【課題】温度制御用の温度検出素子が故障しても、被加熱物の温度をほとんど変動させることなく、継続して温度制御可能な温度制御方法を提供する。
【解決手段】各々が互いに異なる位置に設けられた複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０が温度を検出した検出値に基づいて、各々が互いに異なる位置に設けられた複数の発熱素子６３−１〜６３−１０を含み、被加熱物を加熱する加熱部６３における発熱素子６３−１〜６３−１０の発熱量を制御することによって、被加熱物の温度を制御する温度制御方法において、複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０のいずれかが故障したときに、故障した温度検出素子以外の温度検出素子が検出した検出値に基づいて、複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０の各々の温度を推定する第１の推定アルゴリズムにより、複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０の各々の温度を推定し、推定した推定値に基づいて、被加熱物の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】抵抗ヒータの温度制御において、消費電力を抑えるようにすることと、抵抗ヒータの電圧等の測定に関して分解能の低下や誤差の増大を抑えるようにする。
【解決手段】温度制御装置５は、温度依存性抵抗ヒータ１１と、ＰＷＭコントローラ７１と、ＰＷＭスイッチＳＷ１と、差動増幅器５５と、ＡＤＣ５６と、を備える。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオン状態である場合に、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオフ状態である場合、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって温度依存性抵抗ヒータ１１に電流が流れない。ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオン状態の場合における差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 （もっと読む）

【課題】抵抗ヒータの温度制御における消費電力を抑え、抵抗ヒータの電圧等の測定に関して分解能の低下や誤差の増大を抑える。
【解決手段】温度制御装置５は、温度依存性抵抗ヒータ１１と、ＰＷＭコントローラ７１と、加算器５２と、反転増幅器５３と、ＰＷＭスイッチＳＷ１と、差動増幅器５４と、差動増幅器５５と、ＡＤＣ５６と、を備える。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオンである場合に、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって強電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオフである場合、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって弱電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオフの場合における差動増幅器５４、差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 （もっと読む）

【課題】 かなりの真空度に減圧されている条件下にあっても、被温度調整物を所定の温度に効率よく迅速かつ的確にしかも実際の分析作業等とリアルタイムで温度調整することが出来ると共に、温度調整中に被温度調整物が揮発分散するような恐れがない分析機器等における温度調整機構を提供すること。
【解決手段】 被温度調整物を流通させる１本又は複数本の被温調用チューブ１と温度調整用物を流通させる１本又は複数本の温調用チューブ２とを一緒に束ねて接触させることにより、前記被温度調整物を上記被温調用チューブ内を流通している間に所定の温度に調整するようにした。 （もっと読む）