【課題】リニアブロックの数を増減させることにより走行路を容易に変更可能で且つ走行体の走行駆動制御手段の変更を抑制できる作業用搬送装置を提供する。
【解決手段】複数のリニアブロック１と、ガイドレール上を摺動案内される複数の走行体と、ガイドレール延設方向に並列配置された複数の固定電磁石及び走行体側に設けられた可動永久磁石等により構成されるリニアモータと、走行体を走行駆動させる制御部とを備え、単一の走行路３に沿って走行体により搬送される被処理物の流れ作業を行うことが可能な作業用搬送装置において、走行路３を複数のポイントＰに区画し、走行体がどのポイントＰにいるかを検出する位置検出手段を設け、制御部が走行体の現ポイントＰでの作業が完了したこと又は作業が不必要であることを判断するとともに次ポイントＰに他の走行体がいないことを検出することにより該走行体を次ポイントＰに変位させる。 （もっと読む）

【課題】吸引力を監視し、過大な吸引力の発生を抑えることで、安全性の高いリニアインダクションモータ駆動システムを提供する。
【解決手段】電気車202の車上側に、可変電圧、可変周波数の交流を出力する電力変換装置と、電力変換装置から電力を供給され、リニアインダクションモータの一次回路となるコイル巻線とを搭載し、地上側に、リニアインダクションモータの二次導体となるリアクションプレート203を設け、リニアインダクションモータにより電気車を駆動するリニアインダクションモータ109の駆動システムにおいて、電気車の車上側に、吸引力を演算する制御器と、吸引力の演算結果が設定された値を下回るように制御する吸引力監視制御器111を設けた。吸引力を演算する制御器は、リニアインダクションモータ109に加える電圧、電流、周波数から吸引力を演算した結果に応じて、リニアインダクションモータに加える電圧、電流、周波数を補正する。 （もっと読む）

【課題】多頭化した可動子を個別に駆動させると共に省スペース化を可能とするリニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータ１は、通電制御部３、測長部４、コイル５、磁石７を備える。コイル５は、コイルＣ１、コイルＣ２、…、から構成される。１つの移動軸１２に対して、磁石７を構成する複数の磁石Ｍ１、磁石Ｍ２、…、が設けられる。通電制御部３は、コイルＣｉに電流を供給して通電する。コイルＣｉの磁極が励磁して磁石Ｍｋ（ｋ＝１、２、…）を引きつける。磁石Ｍｋは、コイルＣｉ上を移動する。測長部４は、磁石Ｍｋの位置情報を取得する。磁石ＭｋがコイルＣｉから隣接するコイルＣｉ＋１あるいはコイルＣｉ−１に移動する際に、通電制御部３は、電流供給先をコイルＣｉから隣接するコイルＣｉ＋１あるいはコイルＣｉ−１に切り替える。リニアモータ１は、磁石Ｍｋ毎に個別に上記の処理を行う。 （もっと読む）

【課題】多軸方向への広域移送および超精密位置の制御が可能な磁気浮上方式の広域ステージ装置を提供する。
【解決手段】磁気浮上方式のステージ装置は、水平面を形成する支えプレート（１１）を具備した下部移送台（１０）と、前記支えプレート（１１）の上面に設置されて電磁界を発生させるコイル・モジュールアレイ（２０）と、前記下部移送台（１０）の上側で浮上および移送されるステージ（３０）と、前記ステージ（３０）の下面に複数個の永久磁石（４１，４２）が配列設置されている永久磁石アレイ（４０）から構成される。前記コイル・モジュールアレイ（２０）が支えプレート（１１）上面のコイル・モジュール（２１）複数個で構成されるが、隣接したコイル・モジュール（２１）間のコイルの巻線方向が直角になるように前記コイル・モジュール（２１）が互いに直交して将棋盤のます目状の形態で配置される。 （もっと読む）

【課題】加減速時に重心軸周りに回転（ヨーイング）を起こしてもコイルと磁石の位置関係を正確に求め位相を補正することができ、カウンタマスを搭載したステージ装置に容易に対応可能で、大加速で駆動しても推力誤差による振動が発生しない、高精度な位置決めできるリニアモータ、ステージ装置およびリニアモータの位相補正方法、露光装置およびデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】多相コイルユニットと、磁石ユニットと、を備えるリニアモータであって、前記多相コイルユニットおよび前記磁石ユニットの各々の位置を検出するための位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記多相コイルに与える電流の位相を補正する補正手段と、を備えるリニアモータ。このリニアモータを用いるステージ装置およびリニアモータの位相補正方法。このステージ装置を用いる露光装置。この露光装置を用いるデバイス製造方法。 （もっと読む）

【課題】可動部分を固定部分に対して平行に、安定して支持することができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明は、画像安定化用レンズを移動させるアクチュエータ（１０）であって、固定側部材（１２）と、画像安定化用レンズが取り付けられた可動側部材（１４）と、この可動側部材を支持する可動側部材支持手段（１８）と、可動側部材に取り付けられ、画像安定化用レンズの光軸を中心とする円周上に配置された少なくとも３つの駆動用磁石（２２）と、固定側部材に各駆動用磁石に対応して取り付けられた駆動用コイル（２０）と、固定側部材に取り付けられ、駆動用磁石の磁力によって、可動側部材を固定側部材に吸着させる吸着用ヨーク（２６）と、可動側部材の位置を検出する位置検出手段と、検出された位置情報に基づいて、各駆動用コイルに流す駆動電流を制御する制御手段（３６）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

多相モータドライブは、電流を供給したときに磁界が発生するコイルマグネットを有する。コイルマグネットは、電気マトリクスの形に構成される。スイッチは、コイルマグネットとともに電気回路に配置される。各コイルマグネットは、少なくとも２つのスイッチと電気的に接続され、各スイッチは、２つ以上のコイルマグネットと電気的に接続される。スイッチは対で動作してコイルマグネットに通電し、多相モータドライブには、数量がコイルマグネットより少ないスイッチ対が含まれる。
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