【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第１スライド部３と第２スライド部４を有する弁体２を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源１０からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路５と、弁体２の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路６を備え、圧力流体供給路５を第２スライド部４と弁箱１端間で形成される第２外方室Ｋ２に連通させる連通路、５Ｐを設けた制御弁である。これら各連通路に第２のオリフィスＯＦ２を介設したものである。 （もっと読む）

パイロット流体供給源（２０９）とプロセス流体供給源（２２２）とを有する多段式弁システム（２００）が提供される。多段式弁システムは、パイロット流体供給源と連通する第一のポート（２０６）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２０７）と有する第一のパイロット弁（２０１）を備えている。また、多段式弁システムは、第二のパイロット弁（２０２）をさらに備えている。第二のパイロット弁は、プロセス流体供給源と連通する第一のポート（２１３）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２１４）と有しうる。第二のパイロット弁は、プロセス流体供給源と連通する第一の圧力駆動付勢部材（２１７）と、第一のパイロット弁の第二のポートと連通する第二の圧力駆動付勢部材（２１８）とをさらに有している。また、多段式弁システムは主制御弁（２０３）をさらに備えている。主制御弁は、プロセス流体供給源と連通する第一のポート（２２０）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２２１）とを有しうる。また、主制御弁は、プロセス流体供給源と連通する第一の圧力駆動付勢部材（２２５）と、第二のパイロット弁の第二のポートと連通する第二の圧力駆動付勢（２２６）部材とを有しうる。
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【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

提供される方法と装置は、ガス・フロー・コントローラを通過する流量を正確に測定するために、ガス・フロー・コントローラ（ＧＦＣ）の上流の圧力の低下率を用いる。今日、生産使用されている多くのガス・フロー・コントローラを通過するガス流の測定が、特殊で高機能な圧力調整器もしくはその他の特殊な構成要素を必要とすることなしに可能となる。提供される様々な施策等により、測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの一定の流れが乱されないようにすることができる。 （もっと読む）

流れ制御室と、ディフューザと、固定長さ止栓とを備える流れ制御装置を提供する。固定長さ止栓は、軸と、栓とを備える。軸は、その長手方向軸に沿って圧縮することができる。流れ制御装置は、流れ制御部本体に取外し可能に取り付けられたインターフェースをさらに備える。固定長さ止栓の固定部分が、インターフェースに取り付けられている。流れ制御装置は、複数の所定の長さを有する複数の固定長さ止栓をさらに備える。装着されると、固定長さ止栓のそれぞれが、流れ制御室を通過する流体にある流速を生じさせるためにディフューザに所定の距離だけ入った状態で位置決めされる。固定長さ止栓は、所定の長さに従って色分けされている。 （もっと読む）

【課題】 圧力変動を吸収することができて流量の制御性が高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流体を流す流路６に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構１０とを設ける。そして、外部から入力される流量設定信号Ｓ０と流量信号Ｓ１とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段４４を設けてなる流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４２を設ける。前記制御手段は流量検出手段から得られる流量信号に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第１制御モードがある。そして、圧力検出信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第２制御モードとを選択的に切り替える。 （もっと読む）

流量制御装置１０は、使用時に投入される流体の供給源に連絡する上流端１４と、供給ダクト２６と接続可能に連絡する下流端１６とを有するハウジング１２とを備える。流路１８は、前記ハウジング１２の前記上流端１４と前記下流端１６により規定される。バルブ装置２０は、前記流路１８を通る流体の流れを制御するために、前記流路１８に配置されている。流量制御部２１は前記バルブ装置２０と協働する。前記流量制御部２１は、前記バルブ装置２０の状態に関わらず、前記流路１８を通る流体の流れを促す。
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【課題】 精度の高いエアの流量調整を容易にする。
【解決手段】 弁箱２１には、負荷側に接続される第１のエア通路２４と、大気側に接続される第２のエア通路２５と、これらエア通路２４，２５が合流しブロアーに接続される第３のエア通路２６とが設けられている。第１のエア通路２４と第３のエア通路２６との間は、第１の接続部２７によって接続され、第２のエア通路２５と第３のエア通路２６との間は、第２の接続部２８によって接続されている。これら第１および第２の接続部２７，２８は、矢印Ｂ−Ｃ方向に移動するエア流量調整プレート２２の第１および第２の連通窓３１，３２によって連動して開口される。第１の連通窓３１による第１の接続部２７の開口面積と、第２の連通窓３２による第２の接続部２８の開口面積との総和を常に一定したものである。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、スラリーを使用してもスラリーが固着しにくく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部６０に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁５とを具備し、少なくとも流量計センサ部４と空気駆動式ピンチ弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）