【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

【課題】背圧室からの油圧の印加態様に応じて変位する可動部材により開弁圧を切り替えるリリーフ弁を備えた可変油圧システムにおいて開弁圧の切り替え動作の信頼性を向上することができる可変油圧システムを提供する。
【解決手段】背圧室３５から印加される油圧に応じた変位により開弁圧を変更させるスリーブ２６を有してポンプ１３の吐出側に設けられたリリーフ弁２０と、背圧室３５における油圧の印加態様を切り替える切り替え弁４０とを備え、背圧室３５における油圧の印加態様の切り替えにより開弁圧の圧力段を切り替えて供給対象である内燃機関の各部への供給圧を変更する可変油圧システム１０であって、リリーフ弁２０が、背圧室３５の昇圧によるスリーブ２６の変位によりポンプ１３の吸入側と背圧室３５とを連通させるリターン通路２１Ｃを備えた。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２２内のガスを吸引するポンプ４２を備える構成とし、チャンバ２２とガスポンプ４２とを連通する連通管５２に圧力調整ガスを導入し、ポンプ４２による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ２２内の圧力調整を行う。チャンバ２２内にガスを供給することなく、チャンバ２２内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ２２内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ４２による流量を一定としているため、ポンプ４２の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。 （もっと読む）

【課題】流体流量とは無関係に動作して流体ゾーン内の陽圧を一定に維持する圧力調整装置を提供すること。
【解決手段】圧力調整装置は、流体経路と、その流体経路の表面との間に隙間が形成されるように流体経路内に位置するように構成される可動部材とを具備している。この可動部材は、流体経路内を移動するようにされており、これが流体経路内の一定方向に移動するにつれて隙間サイズが大きくなる。 （もっと読む）