【課題】 圧電アクチュエータの特性にバラツキがあっても、駆動対象を所定速度で駆動でき、制御が容易でコストも低減できる圧電アクチュエータの駆動装置の提供。
【課題手段】 圧電アクチュエータの駆動装置は、圧電素子に加える駆動信号の周波数を所定範囲でスイープさせる周波数制御手段５１を備える。周波数制御手段５１は、駆動信号の周波数のスイープ方向を制御するスイープ方向制御部６１、スイープ速度を制御するスイープ速度制御部６３、周波数分解能を制御する分解能制御部６２を備える。スイープ方向、スイープ速度、周波数分解能を適宜制御するだけで圧電アクチュエータの駆動速度を簡単に制御できる。 （もっと読む）

本発明は、受動素子（１）に対する能動素子（２）の動作のための駆動装置に関し、能動素子（２）は、共鳴装置（３）と、共鳴装置（３）の振動を励起させる少なくとも１つの励起手段（４）から構成され、共鳴装置（３）は、受動素子（１）に力をおよぼす接触領域（７）から構成され、能動素子（２）は受動素子（１）に対して、振動動作を手段として駆動されてよい。
共鳴装置（３）は、少なくとも２つのアーム、好ましくは一対（５）のアーム（６）から構成され、共鳴装置の接続領域から出ている、アーム対（５）の少なくとも２つのアーム（６）は、共鳴装置の同じ側に形成される。いずれの場合においても、接触領域（７）はアーム（６）の外端に形成され、接触領域（７）は、アーム対（５）の振動動作を手段として、相互に向かって、もしくは相互から離れて動いてよい。したがって、能動素子（２）に対する受動素子（１）の相対動作が生じる。
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【課題】磨耗や騒音を低減して製品の長寿命化を図れるとともに、駆動条件の変化にかかわらず安定した駆動性能を得ることができるリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】リニアアクチュエータ１０は、圧電素子１４と、圧電素子１４の振動を伝達するロッド１６と、ロッド１６と摩擦接合し、ロッド１６と相対移動するスライダ２４およびキャップ２６とを備え、スライダ２４およびキャップ２６において、最大高さＲｚ＞１μｍで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が３０％より大きい表面粗さであることを特徴とする。 （もっと読む）