【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】 被駆動部材３５において、２つの駆動体４１，４２を、直交する２軸に対して線対称となるように配置することで、各駆動体の移動方向の傾きを相殺し、各駆動体の２つの電気機械変換素子に、互いに同じ電圧または正負が反転した電圧を印加することで、直交する２軸方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータを長時間、共振駆動させた場合において、積層型圧電素子の外部電極が破断する。
【解決手段】 圧電体と内部電極を交互に積層した圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子と、前記２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部で前記２個の超音波振動子と接続された接触部材と、を備えた超音波モータであって、該圧電素子の側面には複数の四角形状或いは長方形状の外部電極が形成されており、該外部電極における４つの端部の対角線が交わる複数の点及び該圧電素子に形成された２本の円柱孔の軸が全て同一の仮想面上に含まれることがないこと。 （もっと読む）

【課題】平行配置された２つの圧電素子に接続された梁状本体部に形成された柱状突起の先端に楕円運動を生起させることで駆動対象に送りを掛けるようにした圧電アクチュエータの動作効率を向上させる。
【解決手段】第１，第２の圧電素子ＰＺＴ１，ＰＺＴ２の先端に固着された梁状本体部５の中央から左右に等しい間隔をおいて同一形状同一寸法の２つの柱状突起６，７を設けると共に、梁状本体部５の中央部には柱状突起６，７と逆方向に向けて突出する中央支持体８を設け、第１，第２の圧電素子ＰＺＴ１，ＰＺＴ２および中央支持体８の基部をベースプレート１１に固着し、何れかの圧電素子を正弦波または三角波からなる高速送り用駆動信号で駆動することにより、柱状突起６，７の先端に位相の異なる楕円運動を生起させ、圧電素子の１振動周期の内に柱状突起６，７を利用して２回の送り動作をかける。 （もっと読む）

【課題】目標駆動量に対するオーバーランを確実に許容範囲内に収めることができ、駆動制御の精度も向上できる圧電駆動装置の提供。
【解決手段】圧電駆動装置１０は、圧電素子を有しこの圧電素子への駆動信号の供給により振動する振動体を備えて前記振動体の振動を被駆動体に伝達する圧電アクチュエータ２０と、被駆動体の駆動量を検出する駆動量検出手段７０と、圧電アクチュエータ２０への駆動信号の供給を制御する駆動制御手段とを備える。駆動制御手段は、圧電アクチュエータ２０に予め設定された第１入力エネルギ分の駆動信号を入力した後に、前記駆動量検出手段７０によって前記被駆動体が所定の駆動量だけ駆動されたか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】駆動軸を繰り返し往復駆動させた場合において、駆動軸の潤滑性の劣化を抑制することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、圧電素子１２及び駆動軸１４を有し、圧電素子１２の伸縮に応じて駆動軸１４に摩擦係合された被駆動部材１６を移動させる。駆動装置１では、駆動軸１４と被駆動部材１６との間には、潤滑剤５１が塗布されており、この潤滑剤５１は、石けん、ＰＴＦＥ及び極圧剤を含んでいる。これにより、駆動軸１４を繰り返し往復駆動させた場合において、駆動軸１４と被駆動部材１６との間の摺動部分に潤滑膜や潤滑油を充分に留めることができる。 （もっと読む）

【課題】小型でありながらも単純な構成で容易に作製することができる振動アクチュエータを提供することを課題とする。
【解決手段】２つのローラ５の間が連結ピン６により連結されると共に、ステータ２、振動手段３及び基部支持部材１の内部にロッド１２が挿通され、ロッド１２の一端部の板状部１３が２つのローラ５の中央部で連結ピン６に連結されている。ロッド１２の他端部はバネ受け部材１８に固定され、バネ１９の付勢力によりバネ受け部材１８、ロッド１２及び連結ピン６を介してローラ５がステータ２に対し加圧接触されている。駆動回路８により振動手段３を駆動して複合振動を発生させると、各ローラ５とステータ２との接触部分に楕円運動が発生し、２つのローラ５がそれぞれ連結ピン６を中心にして互いに同一方向に回転駆動され、それに伴って先端部材７がステータ２に対して傾動される。 （もっと読む）

【課題】 減速時において被駆動体の移動方向の逆転が生じない超音波モータを提供する。
【解決手段】 超音波モータ１は、所定角度で交差するＡ１，Ａ２方向に配置された２つの超音波振動子３と、２つの超音波振動子３を連結する略Ｖ字型のヘッド部材４を有する。ヘッド部材４は、２つの超音波振動子３のそれぞれの出力を受ける２つの出力受け部４ｃと、２つの出力受け部４ｃからの出力を合成する１つの合成部４ａと、２つの出力受け部４ｃと合成部４ａとの間にそれぞれ設けられたネック部４ｂと、を有する。出力受け部４ｃの軸心横断面積Ｓ１とネック部４ｂの最小軸心横断面積Ｓ２との比Ｒ（＝Ｓ２／Ｓ１）の値を、０．３≦Ｒ≦０．７５とした。 （もっと読む）