【課題】 従来の圧電素板の製造方法では、圧電素板表面を鏡面加工後に再度比較的研磨粒子が粗いベベリング研磨加工をして圧電素板の主面形状をコンベックス形状に徐々に近づけていくような工程を備えていたため、鏡面加工を行った圧電素板表面を目の粗い研磨材で研磨することにより、圧電素板表面に不要なキズが生じてしまう課題がある。
【解決方法】圧電素板の製造方法において、圧電素板の表裏主面をラッピング研磨法により所定の厚みまで研磨加工する工程と、この圧電素板の主面辺縁部をベベリング加工する工程と、この圧電素板をポリッシング加工により主面を鏡面仕上げする工程と、この圧電素板の少なくとも一方の主面を概略コンベックス形状になるように粗研磨加工する工程と、この圧電素板の概略コンベックス形状に加工された主面を所望のコンベックス形状になるように鏡面加工を施す工程を具備する圧電素板の製造方法。 （もっと読む）

圧電素板は上面視長方形であって、その上面は平坦に形成されるが、下面はベベリング円弧の加工が施される。この圧電素板の上面（平坦面）の長手方向一端部を吸着ノズルでもって吸着してパッケージ上に載置する。それからこの吸着ノズルでもって圧電素板をパッケージに対して加圧しながら、前記パッケージと前記圧電素板下面の長手方向一端部との間に位置する前記バンプに対して、吸着ノズルを介して超音波を印加することで、圧電素板をパッケージに接合する。
（もっと読む）

【課題】
本発明は、容易に製造可能な水晶振動子の製造方法の提供。
【解決手段】
水晶板に吸収され、かつ、前記水晶板を構成する物質のエネルギー準位を基底状態から第１の励起状態に励起させる第１の光と、前記水晶板を構成する物質のエネルギー準位を前記第１の励起状態から第２の励起状態に励起させる第２の光とを前記水晶板に略同時に照射することによりアブレーションを生じさせ、前記水晶板に所定パターンの溝を形成する工程を含む水晶振動子の製造方法により、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子のパッケージに大きな静的外力が作用しても発振周波数あるいは共振抵抗値の変動が十分小さい圧電振動子とその製造方法、この圧電振動子を備えた発振器及び電子機器を提供する。
【解決手段】 第１のウエハを中央にして第２のウエハ、第３のウエハの３枚のウエハを重ね合わせて陽極接合し、所定の位置で切断して複数の圧電振動子を製造する圧電振動子の製造方法であって、前記陽極接合する接合工程前に、前記第１のウエハに振動子片と、該振動子片の一端に接続され該振動子片を囲む枠体とを一体に形成する振動子片枠体形成工程と、前記第２のウエハの接合面側に第１の凹部を形成する第１凹部形成工程と、前記第３のウエハの接合面側に第２の凹部を形成する第２凹部形成工程と、前記第２のウエハまたは前記第３のウエハの少なくとも一方のウエハの非接合面側の所定の位置に複数の溝を形成する溝形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 自由落下耐性の優れた圧電セラミックス共振子を備えたレゾネータを提供する。
【解決手段】 振動電極が形成された圧電セラミックス共振子２と、圧電セラミックス共振子２を支持する基板３と、を備え、圧電セラミックス共振子２が、σ_b≧１１．６×Ｈ＋１７１．５（ただし、Ｈ：落下高さ（ｍ）、σ_b：３点曲げ強さ（ＭＰａ）、Ｈ＞１）の条件を具備する。基板３は端子電極３１、３２を備え、圧電セラミックス共振子２は、導電固定子４を介して、振動電極と導通するとともに、基板３に両端支持される構造のレゾネータ１に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 血液中に溶解した肝臓癌特有の蛋白質を、抗原抗体反応を使用して検出するのには、１０^−１８以上の、超高精度の水晶振動子が必要である。この肝臓癌特有の蛋白質を血液中、又は血漿中から検出することが出来る、バイオセンサとして使用できる水晶振動子を開発する。
【解決手段】 溝型凹−凸（ｃｏｎｃａｃｏ−ｃｏｎｖｅｘ）レンズ形状の水晶物体を、撓みの現象と動圧の現象を同時に使用して、表面に凸レンズ形状を、裏面に凹レンズ形状を同時に形成できる。この方法を用い、１枚の水晶基板上に、１段階形状、又は２段階形状をした、２個以上の凹形状を、並列、又は直列に形成する。こうする事により、コントロールと、測定を対象の検体であるサンプルとの測定誤差をなくす事が出来、超高精度にて、コントロールと検体とを、比較して測定をすることが出来るようになった。 （もっと読む）

【課題】 小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができることができる水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子を得る。
【解決手段】 水晶チップ５の右上端部５ａに水晶に吸収されるレーザビーム４を照射して段階的に水晶チップ５の高さを変化させ、第１段部６₁、第２段部６₂、第３段部６₃、第４段部６₄をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】水晶振動片の複数の副振動モードを区別するための副振動測定方法と測定装置及び、この測定結果に基づいて、バレル加工により水晶振動片を加工する場合の加工管理方法を提供すること。
【解決手段】水晶振動片１０の特定の振動領域に対応して配置される複数の電極４１，４２と、これら各測定電極を介して、前記水晶振動片１０の複数の副振動モードに対応した周波数を測定する手段とを備えることにより、前記水晶振動片の主振動と所定の周波数差で観測される副振動モードの種類を特定する構成。 （もっと読む）