【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ１２４及びバルブ１２６が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】不可測な外的要因に依存して操作量の平衡点が移動する可能性のある制御対象に対しても適切な状態判定を行う。
【解決手段】状態判定装置は、制御量ＰＶと操作量ＭＶの時系列データについてステップ応答前半の過渡状態のデータを特定する過渡状態データ特定部３と、制御量ＰＶと操作量ＭＶの時系列データのうちの過渡状態のデータにより制御対象のモデル数式を同定する制御対象モデリング部４と、モデル数式に基づいて動的プロセスゲインとプロセス時定数との比率を算出するゲイン時定数比算出部５と、制御対象が特定の状態にある場合の比率の数値範囲を示す判定基準を予め記憶する判定基準記憶部６と、比率と判定基準とを比較して、制御対象の状態が特定の状態にあるか否かを判定する状態判定部７とを有する。 （もっと読む）

【課題】 時間比例出力のサイクルタイムが長い制御系において、その操作量ＭＶが大きく変化した場合であっても、追従性良く時間比例出力を変化させて応答性の良い制御結果を得ることのできる時間比例制御装置を提供する。
【解決手段】 制御対象に対する制御目標値と上記制御対象の状態を示す値との偏差偏差が変化したとき、この偏差の変化時点までに出力された現サイクルタイム内での前記時間比例出力のオン経過時間よりも新たな偏差に応じた時間比例出力のオン時間が長い場合には、前記偏差の変化時点をトリガとして上記オン時間と前記オン経過時間との差に相当する時間に亘る前記時間比例出力を新たに生成する。 （もっと読む）

【課題】 低温の循環流体をランプヒータで加熱して流体の温度制御を行う場合、制御の応答性と精度を高める。
【解決手段】 流体循環供給系３１を循環する流体は、チラー３２で冷却され、熱交換器３３内のランプヒータで加熱される。ランプ制御部４１は、ランプ出力を制御することで、流体の温度を設定温度に制御する。バルブ制御部４３は、ヒータ出力が、制御に適した出力設定範囲内に入るように、チラー通路３７の流量制御弁３４とバイパス通路３５の流量制御弁３６の混合比を調節する。更に、バルブ制御部４３は、開度と流量との関係が、開度の分解能が高温域で細かく低温域で粗くなるような重み付けを線形関係に加味した関係となるように、且つ、２つの流量制御弁３４、３６の流量を合計した循環流量が常に一定になるように、開度と２つの弁３４、３６の操作量（パルス数）との対応関係を定める。 （もっと読む）