【課題】カセットアダプタを使用した場合に，半導体ウェハ処理装置の動作中にオペレータが装置の構成部品に触れることにより怪我をする危険性を回避することが可能なカセットアダプタを提供する。
【解決手段】１または２以上の半導体ウェハを収容するカセットＣが載置されるカセット載置台と，カセットＣに載置された半導体ウェハを搬入／搬出する搬送手段３０と，を備えた半導体ウェハ処理装置のカセット載置台上に着脱自在に設置されるカセットアダプタ１０であって，カセットＣが載置される基台１１０と，基台１１０上に設けられ，搬送手段３０による半導体ウェハの搬送経路側が開放されるようにカセットＣの周囲を覆う保護カバー１２０と，を備える。 （もっと読む）