【課題】輪郭水晶振動片の製造において、周波数温度特性を変化させることなく周波数を調整でき、また周波数微調整及び温度特性調整を同時に行う。
【解決手段】水晶ウエハ２１の両面に電極膜２２，２３を形成し、フォトリソグラフィ技術を用いて励振部３２、接続部３３、支持部３４を一体に有する輪郭水晶振動片３１の外形を加工する。水晶ウエハの電極パターン２８，２９をマスクとして、励振部の水晶部分を側面からウエットエッチングし、その輪郭寸法を調整することにより、輪郭水晶振動片の周波数を粗調整する。次に、周波数又は１次温度係数の少なくとも一方の膜厚に対する変動量が異なる２種又はそれ以上の材料を選択的に組み合わせて、振動部に付着させることにより、輪郭水晶振動片の周波数を微調整しかつ同時に温度特性を調整する。 （もっと読む）

【課題】複数の振動部を形成した圧電ウェハに仕切板を接着固定する際の接着剤が振動部に流入することにより発生する周波数調整不良を防止できる圧電振動素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧電ウェハに複数の振動部を形成する振動部形成工程と、圧電ウェハに形成した複数の振動部と整合する形状の貫通穴を有する仕切板を、圧電ウェハ上に感光性ポジ型のフォトレジスト膜により接着固定する接着固定工程と、圧電ウェハに紫外線を照射することにより感光したレジスト膜を除去するレジスト除去工程と、圧電ウェハ上に形成した各振動部に仕切板を介して個別に肉厚調整用のエッチング液を滴下し、エッチング液を滴下してから所定時間経過後にエッチング液を中和する中和液を各振動部に滴下することにより振動部の肉厚を調整する肉厚調整工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】調整範囲が広く、製造が容易であるとともに、調整精度が高い振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の振動子の製造方法は、振動子の一部を加工して質量除去することによって振動特性の調整を行う調整工程を有する振動子の製造方法であって、前記調整工程は、前記振動特性の測定を行いながら前記振動特性の調整を同時に行う工程を含むことを特徴とする。振動特性としては、周波数や等価直列抵抗値が好ましい。また、質量を除去する加工としては、フェムト秒レーザを用いて加工することが好ましい。これにより、周波数の調整範囲および等価直列抵抗値の調整範囲が広く、短時間で製造が容易であり歩留りの良い振動子の製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 効果的な周波数調整を行うことができるとともに、調整後に酸化などの影響を受けて共振周波数が変動してしまうこと、及び、調整した部分が剥離してしまうことを防いで、周波数精度及び信頼性を向上させた圧電振動片及びその製造方法、その圧電振動子、並びに、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】 圧電振動片１は、所定の形状に形成された圧電材片１ａ上に、外部電極接続部７と、励振電極５と、微調部９とが設けられたものであり、圧電材片１ａの外形を形成する外形形成工程と、導電性膜２０を成膜する導電性膜形成工程と、導電性膜２０をパターニングして圧電材片１ａの表面の一部分を露出させる導電性膜パターン形成工程と、微調部９にイオンビームを照射して削り取ることで、微調部９の重量を調整して、圧電材片１ａを所定の共振周波数に設定する周波数微調整工程とを備えた製造方法で製造される。 （もっと読む）

【課題】 外部から圧力を印加する場合のみならず、励振電力を変化させる場合であっても、共振周波数や共振抵抗値の変化の小さい小型で高精度の音叉型水晶振動片の形状寸法決定方法、音叉型水晶振動片及び音叉型水晶振動子を提供する。
【解決手段】 音叉型水晶振動片をケースに組み込んで音叉型水晶振動子とし、外部から所定の圧力を加えて共振周波数及び共振抵抗値の変化率を評価する耐圧特性評価工程と、基準励振電力を含む所定範囲の励振電力を供給して共振周波数及び共振抵抗値の変化率を評価するドライブレベル特性評価工程とを行い、双方の特性評価を同時に満足する基部の長さと振動腕の厚みとを有する音叉型水晶振動片とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、生産効率に優れ、生産性の高い水晶振動子の製造方法を提供することにあり、さらには、小型で精度の高い水晶振動子の製造方法を提供することにある。さらに、小型で精度の高い水晶振動子と物理量センサーを提供することにある。
【解決手段】水晶ウェハーを加工して、基部と基部から突出してなる振動脚を備えた水晶片を形成する水晶片形成工程と、基部を固定し振動脚を振動させて共振周波数を測定する振動測定工程と、水晶片の表面をウェットエッチング法によってエッチングして所望の共振周波数になるよう調整する追加エッチング工程と、所望の共振周波数に調整された水晶片上に電極を形成する電極形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 周波数調整時のばらつきを極力抑制し、特性の安定した圧電振動子の周波数調整方法、および圧電振動子の周波数調整装置を提供する。
【解決手段】
パレット１を熱遮断板３に取着した状態で、各ワーク５や温度センサＳを各収納凹部１１に搭載し、また温度調整素子Ｔをパレットに取着する。各収納凹部にワーク５を搭載した後、押え板２でワークや温度センサ温度調整素子を固定する。イオンミリングによりワークに対し順次調整動作を行うが、周波数調整実行時に温度センサにより周波数調整用マスク装置や水晶振動子の温度を測定する。測定結果が所定温度範囲外である場合、温度調整部により温度調整を実施する。 （もっと読む）

【課題】 また、角速度センサー用音叉を、精度良く且つ効率良く製造する製造方法を提供する。
【解決手段】 音叉型水晶振動子の製造方法は、基部（２９）から突出し基部に近い第一箇所と遠い第二箇所とを有する少なくとも２つの振動腕（２１Ｄ，２１Ｍ）を含む音叉型水晶振動子（２０）の製造方法である。音叉型水晶振動子の振動成分を検出する検出工程と、振動成分に基づいてレーザー光（ＬＬ）を照射して２つの振動腕の少なくとも一方の振動腕の第一箇所または第二箇所を除去する除去工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】局部的に適合された、又は所定の層厚特性を有する層の製造方法の提供。
【解決手段】ａ）少なくとも１つの層（７）を基板上に形成する。ｂ）形成された層のための除去形状を決定する。ｃ）層（７）がイオンビームの場所において除去特性に応じて、局部的にエッチングされるように、少なくとも１本のイオンビーム（９）を層の上に少なくとも１度行う。その結果、局部的に適合された、または、所定の層厚特性を有する層ができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で共振周波数を高くすることが可能な薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】基板１の中央部に矩形状の凹部２が形成され、この凹部２上に圧電膜３が形成される。圧電膜３は、円盤部４と、支持部５とを有する。円盤部４と支持部５は一体に形成されている。圧電膜３の上には上部電極６が形成され、圧電膜３の下には下部電極７が形成される。上部電極６は、それぞれ等しい幅を持ち同じ間隔で配置される同心状の複数の円環部８と、これら円環部８を相互に接続するバスバー９とを有する。下部電極７は、圧電膜３の裏面全体に形成されている。幅と間隔が等しい同心状の複数の円環部８を有する上部電極６を備えるため、共振時のＱ値を高くでき、面積も削減でき、共振周波数の精度も高くでき、高周波動作も可能な薄膜圧電共振器を実現できる。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の生産性を向上させ、検査時における波形不良による設計変更を無くすことができる圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片の製造方法は、圧電体ウェハから個片に切り出して圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法において、まず、圧電体結晶から切り出した圧電体ウェハを研磨する。次に、研磨した前記圧電体ウェハの複数箇所における共振周波数を測定する。その後、測定した前記複数の共振周波数に基づいて、前記圧電体ウェハを研磨または／およびエッチングし、前記圧電体ウェハを所定の平行度に、かつ前記周波数測定工程の測定箇所における共振周波数を個片化後の圧電基板に所望する周波数に調整する厚み調整工程と、を有し、個片化後、あるいは励振電極形成後の圧電基板に対して周波数調整を行わないことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】水晶ウェハにおける各領域の厚み精度を高めた水晶振動子の製造方法を提供する。
【構成】厚みに反比例して振動周波数が高くなる水晶ウェハを基準振動周波数より低い振動周波数の厚みに加工し、前記水晶ウェハにおける縦横の各領域毎に振動周波数を測定して記憶し、前記各領域の振動周波数と前記基準振動周波数との周波数差に基づいて前記各領域の厚みを順次に減じ、前記水晶ウェハを各領域毎に分割して多数の水晶片を得る水晶振動子の製造方法において、前記水晶ウェハには前記領域毎に区分する縦横の分割溝８が設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｑ値が大きく、優れた共振特性を有する薄膜バルク波素子および高周波デバイスを提供する。
【解決手段】 この薄膜バルク波素子では、基板１の表面上には矩形の平面形状を有する凹部２が形成されており、凹部２上にはこの凹部２の中央を跨ぐように、薄膜共振器６が形成されている。この薄膜共振器６は、圧電体薄膜３と圧電体薄膜３の上面上および下面上に形成された電極４および５とからなる。薄膜共振器６の周縁部のうち、１組の対向する辺６ｂおよび６ｄと基板１との間には、それぞれ、長さＬを有する開口部７および７が形成されており、辺６ｂおよび６ｄは、それぞれ、その中央部において長さＬに渡って基板１と離れている、そして、電極４および５は、それぞれ、基板１上に形成されているパッド電極８および９と接続されているとともに、パッド電極８および９を介して図示していない外部の回路と接続されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、作業効率の良い水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
上記の目的を達成するために、本発明は水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法において、振動面のパターンニング工程と、外形加工エッチング、振動面形成、及び振動面の窪みのある面の裏面にエッチャント止め溝部の形成の工程と、保護膜剥離工程と、振動面の窪みのある面の裏面にエッチャントを滴下して周波数調整をする工程を有することを特徴とし、また、振動面の窪みのある面の裏面に幅が２００μｍから３００μｍのエッチャント止め溝部が形成されることを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）

イオンビームエッチングにより生じるパーティクルが製品の特性に悪影響を与えるおそれのない信頼性の高い電子部品の周波数調整装置及び該周波数調整装置を用いた電子部品の周波数調整方法を提供する。 イオンビーム電流（イオン又は電子）を検知する制御コレクタ４の、少なくともイオンビームが照射される部分を無機絶縁体１２から構成する。 制御コレクタ４の、イオンビーム５が照射されない部分の少なくとも一部を導電体１３から構成する。
（もっと読む）

【課題】 本発明は、高精度で、且つ経時的に特性が変わることなく信頼性に優れた振動体を提供することが目的であり、さらには、小型化に適した振動体の製造方法を提供することが目的である。
【解決手段】 基部とこの基部から突出して形成される振動脚とを有する振動体上に電極が形成された振動体の製造方法であって、電極上にフォトリソグラフィー法によってパターニングされた保護膜を形成する工程と、振動体の特に振動脚の一部を除去し、振動脚の重量バランスを釣り合わせることで振動脚の振動モードを調整する工程と、保護膜を溶解して除去することで、同時に振動モードの調整工程で付着した粉塵も除去する工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
上記の目的を達成するために、本発明は水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法において、振動面のパターンニング工程と、外形加工エッチング、及び振動面形成工程と、保護膜剥離工程と、振動面の窪みのある面の裏面にエッチャント止め仕切り部の形成工程と、振動面の窪みのある面の裏面にエッチャントを滴下して周波数調整をする工程を有することを特徴とし、また、振動面の窪みのある面の裏面に幅が２００μｍから３００μｍのエッチャント止め仕切り部が形成され、撥水性のあるレジストで振動面の窪みのある面の裏面にエッチャント止め仕切り部が形成されることを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 製造工程に工夫を凝らし、余分な工程に依存することなく、所定の共振周波数を確保するようにした共振振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板厚さ測定工程Ｓ２１でシリコン基板１００の厚さを測定する。ついで、エッチング条件決定工程Ｓ２２でシリコン基板１００の測定厚さのハーフ厚さをエッチング量として決定する。このように決定したエッチング量に対応するエッチング時間（主エッチング時間）とし、主エッチング工程Ｓ２３においてシリコン基板を、上記主エッチング時間の間、エッチング液によりエッチングする。次の貫通確認工程Ｓ２４で、主エッチング後のシリコン基板の貫通状態を確認する。ついで、ハーフ厚さ測定工程Ｓ２５で、シリコン基板のエッチング後のハーフ厚さを測定する。そして、追加エッチング工程Ｓ２６で、上記エッチング後のシリコン基板に対しさらにエッチングを施す。 （もっと読む）

【課題】 製造工程に工夫を凝らし、余分な工程に依存することなく、所定の共振周波数を確保するようにした共振振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 エッチング後のシリコン基板のハーフ部位の厚さを測定し、この測定厚さに基づき反射ミラーの共振振動による周波数を所望の共振周波数にするように圧電素子の圧電膜の膜厚を調整するように決定し、このように決定された圧電膜の調整膜厚となるように圧電素子を形成する。 （もっと読む）

【課題】 圧電体膜の厚み方向の配向特性が良好で、且つスプリアス振動がなく、高い電気機械結合係数ｋ_ｔ^２及び機械的品質係数Ｑmを持つ薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 貫通したキャビティ２１を有する基板１１；基板１１上においてキャビティ２１を囲む位置に配置された中間絶縁膜１２；中間絶縁膜１２上に選択的に配置された非晶質下地膜１３ａ，１３ｂ；非晶質下地膜１３ａ，１３ｂに底面の一部のみを接した下部電極１４；下部電極１４の上面に配置された圧電体膜１５；圧電体膜１５上の上部電極１６；下部電極１４の一部に接続される下部電極配線１７；上部電極１６の一部に接続される上部電極配線１８；上部電極配線１８、上部電極１６，上部電極１６から露出した圧電体膜１５、下部電極１４の上面を被覆するパッシベーション膜１９とを備える。 （もっと読む）