半導体の露光（電子、イオン線露光を除く） (57,085) | 検知機能 (2,531)

光、光量（Ｘ線を含む） (644)
温度 (235)
圧力、雰囲気 (179)
距離、長さ、幅、位置、傾き (946)
間隔 (120)
複数個、複数種類の検知機能 (172)
検知機能の補助手段 (105)
その他 (130)