【課題】 不純物の固相拡散によって発振波長の異なる２つの半導体レーザ構造体のそれぞれの活性層の出射端部におけるバンドギャップの拡大処理を同時に行うことができ、生産性に優れた高信頼性の２波長型の半導体レーザ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 第２活性層４４よりも不純物が拡散しにくい材料系を用いて形成される第１活性層２４に積層して形成される第２クラッド層２５の第１部分５１に、第１活性層２４に拡散させるべき不純物をドーピングして赤外および赤色半導体レーザ構造体２０Ａ，２０Ｂをそれぞれ半導体基板２１上に形成しておくことによって、第１および第２コンタクト層２７，４７から第１および第２活性層２４，４４に不純物をそれぞれ拡散させるとともに、第１部分５１からも第１活性層２４に不純物を拡散させることができ、予め定める不純物を拡散させるための温度を揃えることができる。 （もっと読む）