【課題】冷却手段５０の能力の下限を引下げ、試験室３内の環境が安定した後における加熱ヒータ６の運転機会を減少させ、省エネルギーに寄与する環境試験装置を開発する。
【解決手段】環境試験装置１は、試験室３、冷却手段５０、加熱ヒータ６、加湿装置７及び送風機８を備えている。冷却手段５０は、２系統の冷却回路５１，５２を有している。制御用冷却回路５２は、負荷用冷却回路５１に比べて容量の小さい冷却・除湿器であり、制御側圧縮機６５と、制御側熱交換器６６と、制御側凝縮器６７と、電磁弁７３と、制御側膨張手段（キャピラリーチューブ）６８と、制御側蒸発器６９を有している。制御側蒸発器６９は、ステンレススチールの裸管７６で作られている。必要な冷熱量を演算し、この必要量に見合う様に、一定時間あたりの電磁弁７３の開時間を演算し、この時間だけ電磁弁７３を開いて冷媒を制御側蒸発器６９に導入する。 （もっと読む）

【課題】ポンプを用いて基台内を循環させる液体を貯留するタンク内の液面が変化してもタンク内の液面を一定の範囲に維持してポンプに起因する脈動を常に確実且つ安定的に軽減することができる脈動軽減装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の脈動軽減装置１６は、循環配管１２に接続されて空間部を残して冷媒を貯留する第２タンク１６Ａと、第２タンク１６Ａ内の冷媒の液面を検出する第１、第２液面センサ１６Ｂ、１６Ｃと、第１、第２液面センサ１６Ｂ、１６Ｃに電気的に接続され且つこれらのセンサ１６Ｂ、１６Ｃからの検出信号に基づいて作動する空気制御装置１６Ｄと、を備え、第２タンク１６Ａの空間部を満たす空気等の気体がポンプ１３から冷媒を吐出する際の脈動を軽減する緩衝体として働くように構成されている。 （もっと読む）

２個のガス源（１，４）からの気体を可撓性の物理的障壁（１２）で二分割したチャンバ（１７，１６）にそれぞれ送り、チャンバ（１６，１７）全域で圧力が均一な気体混合装置。各チャンバからそれぞれの気体を同時に混合容器（７）へ開放し、圧力放出による可撓性障壁（１２）の圧力平衡効果によって、望ましい気体混合物の混合特性を適宜管理する。この装置を分配器または希釈器と呼称しても構わない。窒素中、例えば１％の低濃度一酸化炭素をさらに窒素と混合して、０．００１％濃度に希釈するのに使用しても構わない。
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【課題】 任意の分光分布が設定可能であり、特にハロゲン光源の分光分布やＤ６５標準光等の既存の各種光源の分光分布に近似制御することが可能な光源装置を実現する。
【解決手段】 所定の発光分布を持つ複数の多色発光源と、これら多色発光源の発光量を夫々制御する光源制御手段とを具備する光源装置において、
所定の波長範囲における目標の分光分布データを保持する目標分光分布保持手段と、
前記発光源毎の駆動電流及び発光分布に対する発光出力の相関関係に基づく特性データを保持する特性データ保持手段と、
前記目標分光分布保持手段から取得する前記分光分布データと、前記特性データ保持手段から取得する前記特性データとを比較し、各波長における前記分光分布データと前記特性データの偏差が最小となる前記多色発光源の発光量の指令値を計算し、前記光源制御手段に渡す分光分布制御手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】特許文献１に記載の脈動軽減装置の場合には、メインチャンバーを補助チャンバーの高い位置に配置し、メインチャンバー内で空気が溶け込んで増量した液体を補助チャンバーへオーバーフローさせ、その液分を補助チャンバー内の空気で置換するため、例えば、半導体ウエハ等の被処理体の検査装置のように被処理体を載置体上で冷却する場合には、載置体内を循環させる冷媒がメインチャンバー内で気化し易く、液体の気化容量が液体への空気等の溶解容量を上回り、メインチャンバー内の気体の圧力が上昇し、脈動軽減機能を損なう。
【解決手段】本発明の脈動軽減装置１０は、空間部を残して冷媒を貯留する第１タンク１５Ａと、第１タンク１５Ａにこれより高い位置に配置された状態で接続され且つ第１タンク１５Ａ内に冷媒を補充する補充タンク１５Ｂと、第１タンク１５Ａと補充タンク１５Ｂの空間部とを接続する気体抜き配管１５Ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の無線タグの配置により、液面監視を可能にした液体収容ケースの監視装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数箇所にそれぞれ取り付けられている無線タグを含む液体収容ケースと、複数の前記無線タグ対して質問電波を与え，それぞれの無線タグからの応答信号に応じて、前記液体収容ケース内の液体状況を管理する管理手段とを有する。 （もっと読む）