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Fターム[5E339BE15]の内容

プリント配線の製造 (8,867) | 導体層の不要部分の除去手段 (1,023) | エッチングによるもの (889) | ディファレンシャル・エッチング (5)

Fターム[5E339BE15]に分類される特許

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【課題】本発明は、銅配線間の絶縁信頼性に優れたプリント配線基板を提供することを目的とする。
【解決手段】基板および基板上に配置される銅配線を有する銅配線付き基板と、銅配線を覆う窒素含有有機化合物を含有する銅イオン拡散抑制層とを有するプリント配線基板であって、窒素含有有機化合物の付着量が5×10-9〜1×10-6g/mm2であり、かつ、1.8質量%の硫酸と12質量%のペルオキソニ硫酸ナトリウムとを含むエッチング水溶液中に浸漬させた時の銅配線のエッチングレート(Bμm/分)と、銅イオン拡散抑制層を有しない銅配線付き基板をエッチング水溶液中に浸漬させた時の銅配線のエッチングレート(Aμm/分)と比(B/A)が1.2未満である、プリント配線基板。 (もっと読む)


【課題】耐加熱変色性及びエッチング性に優れたプリント配線板用銅箔及び積層体を提供する。
【解決手段】プリント配線板用銅箔は、銅箔基材と、銅箔基材の表面の少なくとも一部を被覆する被覆層とを備え、被覆層は、直径1〜15nmの貴金属粒子と、貴金属粒子を覆う、貴金属及び銅以外の材料で形成された担持剤とで構成されている。 (もっと読む)


【課題】エッチング性が良好でファインピッチ化に適し、磁性が良好に抑制された銅箔を提供する。
【解決手段】プリント配線板用銅箔は、銅箔基材の表面の一部を被覆し、白金、パラジウム、及び、金のいずれか1種以上を含む被覆層とを備える。XPSによる表面からの深さ方向分析から得られた深さ方向(x:単位nm)の金、白金及び/又はパラジウムの原子濃度(%)をf(x)とし、銅の原子濃度(%)をg(x)とし、酸素の原子濃度(%)をh(x)とし、炭素の原子濃度(%)をi(x)とし、その他の金属の原子濃度の総和をj(x)とすると、区間[0、1.0]において、∫f(x)dx/(∫f(x)dx+∫g(x)dx+∫h(x)dx+∫i(x)dx+∫j(x)dx)≦0.9で、区間[1.0、4.0]において、∫f(x)dx/(∫f(x)dx+∫g(x)dx+∫h(x)dx+∫i(x)dx+∫j(x)dx)≦0.6を満たす。 (もっと読む)


【課題】絶縁膜がエッチング液に晒されないで形成することができる配線回路基板の製造方法を提供するものである。
【解決手段】図1(a)に示すように、剥離性シート100の上に、配線膜形成用金属層102が形成され、さらにその配線膜形成用金属層の上にエッチングストッパー層103を介してバンプ形成用金属層104が形成された多層金属板を用意する。図1(d)に示すように、バンプ形成用金属層104をエッチングすることによりバンプ107を形成する。図1(f)に示すように、バンプ104が形成された面にレジスト109を塗布し、図1(g)に示すように、露光および現像を行うことによりレジスト110を形成する。図1(h)に示すように、レジスト110をマスクとして配線膜形成用金属層103をエッチングすることにより配線膜111を形成する。 (もっと読む)


【課題】微細配線を形成すると配線材料の折れ曲がりや破損が生じて信頼性が悪化するという課題を解決し、配線が微細化した場合でも充分な電気的接続の信頼性を確保することが可能な配線基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】電気絶縁性基材1と、これを貫通する貫通孔3と、この貫通孔3に充填された導電性ペースト4によって貫通孔3両端で電気的に接続する配線12を備え、上記配線12の少なくとも一方は貫通孔3を覆うランド11部分で厚みが厚く形成された構成にすることにより、貫通孔3を覆うランド11部分でその厚みが厚いために貫通孔3上での配線12の剛性を確保しつつ、それ以外の部分では配線厚みを薄くして微細配線が形成でき、電気的接続性と微細配線を両立した配線基板を提供することができる。 (もっと読む)


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