【課題】発振器及び該発振器の動作方法を提供する。
【解決手段】印加電流、印加電圧及び印加磁場のうち少なくとも一つによって可変的な磁化方向を有する少なくとも１層の磁性層を含み、所定の周波数を有した発振信号を生成する発振部、及び発振部と同じ基板上に集積され、発振信号を差動増幅し、出力信号を提供する出力端子を含む発振器である。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子の圧電振動部が素子搭載部材の凹部空間内底面に接触することを防ぎ、安定した発振周波数を出力することができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】圧電デバイス１００は、凹部空間を有する素子搭載部材１１０と、凹部空間内に搭載される圧電振動素子１２０と、凹部空間を気密封止する蓋部材１３０と、を備える圧電デバイス１００であって、圧電振動素子１２０は、励振用電極が設けられている圧電振動部１２１と、圧電振動部を囲い、圧電振動部よりも薄くなるように設けられている圧電振動枠部１２２と、圧電振動枠部の一部に素子搭載部材の凹部空間内底面に向かって設けられている突起部１２３と、圧電振動枠部に形成される素子搭載部材接続電極１２５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】共振周波数の補償の精度をより向上させることができる静電振動子を提供する。
【解決手段】振動体１０と、前記振動体１０に対し間隙ｄを隔て配置された電極２と、前記振動体１０とは熱膨張係数の異なる異種材料によって形成された変形制御体９と、を含み、前記電極２と前記変形制御体９とが基板に固定された静電振動子であって、前記振動体１０の形状が少なくとも一部で屈曲し、前記振動体１０が前記変形制御体９に少なくとも一点で連接され、前記振動体１０が温度変化に起因して前記連接点に生じる応力１４，１５により変形する静電振動子の構成。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を可変としつつも所望の特性を得ることができる。
【解決手段】本発明の一態様としての共振回路は、基板と、帯状電極と、前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させる移動機構と、第１の一端から受ける入力信号を第１の他端に伝送する、前記第１の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、第２の一端から受ける出力信号を第２の他端に伝送する、前記第２の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カプセル封止の電気機械素子の高信頼性化を図る。
【解決手段】下部電極６２、６３と可動子３５を有する電気機械素子本体６４と、電気機械素子本体６４を空間３７を保持して封止したオーバーコート膜３８とを備え、オーバーコート膜３８と可動子３５との間に支柱５２が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】静電駆動型の振動子における実効バイアス電圧の変化に伴う素子特性の変動を抑制する。
【解決手段】静電駆動型の振動子素子２２を有し、振動子素子２２の直流電圧給電線路２６と接地２５との間に抵抗素子２７が接続されて成る。 （もっと読む）

【課題】振動漏れがなく、エネルギー損失を低減することにより、Ｑ値が高く、高効率に駆動できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１０は、基板２０上に形成される４個の両端自由梁３１〜３４と、両端自由梁３１〜３４それぞれが、振動の節となる位置の連結部４１〜４４において交差連結され連環状に構成されるＭＥＭＳ構造体４０と、前記連結部に、放射状に延在されるＭＥＭＳ構造体４０を支持する支持梁５１〜５４と、が備えられ、複数の両端自由梁のうち隣り合う両端自由梁に同一周波数、逆位相の交流電圧を印加して、基板２０に対して垂直に駆動する。 （もっと読む）

【課題】同一基板上に異なる固有振動数のＭＥＭＳ構造体を備えながら小型化、エネルギー損失、Ｑ値が高いＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１０は、両端自由梁３１〜３４が、振動の節となる位置を連結部３５〜３８において連環状に交差連結されるＭＥＭＳ構造体３０と、両端自由梁４１〜４４が振動の節となる位置を連結部４５〜４８において連環状に交差連結されるＭＥＭＳ構造体４０と、が基板２０の同一平面上に多重環状に形成され、ＭＥＭＳ構造体３０とＭＥＭＳ構造体４０とを、連結部３５〜３８と連結部４５〜４８において支持梁５５〜５８で連結し、連結部３５〜３８と基板２０の基部３０ａとを支持梁５１〜５４で連結して構成され、ＭＥＭＳ構造体３０とＭＥＭＳ構造体４０とが、それぞれ異なる固有振動数（共振周波数）を有し、ＭＥＭＳ構造体３０とＭＥＭＳ構造体４０とを選択的に駆動する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ振動子の抵抗成分を最小にすることで挿入損失の小さいＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子は、第１の電極板としての下部電極１０と、下部電極１０に対して空隙ｇを有して対向配置される第２の電極板としての振動体１２と、振動体１２の側面から延在される支持梁１４と、下部電極１０と振動体１２とに同相の交流電力を印加するための給電手段としての給電回路１６と、下部電極１０と振動体１２との間の静電容量に対応した出力を得る検出手段としての出力回路１８と、を含み、振動体１２の寸法を調整することによって抵抗成分を最も低くする。 （もっと読む）

【課題】静電駆動素子（静電駆動型の微小電気機械素子を有する素子））の高信頼性化を図る。
【解決手段】電気的に駆動される梁１７を有した静電駆動型の微小電気機械素子１２と、電荷、有極性分子を蓄積する機能を有するコンデンサ１３が同一筐体１０内に封止されて成る。 （もっと読む）

【課題】本来振動を望まない電極構造体（固定電極）の固有周波数が、所望の振動特性を備えた振動子構造体（可動電極）の周波数特性に悪影響を及ぼさないように調整され、振動特性に優れたＭＥＭＳ振動子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ディスク型ＭＥＭＳ振動子１０は、半導体基板１上に、窒化膜１１、第一の犠牲層１２、第二の犠牲層１３、第三の犠牲層１４、及び配線層１５が積層され、略中央に、円筒形状の凹部である開口部Ｃ１が形成されている。開口部Ｃ１の凹底部の略中央には、振動部２１ａとアンカー部２２ａ〜２２ｄとで構成される振動子構造体２１が、窒化膜１１と隙間を設けて平行に備えている。また、振動部２１ａの周辺の第一及び第二の犠牲層１２，１３に一端が挟まれ、幅方向断面が階段形状を有した駆動用途もしくは検出用途の電極構造体３１ａ，３１ｂが、それぞれの先端部を振動部２１ａに隣接させるように備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な素子構造で高周波領域の電気信号の加工を行うことができる、微小電気機械デバイスを提供するものである。
【解決手段】基板１１上に複数の電極１２、１３と、この電極１２、１３に対面して静電駆動で振動する梁１５とを有する振動子素子であって、複数の電極１２、１３と梁１５のうちの、何れかの組み合わせに高周波信号の入出力が加えられて成る。 （もっと読む）

【課題】振動子と各電極との間隔を独立に設定することで、振動子の駆動電圧を上げることなく透過容量を低減することを可能とする。
【解決手段】基板１０上に空間３１を介して両端が前記基板１０上に支持された振動子２１と、前記振動子２１下に前記空間３１の一部を介して前記基板１０上に形成された第１電極４１と、前記振動子２１下に前記空間３１の一部を介して前記基板１０上に前記第１電極４１と並設された第２電極５１とを備えた静電容量型共振素子１であって、信号線となる電極とＤＣ線となる電極とが分離されていて、前記第１電極４１と前記振動子２１との間隔ｄ１と前記第２電極５１と前記振動子２１との間隔ｄ２が異なるものである。 （もっと読む）

【課題】スティクションの発生しやすい位置から電極の配置位置を外すことで、スティクションの発生を防止することを可能とする。
【解決手段】基板１０上に空間３１を介して両端が基板１０上に支持された振動子２１と、振動子２１下に空間３１の一部を介して基板１０上に形成された第１電極４１と、振動子２１下に空間３１の一部を介して基板１０上に第１電極４１と並設された第２電極５１とを備えた静電容量型共振素子１であって、振動子２１は２次モードの振動を有し、第１電極４１および第２電極５１は、振動子２１の支持端間の中心を挟んで一方側に第１電極４１が配置され、他方側に第２電極５１が配置されるとともに、第１電極４１および第２電極５１が対向する各電極側面には振動子の支持端間の中心よりも各電極側に突起部４２、４３、５２が形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】十分な発振出力を得ることができ、かつ発振周波数を容易に変えることができる高周波発振素子を提供する。
【解決手段】磁化方向が実質的に一方向に固着された磁化固着層と、電流を流すことにより磁化の発振現象を起こす磁性発振層と、前記磁化固着層と前記磁性発振層との間に設けられた、絶縁層と前記絶縁層を膜厚方向に貫通する電流パスとを有する中間層と、前記磁化固着層、中間層および磁性発振層を含む積層膜の膜面に垂直に電流を流す１対の電極とを有することを特徴とする高周波発振素子。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧を抑えつつ、所望の特性を有する振動子、および、かかる振動子を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子は、基体２と、基体２に固定された固定電極３と、板状をなし、固定電極３に間隙を隔てて対向し、板厚方向に変位可能に設けられた可動電極４とを有する。そして、固定電極３と可動電極４との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動電極を振動させる。本発明では、固定電極３と可動電極４との対向面に、複数の微小な凹部３１１および凸部４１１が形成され、固定電極３と可動電極４との間の静電容量を増大させていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの損失を低減しつつ、優れた振動特性を有する振動子、振動子の製造方法、および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子（マイクロレゾネータ１）は、基部２と、基部２に対し変位可能に支持された可動部４とを有し、可動部４に通電することにより、可動部４を振動させ、および／または、可動部４の振動状態を検出する振動子であって、可動部４は、その一部に、可動部４の電気抵抗を低下させる処理を施した低抵抗部４８を有する。 （もっと読む）