【課題】安価なコストで、良好な駆動性能を達成可能な振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ（１０）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子により振動波を生じる振動体（１１）と、前記振動体（１１）と加圧接触する接触面（３２ａ）を有し、前記振動波によって前記接触面（３２ａ）が駆動されることにより前記振動体（１１）に対して相対移動する相対移動部材（１５）と、を備える振動アクチュエータ（１０）であって、前記相対移動部材（１５）は、樹脂で形成された第１の部材（３１）及び前記第１の部材（３１）より剛性の高い第２の部材（３０）を含み、前記接触面（３２ａ）と前記接触面（３２ａ）以外の少なくとも１面とを含む部分が、前記第１の部材（３１）で形成されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

リニアモータシステムが、螺刻された通路を有する要素と、螺刻されたシャフトと、駆動システムとを含む。螺刻されたシャフトは、螺刻された通路の少なくとも一部を通して延在しかつそれと少なくとも部分的に係合されている、回転軸を有する。駆動システムは、要素に動作可能に接続された少なくとも２つの部材を備える。２つの部材はそれぞれ、２つ以上の圧電層と、圧電層のそれぞれの対向する表面に連結されている電極とを備える。部材は、回転軸に沿った方向に拡張および収縮するように構成されている。駆動システムは、要素に振動を与え、螺刻されたシャフトを、要素を通して、同時に、回転、および回転軸に沿った方向に平行移動させ、かつ回転軸に沿った方向に軸方向力を印加するように構成されている。

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【課題】少数で構造が簡単なパーツにより、製造時に他の素子と容易に統合でき、加工コストを低減させられる超音波リニアモータを提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上に設けられ、両側に形成された斜面又は曲面と前記基板の表面とで凹状の収容部を形成してなる振動部材と、両側に前記収容部に対向して介在された挟持部が設けられたスライド部材と、を備え、前記振動部材は電源に接続され、駆動動力を前記スライド部材に生成することで、前記スライド部材の挟持部を前記収容部内にスライドさせ、リニア運動を生成する。 （もっと読む）

【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、第１の収容凹部が形成され、その内部に超音波振動子と押圧部材が収容された第１のケース部材と、被駆動部材を移動可能に支持する案内手段と、第２の収容凹部が形成され、その内部に転動部材が収容された第２のケース部材と、を少なくとも具備している。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、超音波振動子と押圧部材を収容するケース部材と、被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備し、押圧部材の中央部が超音波振動子と当接し、かつ、押圧部材の端部のうちの少なくとも中央部を挟む二つの端部がケース部材と当接した状態でケース部材がベース部材に組みつけられる。 （もっと読む）

【課題】好適な制御が可能な振動アクチュエータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】振動アクチュエータ３０を駆動させるための駆動信号を発生させる駆動回路４１と、前記駆動回路４１の近傍に備えられ温度を検出するセンサ４６と、前記センサ４６の出力に応じて前記駆動信号を補正する制御部４３とを含むことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。 （もっと読む）

【課題】温度変化及び負荷変化等が生じた場合であっても最適な駆動周波数で駆動可能であり、且つ単純な構造でコストダウン及び小型化可能な超音波モータを提供すること。
【解決手段】棒状弾性体11の側面において対向して配置された２個の積層型圧電素子13の伸縮振動を利用して棒状弾性体11に縦振動と捻じれ振動とを同時に励起して棒状弾性体11の端面に設けられた摩擦子15に楕円運動を励起させてロータを回転させる超音波モータ1における前記積層型圧電素子13を、第１圧電板31と第２圧電板32とを交互に積層して構成する。ここで、前記第１圧電板31は、複数個に分割され且つ各々の分割領域が当該圧電板31の周縁部へ露出している第１内部電極A+,B+を備え、前記第２圧電板32は、前記第１内部電極A+,B+とは逆の極性の内部電極であって複数個に分割され且つ各々の分割領域が当該圧電板の周縁部へ露出している内部電極A-,B-を備える。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性および耐摩耗性に優れ、かつ、高い効率で駆動することが可能な超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータは、被駆動体と、被駆動体を駆動させるための圧電素子５０と、中心角が１８０度より大きな円弧形状の内周面を有する切取部６１を含み、圧電素子５０によって振動させられる振動板２１と、振動板２１とは異なる材料からなり、平面視において圧電素子５０と重なる部分の厚さが振動板２１の厚さ以下であり、振動板２１の切取部６１に圧入または嵌め合いによって取り付けられ、被駆動体に接触する接触部６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】筒状の振れ回り部材と、振れ回り部材に対して挿抜不能なロータとを組み付けできる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、回転軸周りに回転するロータ１４０と、ロータ１４０と同軸に配され、ロータ１４０が挿通された筒型の振れ回り部材１２０と、振れ回り部材１２０を振れ回り運動させる駆動部１３０と、を備え、振れ回り部材１２０は、ロータ１４０の周方向に分割された複数の分割片１２５が結合されることにより形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磨耗した摩擦部材だけを容易に交換することを可能とした振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】振動波モータは、弾性体１、圧電素子２、摩擦部材３を備える。弾性体１及び圧電素子２からなる振動体は、圧電素子２により振動が励起される。移動体は、弾性体１に対して接触加圧力で押圧され弾性体１に励起された振動により弾性体１に対して相対的に移動される。摩擦部材３は、弾性体１と移動体との間に設けられ弾性体１の面と移動体の面に当接する接触面を有する。摩擦部材３は、その接触面が弾性体１と移動体の何れの接触面とも固着されていないと共に、弾性体１の接触面と一体的な挙動を示す。 （もっと読む）

【課題】ベース及び移動体間の予圧力付与機構と、移動体のガイド機構との各々について小型化及び薄型化を実現し、ガイド性能の更なる高精度化を行える微小移動装置及び位置決め装置を提供する。
【解決手段】微小移動装置２ａが、一部に磁性体を含むベース３と、ベース３上面に形成されたほぼ直線状の溝からなる溝ガイド部１２と、溝ガイド部１２に平行に形成されたベース３上面よりも低い底面を有する平面ガイド部１１と、溝ガイド部１２内を摺動可能に設けられた第１のスペーサ８、９と、平面ガイド部１１内を摺動可能に設けられた第２のスペーサ１０と、第１のスペーサ８、９及び第２のスペーサ１０と固定されベース上面に設けられ、一部に磁性体を含む移動体５と、移動体５に衝撃力を付与することで移動体５をベース３面上で移動させる衝撃力発生手段と、移動体５とベース３とを相互に吸引させる磁力を発生する磁力発生手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成により、移動子の固定子表面との接触面における滑りを低減して寿命の延長を実現する。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータは、弾性表面波を励振するための交差指電極を表面に有する圧電基板からなる固定子と、弾性表面波励振用の電力を交差指電極に供給するための高周波電源と、交差指電極と高周波電源とによって圧電基板の表面に励振される弾性表面波による駆動力を、当該表面に押し付けられることによって発生する摩擦力を介して加えられて移動する移動子と、を備えている。高周波電源は、移動子の移動速度Ｖの加減速に際し、交差指電極に印加する電圧振幅Ａを徐々に増加または減少させる。これにより、印加電圧Ｅを急激にオンオフする場合に比べて、固定子と移動子との間の滑りを低減して移動子の接触面の磨耗を低減でき、寿命の延長を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で振動体の振動を抑制することなく安定した支持ができる支持構造を得る事で、位置決め精度及び位置決め制御性の向上、位置決め安定性を図り、モータの性能バラツキを小さくする圧電モ−タの提供。
【解決手段】 圧電素子を有する振動体１の振動により、振動体１もしくは振動体１に設けられた摩擦部材３と接する接触部材５もしくは振動体１自体を稼動する圧電モータにおいて、振動体１に設けられた複数の凹部１ａと、凹部１ａと係合する複数の凸部を有する支持部材２を有する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で振動体の振動を抑制することなく安定した支持ができる支持構造を得る事で、位置決め精度及び位置決め制御性の向上、位置決め安定性を図り、モータの性能バラツキを小さくする圧電モ−タの提供。
【解決手段】 圧電素子を有する振動体１の振動により、振動体１もしくは振動体１に設けられた摩擦部材３と接する接触部材５もしくは振動体１自体を稼動する圧電モータにおいて、振動体１に設けられた複数の凹部１ａと、凹部１ａと係合する複数の凸部を有する支持部材２を有する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成により、移動子の固定子との接触部の磨耗を低減すると共に剥離による破損の回避を実現して長寿命化を図る。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータは、弾性表面波を励振する交差指電極を表面に有する圧電基板からなる固定子２と、交差指電極への電力供給により固定子２の表面に励振された弾性表面波による駆動力を当該表面との接触面に生じる摩擦力を介して加えられて移動する移動子３と、を備えている。移動子３の固定子２との接触面Ａは、移動子３の下地材６に形成した複数の突起３０の表面からなる。突起３０は、移動子３の下地材６に形成した柱状突起６１の表面に、その下地材６よりも高硬度の材料から成る被膜７を形成して構成され、柱状突起６１の先端部は、固定子２との接触面Ａの外縁近傍において、固定子２の表面Ｓに対して鋭角θとなる表面１０を備え、被膜７の密着力の向上が図られている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で振動体の振動を抑制することなく安定した支持ができる支持構造を得る事で、位置決め精度及び位置決め制御性の向上、位置決め安定性を図り、モータの性能バラツキを小さくする圧電モ−タの提供。
【解決手段】 圧電素子を有する振動体１の振動により、振動体１もしくは振動体１に設けられた摩擦部材３と接する接触部材５もしくは振動体１自体を稼動する圧電モータにおいて、振動体１に設けられた複数の凹部１ａと、凹部１ａと係合する複数の凸部を有する支持部材２を有する。 （もっと読む）

【課題】ステータを出力軸から離間させた状態でのステータと出力軸との同軸度の高精度化を低コストで実現することができる超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータ１は、電気−機械エネルギ変換素子を支持する支持部材１３を有するステータ１０と、支持部材１３が固定された状態でステータ１０を覆う外筒３０と、ステータ１０の振動体に励起した振動により駆動されるロータ２０と、ロータ２０の駆動力により回転駆動される出力軸２４と、を備える。支持部材１３は、出力軸２４に対して係合する係合部１３ａを有し、該係合部１３ａは、出力軸２４の軸方向に変形可能とされて、該変形後に出力軸２４に対する係合が解除される。 （もっと読む）

【課題】 支持体に設けられた駆動素子で駆動体を共振させ、駆動体とねじ嵌合している移動体を進行させる振動型アクチュエータを提供することを目的としている。
【解決手段】 振動軸２の下端部を支持している支持体５に複数の圧電素子６，７，８，９が設けられている。これらの圧電素子の電歪効果により支持体５に与えられる振動が支持体５を介して駆動軸２に与えられる。圧電素子に与える駆動信号の位相を変えることにより、振動軸２に固定されている駆動子３を円運動させることができる。駆動子３には雄ねじ部１３が形成されており、移動体４の中心穴４ａの内周面には、雄ねじ部１３と螺合する雌ねじ部１４が形成されている。駆動子３の円運動によって移動体４が回転させられ、ねじの軌跡に応じて移動体４が軸方向へ移動させられる。 （もっと読む）

【課題】ＨＤＤの磁気記録ヘッドの駆動などのために用いられる超音波モータにおいて、応答性を向上する。
【解決手段】正三角形の頂点を削り落とした形状の圧電素子３ａと、前記削り落とした頂点部分に固着されるチップ部材３ｂとを有し、前記頂点部分が楕円振動する振動体３に、円筒状のロータ２を嵌め込んで超音波モータ１を構成する。そして、前記ロータ２には、内周側から見てＶ形状の溝９を設ける。したがって、軸受けを用いることなく、ロータ２を半径方向および軸線方向にガタなく保持することができ、応答性を向上することができる。また、ロータ２の全周が保持されていないことで、加圧力の寸法に対する誤差感度を低減でき、駆動性能を安定させることができる。 （もっと読む）