【課題】 真空容器の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 レーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を完全に覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。 （もっと読む）

【解決手段】 マイクロ波によってレーザガスを励起させてレーザ光Ｌを発振させるようにしたレーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、フロントミラーとリヤミラーとから構成された共振器を有するレーザ発振器３１Ａ、３１Ｂと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器１５と、このマイクロ波発生器によって発生されたマイクロ波を上記放電管に導波する導波管１７とを備えている。上記導波管１７は、放電管３の外周面に螺旋状に配置してあり、この導波管に複数のスリットを設けてある。
【効果】 上記放電管３の外周面の略全体から放電管３の半径方向内方に向かってマイクロ波を放射して放電管３内に収容されるレーザガスを励起させることができるので、該レーザガスを効率的に励起することができる。 （もっと読む）

【課題】 予備電離電極の曲げ部分に対応した曲率を持ったセラミック製の絶縁管を作製することは困難である。
【解決手段】 レーザ容器が、第１の方向に長く、レーザ媒質ガスを収容する空間を画定する。その空間内に、１対の放電電極が、相互に間隔を隔てて配置されている。放電電極は、第１の方向に延在する。少なくとも一方の放電電極の側方に、予備電離電極が配置されている。予備電離電極は、第１の方向に延在する直線部分、及び直線部分の両端において屈曲してレーザ容器に取り付けられた屈曲部分を含む。予備電離電極の直線部分が、筒状の絶縁材料からなる第１の絶縁管内に収容されている。予備電離電極の屈曲部分が、屈曲した筒状の第２の絶縁管内に収容されている。第１の絶縁管の材料の誘電率が、第２の絶縁管の材料の誘電率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】一時停止解除指令後に、レーザ発振可能な状態に短時間で復帰させる。
【解決手段】ガス流路１０１に沿ってレーザガスを循環させる送風機３０と、レーザガスのガス圧Ｐを検出する圧力検出手段３３と、ガス流路１０１にレーザガスを供排するガス給排手段５１，６１，６２と、レーザ発振の一時停止を指令する指令手段７５と、指令手段７５からの指令に応じて送風機３０およびガス給排手段５１，６１，６２を制御する制御手段７０とを備える。制御手段７０は、一時停止指令前は、送風機３０を所定回転数Ｎ１で回転させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御し、一時停止指令後は、送風機３０の回転数を低減または回転を停止させるとともに、検出ガス圧Ｐが第１の目標ガス圧Ｐ１に対応した第２の目標ガス圧Ｐ２となるようにガス給排手段５１，６１，６２を制御する。 （もっと読む）

【解決手段】 ガスレーザ発振器１は、レーザガスが封入されたハウジング２と、ハウジング２内部に設けた筒状の外側電極４と、該外側電極４の内側に設けられて上記外側電極４との間に筒状の放電空間を形成する内側電極５と、上記外側電極４および内側電極５を冷却する冷却手段７と、上記放電空間の軸方向に離隔するとともに異なる磁極が相互に向き合うように配置された永久磁石６ａ、６ｂからなる磁界発生手段６とを備えている。
上記外側電極４と内側電極５との間で放電するとともに、上記磁界発生手段６が磁界を発生させることで、ローレンツ力により上記放電空間のレーザガスを周回させ、さらに上記永久磁石を外側電極４または内側電極５に隣接した位置に設けて、上記電極とともに上記冷却手段７によって冷却する。
【効果】 放電空間内のレーザガスを高速に周回させて効率的にレーザ光Ｌを発振することができる。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振器の出力を増加させ、かつ、発振器筐体の気密性を確保する。
【解決手段】ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体１０１と、発振器筐体１０１の機密性を保つための部材であって、発振器筐体１０１の内部側または外部側に膨出する曲面部２０１と端辺に形成されて発振器筐体１０１の内部側または外部側に突出した側壁２０３とを有する蓋部材２００と、発振器筐体１０１と蓋部材２００の間に配置され、形成された開口部３０４によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材３００と、ガス流路幅拡張部材３００を挟んで蓋部材２００を発振器筐体１０１に固定する蓋押さえ部材４００を備えている。 （もっと読む）

【課題】高出力が可能なＣＯ_２ガスなどを増幅媒体とする増幅器を用いた場合でも、この増幅器に対するマスタオシレータの取り扱いが容易で且つ高効率な増幅が可能なレーザ装置および極端紫外光光源装置を提供する。
【解決手段】極端紫外光光源装置は、１つ以上の縦モードレーザ光を出力する半導体レーザ６１と、１つ以上の増幅波長帯域Ｓ１〜Ｓ７に含まれる波長の縦モードレーザ光を増幅するプリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡと、半導体レーザ６１から出力される縦モードレーザ光の波長が増幅波長帯域Ｓ１〜Ｓ７に含まれるように半導体レーザ６１を制御する縦モードコントローラ４および縦モードアクチュエータ５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＯ２レーザを励起光源に用いてエキシマレーザやフッ素レーザを連続発振できるレーザ装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施例であるエキシマレーザ発振器１００では、励起用のＣＷ＿ＣＯ２レーザからのレーザ光ＬＣ１を、エキシマガスが満たされたチャンバ１０１内で、金コートが施された穴付き反射鏡１０８によって、共振器間で集光させたものである。 （もっと読む）

【課題】間引き処理したパルス電力を供給する場合も、間引き処理しないで連続したパルス電力を供給する場合と同等にスイッチングオン時の損失を低減できるガスレーザ用電源装置を得ること。
【解決手段】制御回路９は制御パラメータに示される繰り返しパルス周波数設定とパルス幅設定とに基づき、指令パルス群１５とモード選択信号１６とを出力する。間引き回路８はモード選択信号１６が示す動作モードに応じて指令パルス群１５からパルスを間引かない処理と間引く処理とを行い、それらを間引き処理後指令パルス群１７として出力する。オン時間調整回路７はモード選択信号１６が示す動作モードに応じて間引き処理後指令パルス群１７のオン時間を変化させて、インバータ回路５に出力する。 （もっと読む）

【課題】効率良く露光処理を行うことができるガス交換方法を得ること。
【解決手段】レーザガスを用いてエキシマレーザを出力するレーザ装置でのレーザガスのガス交換方法において、レーザガスの交換限界の時期を交換限界タイミングとして設定する交換タイミング設定ステップと、エキシマレーザを用いて行なわれる露光処理の工程順序に関する情報に基づいて、露光処理の空き時間を露光空き時間ＳＰ１として抽出する空き時間抽出ステップと、交換限界タイミングよりも前のタイミングに存在する露光空き時間ＳＰ１を、レーザガスのガス交換タイミングに設定する交換タイミング設定ステップと、設定したガス交換タイミングにレーザガスのガス交換を行うガス交換ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】効率良くレーザ発振できるマイクロ波励起ガスレーザ装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係るマイクロ波励起ガスレーザ装置１００は、略直線状の貫通孔１０ａを有する誘電体からなるマイクロ波共振器１０と、貫通孔１０ａ上に光軸を配置したレーザ共振器と、貫通孔１０ａ中に満たされたレーザガスとを備える。また、マイクロ波共振器１０は円筒状であり、貫通孔１０ａは、マイクロ波共振器１０の中心軸上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ベーキング時に電気系統が損傷するのを防止する共に消費電力を低減する。
【解決手段】レーザガスを循環路（１３）に循環させる送風機（１４）と、循環路内のレーザガスを冷却する熱交換器（１２ａ、１２ｂ）とを具備するガスレーザ発振器（２）のベーキング方法において、ガスレーザ発振器の放電管（９）に電圧を印加せず、非放電状態で、熱交換器を冷却する冷却水の流量をガスレーザ発振器の放電運転時において熱交換器を冷却する冷却水の流量よりも低下させ、送風機の送風時に生じる送風熱のみによってガスレーザ発振器をベーキングする。さらに、循環路におけるレーザガスの温度を検出し、検出されたレーザガスの温度が所定の温度範囲内にあるように、熱交換器を冷却する冷却水の流量および／または送風機の送風量を調節してもよい。 （もっと読む）

【課題】低コストで、レーザ発振効率のよいガスレーザ装置を得る。
【解決手段】レーザガス流方向と放電の電界方向とが直交するとともに、レーザ光出力方向がレーザガス流方向と電界方向とにほぼ直交する３軸直交形のガスレーザ装置において、光学空洞内に一組の電極対を設けるものとし、レーザガス流方向における、レーザ光出力方向に沿うレーザ光軸（レーザ光の配置を１０で示す。）と、レーザ光軸に対して平行に配置される上記電極対の平板状電極のレーザ光軸に近い側の長辺（２０２）との距離Ｄが、レーザ光軸におけるレーザガス流速の大きさに応じた値となるように、平板状電極（下電極２）の長辺（２０２）を曲線形状に形成して同装置内に配置する。 （もっと読む）

【課題】予備電離開始タイミングを早め、かつ予備電離強度を高くすることで、より効率のよい安定した放電を実現する。
【解決手段】中空状の絶縁管と、前記絶縁管内に配されるワイヤ電極とを備え、前記ワイヤ電極に高電圧パルスを印加することで放電を発生させ、主放電空間に予備電離を発生させる予備電離電極において、前記絶縁管の表面に前記絶縁管の絶縁材料とは異なる誘電率及び電子放出性が高い絶縁材料からなる絶縁層を溶射により形成し、前記絶縁層が形成された絶縁管の軸は、主放電電極の長手方向に沿って延びるように主放電空間の側方に設けることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振の安定性を向上する。
【解決手段】電圧電源部からの電圧を所定のガスが封入されたチャンバ内に設けられた電極に供給し、前記電極による放電により連続してレーザビームをパルス発振させるガスレーザ装置において、発振したレーザビームのエネルギーの一部を所定回数分取得するためのエネルギー検出部と、前記電圧電源部から前記電極までの回路上に流れる逆電流を検出し、検出結果に基づいて異常放電の発生を検出する異常放電検出部と、前記エネルギー検出部により得られるエネルギーの平均値と最小値及び／又は最大値とを抽出し、抽出した結果と前記異常放電検出部により得られる検出結果とに基づいて、前記電圧電源部に対して所定の電圧を所定回数分供給させる指令信号を出力するよう制御する出力制御部とを有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 従来の放電管ホルダベース及び放電管ホルダの構造は非常に時間のかかる工程で高価なものとなる問題があった。
【解決手段】 放電管ホルダベースを断面がコの字状の２つの板状金属部材の夫々のコの字状開口部分を突き合わせ、２つの板状金属部材が夫々接触する部分を接合して中空状の四角柱を形成し、四角柱内部空間内の接合部分間にスペーサを配置し、かつボルトとナットによる接続する。その中空形状の四角柱外周部に位置調整用のフランジを複数個配置しねじ止めした構造からなるものである。 （もっと読む）

【課題】 レンズ材料やその表面への負荷が少なく、かつ、ミラーもしくはレンズスキャンの制御系を簡略にすることができ、かつエキシマレーザ の寿命が十分長くなって量産の使用に耐えるエキシマレーザ 発振装置及び発振方法並びに露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 Ｋｒ，Ａｒ，Ｎｅから選ばれた１種以上の不活性ガスとＦ₂ガスとの混合ガスからなるレーザガスを収納するためのレーザ管２からなるレーザチャンバ２０と、該レーザチャンバ２０を挟んで設けられた一対の反射鏡５，６からなる光共振器とを有するエキシマレーザ 発振装置において、レーザガスを収容するためのレーザチャンバ２０の内面を、２４８ｎｍ，１９３ｎｍ，１５７ｎｍといった所望の波長の光に対する無反射面とするとともに、該内面の最表面をフッ化物で構成し、レーザチャンバ２０内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段（導波管１）を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高効率に高電圧短パルスを負荷に印加可能な高電圧パルス発生装置、及びこれを用いた放電励起ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 高電圧パルスを発生するパルス発生回路２４と、発生した高電圧パルスを圧縮するパルス圧縮回路２５とを備え、パルス発生回路２４及びパルス圧縮回路２５を構成する要素部品のうち、少なくとも一部が絶縁性冷媒に満たされた容器中に設置され、容器中に設置された要素部品と容器の外部に設置された要素部品との間が、電流導入端子４４を介して電気的に接続される高電圧パルス発生装置において、電流導入端子４４が、高圧側及び接地側の通電部材５７、５８を備え、前記高圧側及び接地側の通電部材５７、５８のうち少なくとも一方が面形状となっている。 （もっと読む）

【課題】２つのレーザサブシステムを有する狭帯域レーザシステム。
【解決手段】第１のレーザサブシステムは、狭帯域パルスシードビームが増幅されて狭帯域パルス出力ビームを生成する第２のレーザサブシステムを注入シードするのに使用される、超狭帯域パルス出力ビームを準備するように構成される。放電を適正に同期化するために、２つのレーザサブシステムの放電の時期を正確に決めるように特に構成されたパルス電源が設けられる。好ましい実施形態は、二組の変圧器コアを有するパルス変圧器ユニットを備えたパルス電力システムを含む。単一の上流側パルス圧縮回路は、両方の組のコアの全ての一次巻線に対して並列に高電圧パルスを供給する。別々の二次導体（一方は一方の組のコアを通り、他方は他方の組のコアを通る）は、２つの別々のレーザチャンバの各々の電極に放電パルスを供給する別々の下流側回路にそれぞれ超高電圧パルスを準備する。 （もっと読む）

【課題】誘電体パイプの中空部において、誘電体パイプの反りや曲がり、あるいは誘電体パイプの内周面および背後電極の表面の微小な凹凸等を原因として隙間が生じ、この隙間部分において発生する不要な放電によって電力の損失が発生し、予備電離強度を低下させるという問題があることから、不要な放電による電力損失を低減することで予備電離強度を強め、レーザ出力を上昇させるコロナ予備電離電極を提供する。
【解決手段】誘電体パイプとこの誘電体パイプの中空部に配設される前記背後電極との間に、誘電体パイプの内周面と背後電極の外周面の双方に接触する導体を介在させるようにしている。 （もっと読む）