【課題】連続した部材によって外部と区画された区画領域内に、電界効果トランジスタ、マイクロコンピュータ等の動作時に発熱する電子機器及び／又は素子とともに温度計測手段が設けられた温度コントロールユニットにおいて、それらの発熱の影響によらず区画領域外の温度を正確に推定できる温度コントロールユニットを提供すること。
【解決手段】温度コントロールユニットの区画領域内に、温度計測手段が相互に異なる位置に複数個設けられ、複数の温度計測手段によって計測された温度に基づいて区画領域外の温度を推定し、推定された外部の温度に基づいて前記区画領域外に設けられたヒータの出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】運転の安定を正確かつ迅速に判断し、ブース内の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しつつ空気用目標設定温度に収束させ、省エネを実現する温調装置の提供。
【解決手段】空気温度Ｐ１の温度制御範囲の異なるレベルが相互にオーバーラップして設定され、レベル間を移動可能なステップサーモ方式で温調手段の温調出力をＰＩＤ制御する温調装置で、制御手段が、流体温度Ｑ１を流体用目標設定温度Ｑ２にＰＩＤ制御する構成で、各レベルに異なる流体用目標設定温度Ｑ２を設定し各レベルに制御の基準点を夫々設定し各基準点に該各基準点に所定温度を加算又は減算した基準点変更用閾温度Ｃを夫々設定し、現在の基準点を制御基準とした制御状態にて、空気温度Ｐ１が現在の基準点での現在のレベルから新たなレベルに移動後、現在の基準点の基準点変更用閾温度Ｃに初めて到達した場合に、現在の基準点を新たなレベルの新たな基準点に変更しＰＩＤ制御する。 （もっと読む）

【課題】運転の安定を正確かつ迅速に判断し、ブース内の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しつつ空気用目標設定温度に収束させ、省エネを実現する温調装置の提供。
【解決手段】空気温度Ｐ１の温度制御範囲の異なる複数のレベルを相互にオーバーラップさせて環状ステップを形成し、レベル間を移動可能なステップサーモ方式で温調手段の温調出力を制御する温調装置にて、制御手段が、ブース内に供給される流体Ｑの流体温度Ｑ１が流体用目標設定温度Ｑ２となるよう制御し、複数のレベル夫々に異なる流体用目標設定温度Ｑ２を設定し、環状ステップに対応して制御の基準点を夫々設定し、現在の基準点を制御の基準とした制御状態にて、空気温度Ｐ１が現在の基準点に対応する現在の環状ステップから新たな環状ステップに移動後、新たな環状ステップのレベル間を往復した際の復のタイミングで、現在の基準点を新たな環状ステップの新たな基準点に変更する。 （もっと読む）

【課題】単位生成熱量あたりのエネルギーコストが大きい機器と単位生成熱量あたりのエネルギーコストが小さい機器が混在する熱源システムにおいて、合計のエネルギーコストを低減させ、さらなる省エネを図る。
【解決手段】設定送水温度ＴＳｓｐの緩和に際して、単位生成熱量あたりのエネルギーコストが小さい機器よりも単位生成熱量あたりのエネルギーコストが大きい機器を優先させて、その機器の冷温水の出口温度の設定値を緩和する。例えば、冷凍機１−１を低ＣＯＰ機（単位生成熱量あたりのエネルギーコスト大）、冷凍機１−２を高ＣＯＰ機（単位生成熱量あたりのエネルギーコスト小）とした場合、冷凍機１−２（高ＣＯＰ機）の冷水の出口温度の設定値ＴＳ２ｓｐよりも、冷凍機１−１（低ＣＯＰ機）の冷水の出口温度の設定値ＴＳ１ｓｐを優先させて、緩和する。 （もっと読む）

【課題】使用するエネルギーの種別が異なる機器が混在する熱源システムにおいて、省エネを図りつつ、エネルギーを使用する場合に適用される各種の規制を回避する。
【解決手段】例えば、所定の判断基準を「現在の時刻がピーク時間帯に入っているか否か」とし、現在の時刻がピーク時間帯に入っていない場合には（ステップＳ１０４のＮＯ）、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和優先機、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和後回し機とし（ステップＳ１０５）、現在の時刻がピーク時間帯に入っている場合には（ステップＳ１０４のＹＥＳ）、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和優先機、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和後回し機とする。 （もっと読む）

【課題】発電運転中におけるファン等の空冷器による冷却量を行う発電システムにおいて、インバーター周辺に設置された温度センサの検知温度が高温化してから、冷却器による冷却量を増加させても、インバーターの過昇温を抑制することが困難であった。
【解決手段】発電機１と、発電機１の直流電力を交流電力に変換する直交変換器２と、少なくとも直交変換器２を空冷する空冷器３と、制御器７とを備え、制御器７は、発電機１の発電量に応じて空冷器３による冷却量を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精密温調システムにおいて、非定常外乱が生じた場合でも温調対象空間の空気温度の変動を最小限に抑える。
【解決手段】外乱推定部１１、ノミナルプラント１４を備える外乱オブザーバ部１０を設ける。ノミナルプラント１４は制御対象４を模擬するモデルである。制御対象４のモデル化は、温調対象空間（チャンバ等）やエアダクトにおける空気の熱量、流れを考慮して行う。外乱推定部１１は、このノミナルプラント１４のモデルに応じた伝達関数を用いて、制御対象５の出力ｙとノミナルプラント１４の出力ｙ_Ｎとの偏差（ｙ_Ｎ−ｙ）に基づいて外乱推定値ｄｍを生成・出力する。この外乱推定値ｄｍに対して所定のゲインＫ_ＡＤＤ（≦１；例えば０．７程度）を乗じた値を、操作量ＭＶ（ｓ）に加える。 （もっと読む）

【課題】コンピュータが有する冷却用のファンの制御において、ファン以外の冷却装置を設けなくとも、コンピュータの低負荷時にファンが過剰な回転することを防止する。
【解決手段】計算機の設置されている環境の温度である「環境温度」を受け付ける、前記計算機内が備える第１のデバイスの温度である「第１のデバイス温度」を受け付ける、前記計算機内が備える第２のデバイスの温度である「第２のデバイス温度」を受け付ける、前記受け付けた前記環境温度、前記第１のデバイス温度及び前記第２のデバイス温度と、前記各温度とファン回転数の関係が記入されたファン回転数記述テーブルとを比較することにより、ファンの回転数を決定し、当該決定したファンの回転数で回転をするように、前記ファンに指示する。 （もっと読む）

【課題】安定かつ高精度な温度制御に好適な技術を提供する。
【解決手段】温度を制御する温度制御装置２００は、加熱部３０と、温度を検出する温度検出部３６と、目標温度と前記温度検出部によって検出された温度との偏差Ｅに基づいて操作量ＭＶｒを演算する演算部１００と、操作量ＭＶｒに応じて電圧又は電流が調整された電力を加熱部３０に供給する電力調整器２８とを備える。演算部１００は、比例要素、積分要素および微分要素のうち少なくとも比例要素を偏差Ｅに乗じる第１演算部３２と、平方根を演算する第２演算部３４とを含み、第１演算部３２と第２演算部３４とが直列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】傾斜温度制御において、加熱冷却特性に応じた加熱冷却制御を可能にする。
【解決手段】平均温度を制御するための操作量および傾斜温度を制御するための各ＰＩＤ制御部４−１，４−２からの操作量を、各制御点に対応する操作量として前置補償器５で配分し、この操作量を、操作量変換部６−１，６−２で加熱側の操作量および冷却側の操作量に変換するとともに、冷却係数を用いて冷却側の操作量に変換している。 （もっと読む）

【課題】位相制御用サイリスタ駆動ユニットと温度調節器の分離設置ができるように、両ユニット間をシリアル伝送による通信を行うことで、ノイズの影響による制御誤動作を防止することができる基板処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を装填した基板保持具を搬入して、所定の処理を施すための炉と、前記炉内に収納された基板を加熱する加熱手段と、前記炉内の温度を計測する熱電対に接続される温度調節器と、該温度調節器からの信号に基づいて前記加熱手段に電力を供給する手段に所定の信号を出力する駆動ユニットとを備え、前記温度調節手段と前記駆動ユニットはそれぞれ分離して設置される。 （もっと読む）

【課題】エイジングによってチャンバーの温度を温調目標値までシフトする際に円滑な温調を実現する温調装置を構成する。
【解決手段】チャンバーの温度をエイジング制御によって温調目標値ＳＰ３までシフトする際に、制御開始時におけるチャンバーの温度を基準にして、シフト値Ｕだけ温調目標値ＳＰ３に近い目標値ＳＰを設定した状態でＶ時間だけ温調を行うことで温度変化率を取得する。次に、温度変化率が基準値Ｗ内にある場合には、この温度変化率を維持する標準温調制御を反復して行う。これとは逆に、温度変化率が想定を超える場合には、この温度変化率より小さい温度変化率を作り出すようにシフト値Ｕより小さい値の補正シフト値Ｘに基づいて目標値ＳＰを設定して補正温調制御を反復して行う。 （もっと読む）

【課題】温度調節対象空間における温度分布のムラを抑制する。
【解決手段】温調対象流体Ａを冷却手段３と加熱手段２とを通して温度調節して吹出す温度調節装置１と、温度調節装置１から吹出される温調対象流体Ａを温度調節対象空間２０へ導く流体流通路９とを備え、温度調節対象空間２０に温調対象流体Ａを供給する分散供給装置１を備えた精密温度調節設備１００であって、分散供給装置１０が、流体流通路９の異なった位置における温調対象流体Ａの流れを収束合流させる収束合流手段１２を設け、収束合流後の流れが温度調節対象空間２０側で拡散する。 （もっと読む）

【課題】流量の測定を必要とせず呼吸システム内の温度測定に依拠する信頼性のあるPIDフィードバック制御を提供すること。
【解決手段】呼吸システム(10)のために設けられる加熱器システム(16)は、PIDフィードバック制御(100)を有し、PIDフィードバック制御(100)では、ウォームアッププロセスなどの際に係数が調整され、係数は、流量または湿度レベルを直接監視することを必要とせずに、温度目標値に関する熱入力と熱出力の間の差に基づいて、加熱された水(27)のチャンバ(20)を通る気体の推定流量に対応するように調整される。目標値に関する測定された温度の挙動に基づく係数の定常状態調整もまた開示される。 （もっと読む）

【課題】遠隔地若しくは異なる時間帯における被測定媒体と同様の温度を、温度調整媒体にて適切に再現することを可能とした温度再現方法及びシステムを提供する。
【解決手段】温度が可変である温度調整媒体１２の温度を制御するシステムであって、被測定媒体１の温度を経時的に測定する温度センサ２と、該測定された経時温度データを記憶させる記憶装置６と、該温度調整媒体１２に対して遠隔地或いは異なる時間帯に存在する前記温度調整媒体１２の温度を制御する温度制御装置１１と、を備え、前記温度制御装置１１は、前記記憶装置６からの経時温度データを取り込み、該経時温度データに基づいて前記温度調整媒体１２の温度を制御する構成とし、前記被測定媒体１の温度履歴を前記温度調整媒体１２にて再現する。 （もっと読む）

【課題】ランプ制御における目標値に対する追従性を向上させる。
【解決手段】α決定部２２は、温度センサ１３において検出された加熱室内の温度が、最終目標温度ｎ_ｘよりもオーバーシュート抑制温度ｎだけ低い切り替え温度ｎ_ｘ−ｎ以下のときには、加熱温度制御部２３における２自由度ＰＩＤ制御のパラメータであるαの値を設定可能な範囲で最小値（例えば、０．１）に決定し、温度センサ１３において検出された加熱室内の温度が、切り替え温度ｎ_ｘ−ｎよりも高いときには、αの値を上記最小値よりも大きな値（例えば、０．６５）に決定する。オーバーシュート抑制温度ｎは、最終目標温度ｎ_ｘに比例するとともに、最終目標時間ｔに反比例するように設定される。 （もっと読む）

本発明は、熱電的に作業する複数の温度調節エレメント（１０）を有する熱電式の温度調節装置であって、前記温度調節エレメント（１０）が、電流供給時に形成される冷たい面を一方側に備え、この一方側とは反対側に暖かい面を備えており、前記温度調節エレメント（１０）の両側に、それぞれの通気室内に収容された空気・熱交換体（１１，１１′）を備え、かつ該空気・熱交換体に沿って空気の流れを形成するファン（１３，１３′）を備えている形式のものに関する。簡単な適合可能性及び拡大可能性を得るために、本発明によれば、前記温度調節装置の１つのユニットが温度調節モジュール（１）として構成されており、前記通気室が、空気流れ方向で前記熱交換体（１１，１１′）の側方及び前記温度調節エレメント（１０）とは反対側を包囲する流れ管路（１５，１５′）として構成されており、これらの流れ管路（１５，１５′）が、空気流入開口（１４，１４′）と空気流出開口（１５，１５′）とを有しており、各流れ管路（１５，１５′）のファン（１３，１３′）が、前記流れ管路の前記空気流入開口（１４，１４′）又は空気流出開口（１６，１６′）に配置されている。
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【課題】 機器の異常な温度上昇を防止するために、温度過昇防止サーモスタット等の過熱保護部品が用いられる。しかし、この保護温度は一定であった。
【解決手段】 本発明は、保護温度の異なる温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)を複数備え、この複数の温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)を選択的に切り替える選択機構(9)を備える温度過昇防止装置である。また、本発明は、内部(2)の温度を検出する温度センサ(4)と、この温度センサ(4)の出力に応じて前記内部(2)の温度が所定の温度になるように加熱手段(3)の加熱を制御する制御部(10,12)と、前記内部(2)の温度に応じて前記加熱手段(3)の加熱を停止させる温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)とを備える加熱装置(1)において、前記温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)の保護温度を選択できる加熱装置である。 （もっと読む）

【課題】製造された低温の気体を、低温状態を維持したままで恒温機器側に送りだすことができる熱媒体供給装置の開発することを目的とする。
【解決手段】往き側渡り配管７は、中心管５０の周囲を外郭管５１が取り囲み、さらに中心管５０の中に挿入管５２が挿入されたものである。中心管５０と外郭管５１との間の空隙が往き側流路７３として機能する。挿入管５２と中心管５０との間の空隙が往き側補助流路７２として機能する。往き側流路７３に隣接する往き側補助流路７２には冷却装置で作られた低温の冷媒が流通される。その結果、往き側流路７３を流通した空気が冷却され、恒温装置へ送られる。 （もっと読む）

【課題】制御対象の非線形特性を線形化できるようにする。
【解決手段】制御対象２と外界との熱伝達の影響を打ち消す線形化器４を設け、制御対象２の検出温度ｙ_１，ｙ_２と外界の温度θ_∞との温度差を、熱伝達項１０−１’，１０−２’を介して制御対象２の入力側である操作量側にフィードバックし、制御対象２と外界との間の非線形な熱伝達の影響を打ち消すようにしている。 （もっと読む）