軸を膜面垂直方向に優先配向させ、さらに、結晶粒を微細化かつ結晶粒サイズの分布を小さくした、熱安定性に優れた高密度磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１１上に鉄酸化物からなる結晶粒子と当該結晶粒子を取り囲む非晶質の結晶粒界部とから構成された無機化合物層１２を形成し、その上に磁気記録層１３としてＦｅＰｔ層を形成する。作製方法としては、無機化合物層１２、Ｆｅ層及びＰｔ層をこの順に積層し、熱処理する。 （もっと読む）

第１下地結晶層（３３）は相互に隣接する結晶粒で構成される。第２下地結晶層（３４）は、第１下地結晶層（３３）よりも大きな膜厚で第１下地結晶層（３３）の表面に広がる。第２下地結晶層（３４）は、第１下地結晶層（３３）の個々の結晶粒から成長する結晶粒で構成される。第１および第２下地結晶層（３３、３５）では微細で均一な結晶粒が確立される。しかも、第１および第２下地結晶層（３３、３５）には十分な膜厚が確保されることができる。同様に、第１および第２磁性結晶層（３５、３６）では微細で均一な結晶粒が確立される。しかも、第１および第２磁性結晶層（３５、３６）には十分な膜厚が確保されることができる。
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