【課題】従来の制御より高速なレーザガス圧制御を可能とするレーザガス圧制御装置の提供。
【解決手段】レーザ発振器１０は、ガス容器１２と、ガス容器１２に供給すべきレーザガスのガス流量を、開度の変化により調節可能なＣＶ１４と、ＣＶ１４の１次側のガス圧を検出する１次ガス圧センサ１６と、ＣＶ１４の２次側のガス圧を検出する２次ガス圧センサ１８と、ガス容器１２からガスを吸引排気する真空ポンプ２０と、ガス容器１２内のガス圧を制御するガス圧制御部２２と、データテーブル記憶部２４とを備える。データテーブル記憶部２４は、ＣＶ差圧と、ＣＶ１４の開度と、ガス容器１２への供給ガス流量との関係を記憶した第１のデータテーブルと、ＣＶ１４の２次側のガス圧と、ガス容器１２からの排気ガス流量との関係を記憶した第２のテーブルデータとを記憶する。 （もっと読む）

【課題】稼動時の消費電力を正確かつ容易に測定できるガスレーザ装置を実現する。
【解決手段】入力された交流を直流に変換するＤＣ電源部２１およびＤＣ電源部２１から出力された直流を放電管２４内のレーザガスを放電励起する高周波電圧に変換するＲＦ電源部２２を有するレーザ電源装置２０と、入力された交流を放電管２４にレーザガスを送るブロワ２５を駆動する交流に変換する駆動装置２５とを備えるガスレーザ装置１は、ＤＣ電源部２１の出力電流値および出力電圧値とＤＣ電源部２１による入力電力から出力電力への変換効率とを用いてレーザ電源装置２０への入力電力の推定値を算出する第１の推計手段１１と、駆動装置２３の出力電流値を用いて駆動装置２３への入力電力の推定値を算出する第２の推計手段１２と、レーザ電源装置２０および駆動装置２３への各入力電力の推定値に基づいてガスレーザ装置１の消費電力値を算出する電力計算手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置において、長期使用時における発振装置の部品劣化による出力低下抑制が大きな課題となっていた。
【解決手段】ガスレーザ発振器のレーザガス供給排出量を検出するレーザガス供給排出量検出器と、放電入力を検出する放電入力検出器と、レーザ出力を検出するレーザ出力検出器と、検出された放電入力とレーザ出力を入力してガスレーザ発振器の入出力特性を演算し、あらかじめ設定した基準特性と比較する比較装置と、比較装置の出力に応じてレーザガス供給装置および排気装置を制御して最適なレーザガス供給排出量を得ることができる制御装置を設けた。 （もっと読む）

【課題】ガス排気系にある絞りの経時的な詰まりを防止することにより、装置全体の寿命延長を図り、長期に渡って高い信頼性を確保する。
【解決手段】本装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、真空ポンプを駆動させ、主排出弁を閉じ、副排出機構と直列に設けられた絞りを介してのみ、一定時間ガスを排出し、その後主排出弁を開け、通常排気弁を開くことで、通常排気弁と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するように構成されたシードレーザシステムと、前記パルスレーザ光のパルスエネルギーを変化させるように構成されたパルスエネルギー調整部と、前記パルスレーザ光を増幅するように構成された少なくとも１つの増幅器と、前記少なくとも１つの増幅器の励起強度を変化させるように構成された少なくとも１つの電源と、前記パルスレーザ光の１パルスごとに前記パルスエネルギー調整部を制御し、前記パルスレーザ光の複数パルスごとに前記少なくとも１つの電源を制御するように構成されたコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置の内外の環境要因に大きく左右されるレーザおよびレーザパワーモニタを備えたレーザ装置であっても、該環境要因の影響を効果的に減じて、定格出力から低出力まで、精確にレーザ出力を補正できる高出力レーザ装置の提供。
【解決手段】レーザ装置１０は、レーザ出力値を測定するレーザパワーモニタ１２と、レーザパワーモニタ１２により測定された出力測定値とレーザ出力指令値とが合致するように、レーザ電源１４への励起エネルギー注入量を補正する出力補正機能を備えたレーザ制御装置１６とを有し、レーザ制御装置１６は、レーザ出力指令を作成するレーザ出力指令部１８を有し、レーザ出力指令は、補正する必要がない場合は励起エネルギー指令に換算されてレーザ電源１４に送られるが、補正の必要がある場合はレーザ制御装置１６の出力補正部２４がレーザ出力指令を補正する。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置の送風手段のグリス不足による軸受消耗を防止して、送風手段のメンテナンスフリー化を図る
【解決手段】送風手段の軸受近傍にグリス補給手段を設け、軸受に封入されたグリス量を直接もしくは間接的に検出するグリス量検出手段を備え、グリス量検出手段により検出した信号に応じて、あるいは予め運転時間に応じて決めた量に応じて、送風手段外部と内部の圧力差による真空力等を利用して適宜グリスの自動補給を行う事が可能とする （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置における待機時間中での無駄なエネルギ消費を抑える。
【解決手段】ＮＣ装置１１は、レーザ発振器７におけるベース放電が行われている待機状態であらかじめ設定した時間が経過したら、省エネモードＢに移行する制御を行う。省エネモードＢでは、ベース放電を停止させる。その後、さらにあらかじめ設定した時間が経過したら、省エネモードＡに移行する制御を行う。省エネモードＡでは、ベース放電を停止させることに加え、レーザガス圧を低下させるとともに、温調器９における冷却水の設定温度領域を広くする。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振器からの送信に異常があった場合のレーザ発振器の不所望な動作を防止する。
【解決手段】コントローラ１は、所定周期で変化する交番信号Ｓ２を生成し、この交番信号Ｓ２をレーザ発振器２に送信する交番信号送信回路１１，１３を有し、レーザ発振器２は、コントローラ１からの交番信号Ｓ２に対応して周期的に変化する戻り信号Ｓ３を生成し、この戻り信号Ｓ３をコントローラ１に送信する戻り信号送信回路２１，２６を有する。さらにコントローラ１は、レーザ発振器２からの戻り信号Ｓ３を監視し、戻り信号Ｓ３が異常であると判定すると、レーザ発振器２によるレーザ照射を停止するための停止制御信号Ｓ５を出力する監視回路１２，１５を有する。 （もっと読む）

【課題】常に安定にレーザ光の出力を検出可能な紫外線レーザ装置用エネルギー測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光の出力を検出する光検出器(37)と、光検出器(37)の前方に配置され、光検出器(37)に入射するレーザ光を拡散させる拡散板(36)とを備えたレーザ装置用エネルギー測定装置において、紫外線光を予め照射し、拡散板(36)の透過率の変化を略飽和させた拡散板を用いることを特徴とする、レーザ装置用エネルギー測定装置。 （もっと読む）

【課題】レーザガスの消費量を低減できるレーザ装置を得ること。
【解決手段】レーザ装置は、レーザガスが封入された筐体と前記筐体内の圧力を検知する圧力検知部とを有し、封じ切り運転を行い、前記レーザガスの交換周期が経過するまで前記筐体内に前記レーザガスが封入された状態が維持され、前記レーザガスの交換周期が経過した後における運転停止中に前記筐体内の前記レーザガスが交換されるレーザ発振器と、前記圧力検知部により異なる複数のタイミングで検知された複数の圧力と前記異なる複数のタイミングの時間間隔とから前記レーザガスの単位時間当たりの漏れ量を演算する演算部と、前記演算部により演算された前記単位時間当たりの漏れ量に応じて、前記筐体に封入された前記レーザガスの交換周期を決定する決定部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】ガス混合比不良などで生じる高電圧電源の異常電圧の発生を抑制し、過電圧による半導体整流素子の破損を防止して、高信頼性のレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザ共振器より出力レーザ光を照射するタイミングを決める照射指令部と、前記照射指令部の出力信号により予め設定された電流値信号を出力する電流値設定部と、前記電流値設定部の出力信号と電流検出部の電流値出力信号を比較する比較制御手段とを備え、前記電流値検出部の出力信号が所定の電流値未満の場合、最大パルス切換手段の出力信号でパルス幅演算手段のパルス幅を短く制限することにより昇圧トランス部で発生する異常電圧の発生を抑制し、半導体整流素子を絶縁破壊より防止する。 （もっと読む）

【課題】一時停止解除指令後に、レーザ発振可能な状態に短時間で復帰させる。
【解決手段】ガス流路１０１に沿ってレーザガスを循環させる送風機３０と、レーザガスのガス圧Ｐを検出する圧力検出手段３３と、ガス流路１０１にレーザガスを供排するガス給排手段５１，６１，６２と、レーザ発振の一時停止を指令する指令手段７５と、指令手段７５からの指令に応じて送風機３０およびガス給排手段５１，６１，６２を制御する制御手段７０とを備える。制御手段７０は、一時停止指令前は、送風機３０を所定回転数Ｎ１で回転させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御し、一時停止指令後は、送風機３０の回転数を低減または回転を停止させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１に対応した第２の目標ガス圧Ｐ２となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御する。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】放電管に過度の電圧を印加せずに放電を開始させることができるとともに、該放電の開始を迅速かつ正確に判定できるガスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】ガスレーザ発振器（１０）は、各ステップの先頭にパルスを重畳してなる電源出力指令を作成する電源出力指令部（１６）と、電源出力指令に従って放電管に電圧を印加する電圧印加部（２９）と、放電管（２６）の電圧を検出する放電管電圧検出部（２８）と、放電管の電圧を監視する放電管電圧モニタ部（３０）と、電源出力指令に対する監視された放電管の電圧の変化割合と、放電管において放電が正常に行われているときのデータに基づいて予め定められる、電源出力指令に対する放電管の電圧の変化割合との差分が予め定めた閾値以内になったときに、放電が開始したと判定する放電開始判定部（ＣＮＣ）（１２）とを備える。 （もっと読む）