【課題】酸性ガス濃度測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量を制御するフィードバック形式において、現状のフィードバック制御が抱える計測遅れによる酸性ガスの処理不良並びにアルカリ剤の過剰添加を削減する酸性ガスの処理方法を提供すること。
【解決手段】酸性ガスが含まれる燃焼排ガスにアルカリ剤を添加し、粉塵を集塵した後の酸性ガス濃度を測定するように設置された酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量をフィードバック制御する酸性ガスの処理方法において、計測遅延時間がそれぞれ異なるＨＣｌ濃度測定機器（低速）１４及びＨＣｌ濃度測定機器（高速）１５により同一種の酸性ガス濃度を測定する工程と、複数の酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量出力値をフィードバック演算により算出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】マルチ・チャンバ・ツールとの関係でオゾン濃度を制御する改良されたシステム及び方法を提供する。
【解決手段】オゾン発生器２０と組み合わされた第１及び第２の濃度コントローラ２５、３５を含む。第１の濃度コントローラ２５は、イベントを検出し、それに応答して、予測制御アルゴリズムに従いオゾン発生器２０に電力指示を提供する。第１の濃度コントローラ２５は、高速（すなわち、約１秒）の応答時間を有する。第２の濃度コントローラ３５は、イベントの間はオゾン発生器２０からマスクされているが、それ以外の場合には、イベントの発生からある時間間隔が経過した後で発生器２０を制御する。第２の濃度コントローラ３５は、第１の濃度コントローラ２５よりも低速の応答時間を有するが、システムに長期的な安定性を提供し、予測制御アルゴリズムに更新されたデータを提供するのに用いられる。 （もっと読む）

複数の物質を流れの中に組み合わせるための装置（１０）および方法。複数の物質には、多量の方の物質および一つ以上の少量の方の物質の両方が含まれてもよい。少量の方の物質は、入口管（１４１）を使用して加えられる。多量の方のおよび少量の方の物質は、制御信号からの指令次第で、過渡または定常状態の流量にて加えられる。本装置および方法は、流れ制御弁、流れ制御フィードバックループ、または動的混合タンクを有さない、制御システムを利用する。実流量は、指令された流量に追従するが、誤差による逸脱がある。特許請求された構成は、従来技術では得ることができないと考えられる時間基準の誤差を提供する。
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複数の物質を組み合わせるための装置と方法である。複数の物質には、主要物質および一つ以上の副次的物質の両方が含まれてもよい。主要および副次的物質は、制御信号からの指令次第で、過渡または定常状態の流量にて加えられる。実流量は、指令された流量に追従するが、誤差による逸脱がある。本請求された構成は、先行技術では得ることが不可能であった瞬間誤差及び時間をベースとする誤差を得る。
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【目的】運転立ち上がり時において、制御量を迅速に任意の目標値に収束させることができるインライン混合装置及びその制御方法を提供すること。また、制御運転中に制御量が変動した際及び目標値を変更した際にも制御量を迅速に目標値に収束させることができるインライン混合装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】運転開始前において、流量調節器の操作量に対する制御量の特性を表す特性データを基に、設定された目標値に対する運転開始時の流量調節器の操作量を算出し、運転開始から所定時間は、運転開始時の操作量で流量調節器を運転し、所定時間後に流量調節器を自動制御する。自動制御運転中に偏差が大きくなった場合は、偏差の大きさに応じて制御定数を可変させるか、又は当該運転開始時の操作量に操作量を一時的に固定させる。 （もっと読む）