極小の凝集していない金属粉末を、金属カルボニルを包含する、化学蒸着および溶解技術により製造する方法であって、金属を含む処理ガスを、加熱された反応器を通して上向きに推進する、方法。従来の下向きのガス流と反対に、上向きのガス流を使用することにより、理論的なプラグ流れ速度プロファイルに近づけることができ、それによって、所望の狭い粒子径分布が得られ、その後に続く区分け技術の必要性が無くなるか、または少なくなる。
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液体金属及び金属パウダー及び塩のスラリーから金属のパウダーを分離するシステム及び方法であって、液体金属が金属パウダーと塩から分離され、実質的に液体金属を有さない塩と金属パウダーを主に残す場合、不活性な環境で操作される第一容器内にスラリーが入れられるシステム又は方法を開示する。塩と金属パウダーは、不活性な環境で操作される第二容器に移されるが、両方の環境は汚染から保護される。その後、塩と金属パウダーは、処理されて、実質的に塩と液体金属を有さない不動態化されたパウダーを製造する。本発明の方法は、Ｔｉ及びその合金の製造に使用するために特に有用である。
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生成された金属粉末粒子が、還元工程後に凝集して二次粒子に成長することを確実に抑制し、凝集粒子などの粗粉が少なく、近年のコンデンサにおいて要請されている薄層化・多層化を十分満足する金属粒子を安定して得ることができる金属粉末の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。金属塩化物ガスを還元性ガスと接触させて金属塩化物を連続的に還元する還元工程と、還元工程で生成した金属粉末を含むガスを不活性ガスにより連続的に冷却する冷却工程とを備え、冷却工程において、金属粉末の流過経路の周囲の１以上の箇所から不活性ガスを吹き出して旋回流を発生させる。さらに、金属粉末製造中に常時連続して、製造装置（還元工程、冷却工程）内部壁面に沿って鉛直方向に、不活性ガス流を発生させる。生成金属粉末の凝集と二次粒子への成長を抑制し、粗粉が少なく均一な粒度の金属粉末を安定して生成することができる。
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