【課題】本発明は、主面の外周に階段領域を設けた圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 メサ型の圧電振動片の製造方法は、圧電基板に金属膜を形成する工程（Ｓ１０１）と、圧電材ウエハに貫通溝を形成して圧電基板の外形を形成する貫通溝形成工程（Ｓ１０６）と、金属膜の表面にフォトレジスト膜を形成する工程（Ｓ２０２）と、第１メサ段部の平面形状にレジストパターンを形成する工程（Ｓ２０３）と、レジストパターンに被覆されていない金属膜をエッチングして金属膜パターンを形成する工程（Ｓ２０４）と、金属膜パターンを保護膜として圧電基板をエッチングして第１メサ段部を形成する工程（Ｓ３０１）と、金属膜パターンを金属膜パターンの側面よりエッチングする工程（Ｓ３０２）と、側面がエッチングされた金属膜パターンを保護膜として圧電基板をエッチングして第２メサ段部を形成する工程（Ｓ３０４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】エッチング加工を利用して外形形成した場合であっても、振動特性の低下を抑制しながら高い実装強度で実装を行えること。
【解決手段】ＡＴカットされた水晶板がウェットエッチング加工により平面視矩形状に形成された水晶振動板１０と、この水晶振動板の表裏主面１０ａ、１０ｂ上に形成された一対の電極膜２０と、一方の主面１０ｂ上における電極膜上にそれぞれ形成され、外部電極と電極膜とを導通させると共に水晶振動板を保持する一対の実装部材２５と、を備え、水晶振動板が、一方の主面に対して鈍角となる角度で傾斜した傾斜面１１を少なくとも側面の一部に有し、一対の実装部材のうち少なくとも一方が、傾斜面と一方の主面との間に形成される稜線Ｅ上、又は、該稜線の延長線上に形成されている水晶振動片４を提供する。 （もっと読む）

【課題】硬質の導電性接着剤により圧電振動素子をセラミックパッケージ内底面に接続しても、熱応力の発生に起因する諸特性の劣化を解決する表面実装型圧電デバイス（振動子、フィルタ）を提供する。
【解決手段】圧電振動素子を表面実装型パッケージ内に片持ち保持で電気的機械的に接続する圧電デバイスであって、圧電振動素子の片面上のパッド電極と表面実装型パッケージ内底面上の導通パッドとの接続を硬質の導電性接着剤にて行ったものにおいて、パッド電極上の各導電性接着剤を結ぶ直線の延長上に圧電振動素子の主振動部が位置するように構成した。これにより導電性接着剤固着部の支持拘束力が圧電振動素子の温度変化に付随した膨張、収縮を妨げることを防止し、熱応力の発生を抑制し、諸特性の劣化を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 不要振動の発生を軽減させ、ＣＩ値を向上させる。
【解決手段】 板状の水晶片の両主面に凸部を有し、一方の凸部を第一の凸部、他方の凸部を第二の凸部とし、前記第一の凸部に設けられた第一の電極と、前記第二の凸部に設けられた第二の電極とを備えた水晶振動素子であって、前記第一の凸部の表面積が前記第二の凸部の表面積よりも小さく、前記第一の電極の表面積と前記第二の電極の表面積とが異なる大きさであり、前記第一の電極の表面積と前記第二の電極の表面積とが前記第一の凸部の表面積よりも小さく形成されて構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短冊状振動子において厚み滑り振動と結合する厚み屈曲振動モードを抑圧する圧電振動子を提供する。
【解決手段】長さＬ１の長手方向をＸ軸、長さＷの幅方向をＺ’軸、厚みＨの厚さ方向をＹ’軸とした圧電基板１のほぼ中央部にＸ軸方向の頂辺の長さをＬ２、該頂辺Ｌ２を望む仰角をそれぞれθ１゜、θ２゜、Ｚ’軸方向の頂辺の長さをＷ、厚さをｔとしたＸＹ’断面が台形状の凸部を形成すると共に、該台形状の凸部上面と、該凸部と対向する圧電基板１の裏面に対向する電極２ａ、２ｂを付着し、電極２ａ、２ｂからそれぞれ圧電基板１の端部に向けてリード電極３ａ、３ｂを延在して圧電振動素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】水晶片に均一なベベル加工をする。
【解決手段】水晶片にベベル加工をするベベル加工方法であって、内面にダイヤモンド砥粒が設けられつつ有底で一方が開口する円筒体１１とこの円筒体１１の開口端部と密着固定される蓋体１２とからなるベベリング用筒体１０Ａに複数の水晶片Ｂと液状物とを入れて、前記円筒体１１の円の中心を通る中心軸線を回転軸に前記円筒体１１を回転させて前記水晶片Ｂにベベル加工し、前記液状物が水である構成。 （もっと読む）

【課題】錆びることがなく、また、ベベル加工を行っても水晶片の汚れが軽減する。
【解決手段】水晶片にベベル加工を施すベベリング用筒体１０であって、セラミックからなり有底で一方が開口する円筒体１１と、セラミックからなり前記円筒体の開口端部と密着固定される蓋体１２とを備え、前記セラミックから構成されることを特徴とし、円筒体１１と蓋体１２とが共にセラミックであることにより、研磨材が円筒体１１と蓋体１２とに付着して塊となるのを防ぐことができ、また、円筒体１１と蓋体１２とが共にセラミックであることにより、錆が発生することがなくなった。 （もっと読む）

【課題】不要な振動モードの励起を防ぐ水晶振動子を提供することを課題とする。
【解決手段】平板状に形成された平面視略長方形の水晶片と、前記水晶片の上面および下面の中央部に配置された導電性材料からなる駆動電極と、前記水晶片の上面および下面に設けられ、前期駆動電極に電気的に接続された実装電極と、前記駆動電極と前記水晶片の長手方向外周部との間に対向配置されるとともに、エッチングに対して安定な面で形成された断面略Ｖ字状の凹部と、を備えたことを特徴とする水晶振動子とする。 （もっと読む）

【課題】振動部の一方の主面が曲面形状の凸部を有している水晶振動子を容易に製造しその水晶振動子の製造コストを軽減することを課題としている。
【解決手段】水晶ウエハに複数の水晶基板凹部と基板内部配線を設ける水晶基板凹部形成工程と、水晶ウエハの他方の主面であって水晶基板となる部分に、インクジェット法を用いて複数のカバーを設けるカバー形成工程と、カバーの設けられた水晶ウエハの他方の主面を加工するコンベックス加工工程と、水晶基板となる部分に電極を設ける電極形成工程と、複数の第一の容器体となる部分が設けられている第一のウエハと水晶ウエハとを水晶基板凹部を第一のウエハ側に向けて接合する第一の接合工程と、複数の容器体凹部が一方の主面に設けられている第二のウエハと水晶ウエハとを容器体凹部を水晶ウエハ側に向けて接合する第二の接合工程と、水晶振動子ごとに個片化する個片化工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動部の一方の主面が曲面形状の凸部を有している水晶振動子を容易に製造しその水晶振動子の製造コストを軽減することを課題としている。
【解決手段】水晶ウエハに複数の水晶基板凹部と基板内部配線を設ける水晶基板凹部形成工程と、水晶ウエハの他方の主面であって水晶基板となる部分に、インクジェット法を用いてカバーを設けるカバー形成工程と、カバーの設けられた水晶ウエハの他方の主面を加工するコンベックス加工工程と、水晶基板となる部分に電極を設ける電極形成工程と、複数の第一の容器体となる部分が設けられている第一のウエハと水晶ウエハとを水晶基板凹部を第一のウエハ側に向けて接合する第一の接合工程と、複数の容器体凹部が一方の主面に設けられている第二のウエハと水晶ウエハとを容器体凹部を水晶ウエハ側に向けて接合する第二の接合工程と、水晶振動子ごとに個片化する個片化工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子を提供する。
【解決手段】ベース基板１４と、前記ベース基板１４上に設けられた固定部３４に長手方
向の一端が片持ち支持状態で保持される圧電振動片２０と、を有する圧電振動子１０であ
って、前記圧電振動片２０は、前記圧電振動片２０のベース基板１４側の第１面３８に形
成され平面視して前記固定部３４と接続する位置に第１接続部４６を有する第１引き出し
電極４２と、前記ベース基板１４側の反対側の第２面４６に形成され、平面視して前記固
定部３４及び前記第１接続部４６と重なる位置に第２接続部５６を有する第２引き出し電
極５２と、を有し、前記第２引き出し電極５２は、前記第１引き出し電極４２より細く形
成されるとともに、前記第２接続部５６はワイヤー線３６に接続される。 （もっと読む）

【課題】小型で経年変化による周波数変動の少ない弾性波デバイス及びこの弾性波デバイスを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】弾性体材料からなる弾性波導波路１０に設けられたエネルギー閉じ込めモード部２は、第１の伝播モード部４から伝播してきた１次または高次の伝播モードの弾性波である第１の弾性波に含まれる特定の周波数成分によってエネルギー閉じ込めモードの弾性波である第２の弾性波を励振し、このエネルギー閉じ込めモード部２の周囲の領域に設けられた遮断部３は、第２の弾性波の周波数よりも高い周波数の遮断周波数を持つ。第２の伝播モード部は当該遮断部を介してリークした前記第２の弾性波を伝播モードの弾性波である第３の弾性波にモード変換して伝播させる。 （もっと読む）

【課題】 等価直列容量値のバラツキを低減し、良好な周波数可変量を有する圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の水晶振動子は、ＡＴカット水晶振動板２が、長辺方向をＸ軸に、短辺方向をＺ’軸に、厚み方向をＹ軸に設定され、一方の短辺の両端が接着材３によってベース１の内部に片持ち接合されている。一方の短辺の側面２００は、他方の短辺の側面２０１よりも粗面となっており、前記一方の短辺の側面２００で水晶振動板２を接着材を介して片持ち保持することによって、等価直列容量値（Ｃ１）のバラツキを低減することができるとともに、良好な等価直列容量値を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハレベルで圧電振動片の外周端（ベベル部）を中央部側よりも容易に且つ安価に加工すること。
【解決手段】圧電基板のマスクである金属膜と、この金属膜のマスクであり且つ圧電振動片を圧電基板に保持する接続支持部が形成されるようにパターニングされたフォトレジスト膜と、を基板側からこの順番で当該圧電基板上に積層し、フォトレジスト膜及び金属膜をマスクとしてエッチング処理を行って圧電基板に複数の圧電振動片の外形を形成する。そして、このエッチング処理により形成された貫通空間（側面）側から、フォトレジスト膜を剥離せずに金属膜に対してエッチング液によりエッチング処理を行ってこの金属膜の外周側を除去して圧電振動片の外周端の表面を露出させ、この露出面に対してエッチング液によりエッチング処理を行って圧電振動片の外周端が内周側よりも薄くなるように加工する。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子のクリスタルインピーダンスやＱ値の悪化を防ぎ、周波数安定度の高い、水晶振動子を提供する。
【解決手段】一方の主面に凹部１１ａが形成され、他方の主面に曲面形状となる凸部１１ｂが形成された水晶基板１０と、水晶基板１０の一方の主面に形成された第一の電極１２ａと、水晶基板１０の他方の主面に第一の電極１２ａと対向して形成された第二の電極１２ｂと、水晶基板１０の凹部１１ａを塞ぐ第一の容器体２０ａと、第二の電極１２ｂを封止する第二の容器体３０ａと、第一の容器体２０ａまたは第二の容器体３０ａの主面の４隅に設けられる外部接続用端子２１ａと、を備え、所定の一つの外部接続用端子２１ａが第一の電極１２ａと電気的に接続され、所定の他の一つの外部接続用端子２１ａが第二の電極１２ｂと電気的に接続されている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外周部に主振動である厚みすべり振動が伝播することを抑制する構造を有する水晶振動片、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶振動片１０は、ＡＴカットされた水晶基材の両主面の相対向する位置に、平面視で矩形状を呈する凸部５Ａ，５Ｂが形成された所謂メサ構造を有している。各凸部５Ａ，５Ｂ上には励振電極１５Ａ，１５Ｂがそれぞれ設けられ、水晶基材１の薄肉の外周部の外周面６Ａ，６Ｂの一端側近傍には、電極間配線１６Ａ，１６Ｂによりそれぞれ対応した励振電極１５Ａ，１５Ｂに接続された外部接続電極１７Ａ，１７Ｂが設けられている。凸部５Ａ，５Ｂの外周には、外周面６Ａ，６Ｂ上および凸部５Ａ，５Ｂそれぞれの側壁に凸部５Ａ，５Ｂよりも厚みを少なくして形成された段部２５Ａ，２５Ｂが各凸部５Ａ，５Ｂの外周を縁取るように設けられている。 （もっと読む）

【課題】導電性接着材を介して引き出し電極を水晶片支持部材の電極に固着するにあたり、接着材の引き出し電極からの流れを抑えることができる水晶振動子用素子を提供すること。
【解決手段】中央部の厚さが周縁部の厚さよりも大きくなるように周方向に段差が形成された水晶片と、その中央部を励振させる励振電極と、各励振電極から前記水晶片の一面側の周縁部に引き出されるように形成され、導電性接着材を介して水晶片支持部材の電極に固着される引き出し電極と、前記周縁部にて水晶片の一面側に設けられた励振電極と、前記水晶片の他面側の励振電極から前記一面側に引き出された引き出し電極との間に設けられ、前記引き出し電極に塗布された導電性接着材が前記励振電極に流れることを防ぐための前記水晶片と一体的に形成された短絡防止用凸部と、を備えるように水晶振動子素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子片を断面コンベックス形状に短時間で容易に、励振電極を形成する中央領域の表面を面荒れさせることなく加工でき、しかも大量生産に適した方法を提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶ウエハ３の一方の面又は両面を、第１マスク２２を配置しかつ口径の大きいノズル２０から微細砥粒２１を垂直に均一な密度で噴射してブラスト加工し、第１マスクを外した後、第２マスク２４を配置しかつ同様にノズルから微細砥粒を噴射してブラスト加工する。第１及び第２マスクは、それぞれ圧電素子片の矩形の外形線の一方又は他方の対向する２辺６ａ、６ｂを中心に平行なスリットからなる第１及び第２開口部２３、２５を有し、それらの下面は第１及び第２開口部の両側が一定の幅で、水晶ウエハ面との間に一定厚さの隙間２６を画定するように削除されている。この隙間にブラスト加工の微細砥粒の一部が入り込んで、該隙間に面する水晶ウエハ面をも研削する。 （もっと読む）

【課題】縁部にベベル加工を施した水晶片を簡易に製造できる水晶振動子用素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】水晶振動子用素子の製造する際に、ウェハＷにレジスト膜２０を塗布し、露光及び現像を行って、水晶片１のベベル部２を形成するためのレジストマスク２１を形成する工程と、レジストマスク２１を加熱して軟化させ、レジストマスク２１の縁部２２を丸める工程と、サンドブラスト１５による研削加工を、レジストマスク２１が形成されたウェハＷに対して行いレジストマスク２１の縁部２２の断面形状をウェハＷに転写して、水晶片１にベベル部２を形成する工程と、を行う。 （もっと読む）

【課題】 小型化に対応するとともに、耐衝撃性に優れ、良好な特性を有する圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 端部に近づくにつれて次第に薄肉となるように面取り加工された水晶片２の両端が、ベース１の凹部５に両持ち支持接合され、凹部５を平板状の蓋体で気密封止した水晶振動子において、平面視矩形の水晶片２の対角線上に位置する２つの端部は、凹部５の内底面８に斜対向形成された一対の搭載パッド１２，１２に対応するように接合材４を介して各々接合されている。内底面８には一対の枕部７，７が、水晶片の長辺側の自由端２４，２４より、当該長辺における固定端２５，２５の方向へ僅かに離間し、水晶片の長辺縁部に近接した位置に各々形成されている。 （もっと読む）