説明

Fターム[5D112FB30]の内容

磁気記録媒体の製造 (17,949) | 乾式薄膜製造手段 (812) | 成膜速度 (16)

Fターム[5D112FB30]に分類される特許

1 - 16 / 16


【課題】 下地層の皮膜の強度を高めることで信頼性を向上しつつ、高いSNRを確保することが可能な垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体の構成は、ディスク基体110上に少なくとも、ルテニウムからなる下地層118と、Co系合金からなり結晶粒子が柱状に成長したグラニュラー構造を有するグラニュラー層(非磁性グラニュラー層120、磁気記録層122)を備える垂直磁気記録媒体100において、下地層は、ディスク基体に成膜速度を、低速度から高速度または高速度から低速度のいずれかで変化させて成膜したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 グラニュラー層の皮膜の強度を高めることで信頼性を向上しつつ、高いSNRを確保することが可能な垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体の構成は、ディスク基体110上に少なくとも、Co系合金からなり結晶粒子が柱状に成長したグラニュラー構造を有するグラニュラー層を備える垂直磁気記録媒体100において、グラニュラー層(非磁性グラニュラー層120、第1磁気記録層122a、第2磁気記録層122b)は、ディスク基体110に成膜速度を、低速度から高速度または高速度から低速度のいずれかで変化させて成膜したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】2層構造のRu下地層において第1の下地層の結晶粒のサイズを小さくすることで、記録層であるグラニュラ磁性層の磁性結晶粒をより微細化することのできる垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】炭化酸素を含んだ不活性ガス雰囲気においてRu又はRu合金を軟磁性裏打ち層12上に堆積させることにより下部下地層14を形成する。不活性ガス雰囲気においてRu又はRu合金を下部下地層14上に堆積させることにより上部下地層15を形成する。上部下地層15上に、磁性結晶粒16aを含んだ磁性層16を形成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、記録層の結晶配向分散を低減した垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】垂直磁気記録媒体10は、複数の微小結晶粒20aよりなる第1磁性層20と、第2磁性層16とを有する。第2磁性層16は、基板面の垂直方向に一致した磁化容易軸を有する複数の結晶粒16aと結晶粒の間に介在する非磁性体16bとで構成される。下地層14のRu結晶粒の上に、第1磁性層の微小結晶粒20aが形成される。微小結晶粒20aの上に、第2磁性層の結晶粒16aが形成される。第1磁性層20の微小結晶粒20aの粒径は、第2磁性層16の結晶粒16aの粒径より小さい。 (もっと読む)


【課題】磁性結晶粒子が互いに面内方向で空隙により分離された構成の記録層を有する垂直磁気記録媒体において、粒径分散と結晶配向分散の双方を抑制し、高いS/Ntと狭ライトコア幅を実現する。
【解決手段】垂直磁気記録媒体(10)は、基板(11)上に形成される軟磁性裏打ち層(12)と、前記軟磁性裏打ち層上に形成されたRu又はRu合金の下地層(14.15)と、前記下地層上に形成され、基板面と垂直方向に磁化容易軸を有する複数の磁性粒子と、当該磁性粒子を取り巻く非磁性体とで構成される層を少なくとも1層含んだ多層あるいは単層構造の記録層(16)と、前記軟磁性裏打ち層と前記下地層の間に挿入され、Ru又はRu合金からなる結晶構造体膜(21)および多結晶膜(25)と、他の多結晶膜(22)とを少なくとも含む積層体(30、30A〜30E)を含む。 (もっと読む)


【課題】液体潤滑剤の供給源から蒸発する潤滑剤蒸気の流量をモニタするゲージの圧電性結晶の有効寿命を延ばす。
【解決手段】潤滑コーティングを、ディスク18と、蒸気となるよう加熱される液体のためのリザーバ24との間の潤滑剤蒸気の流路内にあるディスクに潤滑剤蒸気として塗布する。この流路は、リザーバと開孔を有するディフューザ26,28,30との間に蒸気チャンバを備える。複数個の圧電性結晶70,72により、それぞれ異なる時間に、蒸気チャンバ内を流れる潤滑剤蒸気の流量をモニタし、選択的に蒸気チャンバを流れる蒸気と結晶との間を開閉するシャッタ73を選択的に位置決めすることによって結果を得る。圧電性結晶の温度変化を、フィードバック制御装置によって温度が一定になるように補償する。シャッタにより、圧電性結晶が常に潤滑剤蒸気に晒されないので、有効寿命を延ばせる。 (もっと読む)


【課題】非磁性層により囲まれた柱状磁性結晶よりなる記録層を有する垂直磁気記録媒体において、柱状磁性結晶の粒径分散を低減し、信号対ノイズ比およびオーバーライト特性を向上させ、また書き込み領域幅を低減する。
【解決手段】基板と、前記基板上に順次形成された軟磁性裏打ち層、配向制御層13と、RuあるいはRu合金の連続膜よりなる第1の下地層31と、RuあるいはRu合金よりなる複数の結晶粒14aと、前記複数の結晶粒を互いに離間させる隙間14bとよりなる第2の下地層14と、前記複数の結晶粒に対応して形成され、各々基板面に略垂直方向に磁化容易軸を有する複数の磁性粒子15aと、前記複数の磁性粒子を互いに離隔する非磁性粒界相15bとよりなる記録層15と、よりなる垂直磁気記録媒体であって、前記第1の下地層13と前記配向制御層との界面には、複数の核が、互いに離間して形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】垂直磁気記録層のグラニュラ構造において、柱状磁性粒子の粒径を垂直磁気記録層の膜厚方向全体にわたって均一にする。
【解決手段】磁気記録媒体の製造方法において、酸化物相を第1の含有比で含む、金属磁性相と前記酸化物相との第1複合ターゲットを用いて、基板上に、当該基板の垂直方向に磁化容易軸を有する第1のグラニュラ膜を成膜し、前記第1のグラニュラ膜が所定の膜厚に達したところで、前記第1複合ターゲットに代えて、前記酸化物相を、前記第1の含有比よりも小さい第2の含有比で含む、前記金属磁性相と前記酸化物相との第2複合ターゲットを用いて、前記第1のグラニュラ膜上に連続して第2のグラニュラ膜を成膜し、これによって、前記基板上に、膜厚方向に粒径が均一な複数の柱状の磁性粒子と、これを取り囲む酸化物膜とで構成される磁気記録層を形成する。 (もっと読む)


【課題】 高S/N比の実現に適した粒径分布を持ち、互いに孤立して一様に分布する磁性粒子を有する垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 基板の上に、Ruを主成分とする六方最密充填構造の合金、またはRuからなる多結晶の下地層が配置されている。下地層の上に、中間層が配置されている。中間層は、Ruを主成分とする六方最密充填構造の合金、またはRuで形成され、面内に分布する複数の結晶粒で構成されている。結晶粒の各々の上面は、上方に向かって凸状の形状を有する。中間層の上に、磁気記録層が配置されている。磁気記録層内では、磁性材料からなる複数の磁性粒子が面内に分布し、相互に隣り合う磁性粒子同士が、両者の間に配置された非磁性材料からなる非磁性領域によって磁気的に分離されている。 (もっと読む)


【課題】高密度記録が可能であると共に、生産歩留まりの低下を回避し、さらには磁気記憶装置の信頼性を向上可能な垂直磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】基板11と、基板11上に、軟磁性裏打ち層12、シード層13、下地層14、記録層15、保護膜16、および潤滑層18を順次積層した構成とし、下地層14は、RuまたはRu合金からなる複数の結晶粒子14aからなり、結晶粒子14a同士を互い離隔する空隙部14bを介して基板面内方向に配置され、記録層15は下地層14の結晶粒子14a上に堆積した複数の磁性粒子15aからなり、磁性粒子15a同士を互い離隔する空隙部15bを介して基板面内方向に配置される。記録層15の磁性粒子15aは、下地層14の結晶粒子14a上に成長した構成を有する。 (もっと読む)


【課題】非磁性部分またはギャップ部分によって互いに分離された一連の同心の磁気トラック部分を有する、データ記録で使用される磁気媒体を提供する。
【解決手段】磁気ディスク202は、隣接トラック干渉および隣接トラック書込みを回避する、新規な磁性表面204を有する。ディスク202は、より薄い非磁性ギャップ404によって分離された磁気トラック部分402を有する。トラック部分402は、したがって、トラック幅(TW)を規定する幅を有する。磁性部分の幅は、ディスクドライブシステムのトラック幅を規定してもよい。磁性部分404は、NiFe、CoFeなどの材料を包含する。非磁性部分は、アルミナ(Al)、Si、Si(ON)などの材料を包含するか、または単に、部分404の磁性材料がトラック部分402に対して窪んでいるエアギャップであってもよい。 (もっと読む)


【課題】高記録密度でも熱揺らぎ障害を防止でき、かつ高S/N比の磁気ディスクを提供する。
【解決手段】ディスク基板1上に磁性層を備える磁気ディスク10であり、前記磁性層は、第1の磁性層5aと、第2の磁性層5cと、前記第1の磁性層5aと第2の磁性層5cとの間に形成されたスペーサー層5bとを備える交換結合膜5を含む。前記スペーサー層5bの表面粗さRaは、該スペーサー層5bの膜厚以下である。 (もっと読む)


【課題】媒体S/Nが高く、かつ耐食性、スクラッチ耐力に優れた媒体を実現する。
【解決手段】基板上11に少なくとも軟磁性層13、シード層14、中間層15、磁気記録層16、保護層17が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体において、磁気記録層16をCoCrPt合金からなる多数の柱状粒子と酸化物を含む粒界層によって構成されたグラニュラ構造とし、シード層14をWCo合金で構成し、中間層15をRu又はRu合金によって構成する。 (もっと読む)


【課題】 ディスク全面に渡って優れた熱安定性と記録再生特性を有する垂直磁気記録媒体を製造する。
【解決手段】 記録層を少なくとも二層から構成し、中間層14の直上の第一記録層15を形成する際に第一記録層の直上に形成される第二記録層16よりも速い製膜速度で酸素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って製膜する。 (もっと読む)


【課題】 高密度記録した場合には、微小な記録磁区を安定して形成することが難しいという課題を有していた。
【解決手段】 ディスク基板11上に、少なくとも記録層15を備え、記録層15が、水素と結合し、希土類金属と局在して安定した結合状態を有する構成の光磁気記録媒体とその製造方法を提供する。これによって、記録層15の磁気異方性を大きく、安定した膜構造を形成できることより、マーク長を小さくした場合にも記録磁区を安定化させることができ、再生信号振幅を低下させることなく、記録密度を大幅に向上できる。 (もっと読む)


本発明は、情報記憶媒体に関し、特に、磁性材料の複数の離散的なアイランドを含む超高密度磁気情報記憶媒体に関する。
(もっと読む)


1 - 16 / 16