【課題】振動子を可動子に押し付けるための構造がシンプルな摩擦駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】摩擦駆動アクチュエータは、超音波振動子１２００をロータ１２２に押し付けるように超音波振動子１２００を牽引するゴム１２９を有している。ゴム１２９は、巻取機構５００によって巻き取られる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図り、かつ、エンコーダの交換が容易になり、保守のし易い回転駆動装置を提供する。
【解決手段】回転駆動装置は、回転軸１０６と、回転軸１０６の回転を検出するための回転検出円板１０９と、回転検出円板１０９の移動角度を電気信号で検出するエンコーダ素子１１０とを備える。また、エンコーダ素子１１０を固定するためのエンコーダ固定具１１１と、回転軸１０６、回転検出円板１０９、及びエンコーダ素子１１を覆うケース１１２とを備える。そして、エンコーダ固定具１１１がケース１１２に着脱自在に設けられている。 （もっと読む）

【課題】接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる振動体の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造にＡＤ法を用いる。１００μｍ以下の大きさの粉体とした圧電材料を不活性ガス（Ｈｅガス）を充填した攪拌槽でエアロゾル化し、高速で金属弾性体の成膜したい個所に吹き付ける。このとき、圧電材料の粉体を吹き付けるノズルに対し、金属弾性体が搭載されたステージを移動させる。１０μｍ程度にまで粉砕されたナノ粒子の粉体１０４は、金属弾性体１０２の表面に堆積される。圧電材料の吹き付け温度を５００℃から圧電材料の焼成温度７００℃まで徐々に上げていき、１時間以上焼成を行う。金属弾性体１０２の表面には、圧電素子からなる薄膜圧電層１０１が直接形成される。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡単かつ位置検出精度が高い慣性駆動アクチエータを提供する。
【解決手段】慣性駆動アクチュエータは、固定部材１０と、固定部材１０上に配置された振動基板３０と、振動基板３０上に配置された移動体４０と、固定部材１０に対して振動基板３０を往復移動させる圧電素子２０とを有する。移動体４０は第一電極４１を、振動基板３０は第二電極３１を有し、第一電極４１と第二電極３１は絶縁膜３５を介して対向する。第二電極３１は駆動軸ｘに沿って配列された複数の電極要素３１ａからなり、第一電極４１との対向部分の面積は移動体４０の移動に伴って周期的に変化する。慣性駆動アクチュエータはさらに、第一電極４１・第二電極３１間に電圧を印加して振動基板３０・移動体４０間の摩擦力を制御する摩擦力制御手段７０と、第一電極４１と第二電極３１の対向部分の静電容量に基づいて移動体４０の位置を検出する位置検出手段８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】摺動損失を低減し高耐久化が図られ、さらに異音が発生しない安定した接触が得られる接触部材を有する振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】駆動のために変形する振動体１０２にばね性を有する接触部材９を取り付け、接触部材１０９が、被駆動体に接触する突起部１０３と、振動体１０２と固着される複数の固定部１０７からなる振動型アクチュエータにおいて、接触部材１０９は、突起部１０３と複数の固定部１０７の間に変換部１１１を備えている。変換部１１は、突起部１０３に設けられる被駆動体との接触面１０４に対して傾斜し、かつ接触面１０４の反対側に延伸された斜面を有している。そして、変換部１１１は振動体１０２の変形により生じる複数の固定部１０７間の相対的な距離の変化を、接触面１０４の異なる方向の変位に変換する。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度の向上を図り、機構が簡単かつ小型であるとともに、磁化を避ける環境下でも使用できるようにする。
【解決手段】 一の方向に移動自在な第１の移動体と、前記第１の移動体に伴って一の方向へ移動するとともに、前記一の方向と異なる他の方向へ移動自在な第２の移動体と、を備えたステージにおいて、
前記第１の移動体に当接させて、この移動体を前記一の方向へ移動させる第１の超音波モータと、前記第２の移動体に当接させて、この移動体を前記他の方向へ移動させる第２の超音波モータと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡単かつ位置検出精度が高い慣性駆動アクチエータを提供する。
【解決手段】慣性駆動アクチュエータは、固定部材１０と、固定部材１０上に配置された振動基板３０と、振動基板３０上に配置された移動体４０と、固定部材１０に対して振動基板３０を往復移動させる圧電素子２０とを備えている。移動体４０は第一駆動電極４１を有し、振動基板３０は第二駆動電極３１と検出電極３３を有し、それらは絶縁膜３５を介して互いに対向する。検出電極３３は、駆動軸ｘに沿って間隔を置いて配列された複数の検出電極要素３３ａからなる。慣性駆動アクチュエータはさらに、振動基板３０と移動体４０の間の摩擦力を制御する摩擦力制御手段７０と、移動体４０の移動に伴う第一駆動電極４１と検出電極３３の対向部分の面積の周期的な変化に伴う電位の変化を検出することにより移動体４０の位置を検出する位置検出回路８０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡単かつ駆動速度が高い慣性駆動アクチエータを提供する。
【解決手段】慣性駆動アクチュエータは、固定部材１０と、固定部材１０上に配置された振動基板３０と、振動基板３０上に配置された移動体４０と、固定部材１０上に対して振動基板３０を往復移動させる圧電素子２０とを備えている。移動体４０は第一電極４１を有し、振動基板３０は第二電極３１を有する。第一電極４１と第二電極３１は絶縁膜３５を介して部分的に対向する。第一電極４１と第二電極３１の対向部分の面積は移動体４０の移動に伴って連続的に変化する。慣性駆動アクチュエータはさらに、第一電極４１と第二電極３１との間に電圧を印加して振動基板３０と移動体４０との間の摩擦力を制御する摩擦力制御手段７０と、第一電極４１と第二電極３１の対向部分の静電容量を調べて移動体４０の位置を検出する位置検出手段８０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】振動波モータが長時間放置されても、短時間で速度プロファイルの追従性が良好となる駆動装置を提供する。
【解決手段】パンチルトカメラ１は、振動波モータ７、１６の停止時間を計測し、規定時間を経過した場合に、振動波モータ７、１６により駆動される回転板１２を端部に突当るまで振動波モータ７、１６を駆動する。更に、高速回転駆動時の駆動周波数信号を振動波モータ７、１６に与える。この制御はＣＰＵ６０によってなされる。 （もっと読む）

【課題】 人間の柔らかな筋肉と同様な性質を有し、しかも、特別な材料を使用する必要性がなく設計の自由度の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】 固定子と移動子とを有し、固定子は移動子を移動可能に支持する支持体と、移動子を移動させる力を移動子との間で作用させる固定子作用面を有し、移動子は自身を移動方向に移動する力を固定子との間で作用させる移動子作用面と、移動子作用面を移動方向の成分を含む方向に往復運動させる往復運動手段を有し、固定子作用面と移動子作用面の接触面は最大摩擦力が外力の方向によって相違する異方性摩擦対の接触面となっており、移動子作用面が往復運動することにより固定子に対して移動子を最大摩擦力の小さい方向に移動するようにした。 （もっと読む）

【課題】予圧機構部による大型化を抑え、回転子への予圧部の嵌り込みを生ずることなく、広い可動範囲を確保することができる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】基部ブロック１と固定子２との間に振動子３が挟持され、固定子２の凹部５内に略球体状の回転子６のほぼ下半部が収容されている。固定子２の上部に支持部材７が配置され、支持部材７のアングル部９の先端に予圧部１０が支持され、予圧部１０の多軸の回りに回転可能な球状部材１１が回転子６の頂点部分に当接して回転子６に予圧力を付与している。振動子３を駆動することにより、回転子６が回転し、これに伴って出力軸１２が予圧部１０と支持部材７の環状部８との間を可動範囲として移動する。 （もっと読む）

【課題】長さ方向と屈曲方向の振動の合成により楕円運動が発生する圧電モータに関する。
【解決手段】圧電モータは、印加される電源により第１の振動モードと第２の振動モードを同時に発生させる圧電体と、前記圧電体の一側に陥没し形成された凹部に湾入し固定され、前記圧電体において発生した振動により楕円運動をする摩擦部材とを含み、摩擦部材の付着が共振周波数に及ぼす影響を最少化することを特徴とする。これにより、圧電モータの駆動効率が増大し、摩擦部材の付着強度が改善される上、摩擦部材の固定位置が一定であるため、付着位置の変化による共振周波数の変化を防ぐことができるという効果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータに位相の異なる交流信号を与えて、長期間、連続駆動させたところ、１秒間に何十回もの振動の影響により、該超音波モータの構成部品の中でも特に強度が弱い部分である電極板および電極板に半田付けされた導線（リード線）が疲労破壊する問題が発生した。
【解決手段】 圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部で２個の超音波振動子と接続された接触部材を具備する超音波モータにて、圧電素子の電極板の電極板厚みを０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとし、首部から先端までの長さを１０ｍｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】超音波発生部が非作動状態にあるときに回転出力部が回転しないようにした超音波回転駆動装置を提供する。
【解決手段】超音波発生部５０及び該超音波発生部に相対回転可能に接触し、該超音波発生部で発生した超音波振動により回転する第１回転出力部５４を備える超音波モータＵＭと、第１回転出力部と一緒に回転する回転入力部２９及び回転入力部とは独立して回転可能な第２回転出力部２５を備え、回転入力部の回転力は第２回転出力部に伝達するが、第２回転出力部の回転力は回転入力部に伝達しない一方向入出力回転伝達機構ＤＭと、を備える超音波回転駆動装置ＭＵ。 （もっと読む）

【課題】回転子を安定して移動させることができる多自由度アクチュエータを提供する。
【解決手段】それぞれＹ軸の回りにのみ回転可能なローラ１３を有する第１の予圧部７および８と、それぞれＸ軸の回りにのみ回転可能なローラ１３を有する第２の予圧部９および１０とにより、回転子６に固定子２に対する予圧が付与されている。振動子３により固定子２に超音波振動を発生させて回転子６をＹ軸回りに回転させると、回転子６の表面に圧接されている第１の予圧部７および８のローラ１３が回転子６の回転運動に従動してそれぞれ軸部材１１の回りを回転する。このため、回転子６の予圧が不均一であっても、回転子６の回転方向にずれが生じにくく、回転子６は第１の予圧部７および８のローラ１３によりＹ軸回りに安定して回転する。 （もっと読む）

【課題】小型で且つ回転子の可動範囲を狭めることなく回転子の回転位置を得ることができる多自由度アクチュエータの位置検出装置を提供する。
【解決手段】第１〜第３のローラ７〜９が回転子６の表面に接触すると共に回転子６の回転に伴って回転可能に配置されている。振動子３を駆動することにより、回転子６が回転すると、そのＸ軸回りの回転成分に応じて第１のローラ７が、Ｙ軸回りの回転成分に応じて第２のローラ８が、Ｚ軸回りの回転成分に応じて第３のローラ９がそれぞれ回転子６の回転運動に従動して回転し、これら第１〜第３のローラ７〜９の回転方向と回転量がそれぞれ第１〜第３の回転検出センサ１０〜１２で検出されて検出信号が回転位置算出部１６に送出される。回転位置算出部１６は、第１〜第３の回転検出センサ１０〜１２からそれぞれ入力された検出信号に基づき回転子６の回転位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、デッドバンドをより少なくして、位相差に対する回転速度の特性をより線形にし得る超音波モータの制御装置、該方法、該プログラム及び記録媒体並びに超音波モータシステムを提供する。
【解決手段】本発明に係る、２相の駆動信号が供給されることによって生じた超音波振動で駆動する超音波モータ４を制御するための超音波モータ４の制御装置１は、超音波モータ４における位相差と駆動周波数との関係に基づいて、２相の駆動信号を生成するために、所定の位相差に応じた駆動周波数を演算する駆動周波数演算部１２を備える。 （もっと読む）

【課題】厚み方向または厚み方向に直交する方向の小型化を実現する駆動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】駆動装置５０は、第１枠体５１と、第２枠体５２と、第３枠体５３と、第１駆動機構５４と、第２駆動機構５５とを備えている。第２枠体５２は、第１枠体５１に対して第１方向Ａに移動可能に支持されている。第１枠体５１と第２枠体５２とを相対移動させる。第１駆動機構５４と第２駆動機構５５とのそれぞれは、圧電素子により駆動を発生させる駆動発生部２１と、駆動発生部に対して相対的に押圧され、駆動発生部により発生した駆動を受ける駆動受部２２とを有する。第１駆動機構５４において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向は、第２駆動機構５５において駆動発生部２１が駆動受部２２に作用する作用方向Ｃ２の平行かつ逆向きの方向である。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、大きなパワーを低電圧駆動により得ることができ、一側面に給電用端子電極を集約形成できる超音波モータ素子を提供する。
【解決手段】超音波モータ素子１０は、圧電板１２と内部電極とが交互に積層された積層体を備え、内部電極は駆動電極とグランド電極１８を有する。駆動電極は、２行２列の第１電極部１４ａ〜１４ｄおよび対角に位置する第１電極部１４ｂ・１４ｃを接続する第１電極連通部１４ｅからなる第１駆動電極１４と、２行２列の第２電極部１６ａ〜１６ｄおよび対角に位置する第２電極部１６ａ・１６ｄを接続する第２電極連通部１６ｅからなる第２駆動電極１６を有する。積層体の側面に、グランド電極１８どうしを接続する第１外部電極２４と、導通した第１電極部１４ｂ・１４ｃと孤立した第２電極部１６ｂ・１６ｃとを接続する第２外部電極２６ａ・２６ｂと、孤立した第１電極部１４ａ・１４ｃと導通した第２電極部１６ａ・１６ｄとを接続する第３外部電極２８ａ・２８ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】大きな振動変位を生じさせることができ、低電圧駆動が可能で一側面に給電用電極を集約して形成することができる超音波モータ素子を提供する。
【解決手段】超音波モータ素子１００はＬ１Ｂ２モード駆動部１０とＬ１モード駆動部２０Ａ・２０Ｂを有し、Ｌ１Ｂ２モード駆動部１０は圧電板１２と２行２列に配置された４つの第１電極部１４ａ〜１４ｄを有する第１駆動電極１４と第１グランド電極１６を備え、Ｌ１モード駆動部２０Ａ・２０Ｂは圧電板２２と第２駆動電極２４ａ・２４ｂと第２グランド電極２６ａ・２６ｂを備える。第１グランド電極１６と第２グランド電極２６ａ・２６ｂが第１外部電極３４により、対角に位置する第１電極部１４ｂ・１４ｃと第２駆動電極２４ａが第２外部電極３６ａ・３６ｂにより、対角に位置する第１電極部１４ａ・１４ｄと第２駆動電極２４ｂが第３外部電極３８ｂ・３８ａによりそれぞれ接続された構造とする。 （もっと読む）