【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置を提供する。
【解決手段】チャック装置１は、ワークＷの鉛直上方に対向配置されて当該ワークを非接触状態で吸引する複数のベルヌーイチャック機構７、９と、複数のベルヌーイチャック機構のうち少なくとも１つのベルヌーイチャック機構について、ワークとの対向方向の位置を、他のベルヌーイチャック機構におけるワークとの対向方向の位置と異なる位置に変更可能な可変部と、を備え、可変部によってワークとの対向方向の位置が変更されるベルヌーイチャック機構が可動ワーク吸引手段を構成するとともに、当該可動ワーク吸引手段の位置変位に伴ってワークに湾曲部１５を形成して当該ワークを保持する。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置を提供する。
【解決手段】可撓性を有するワークＷを保持するチャック装置１であって、本体フレーム２と、本体フレーム２に設けられ、吸引力を作用させる吸引穴６をワークＷ表面に対向させて位置するとともに、吸引穴６の吸引力によってワークＷを非接触状態で吸引する複数のベルヌーイチャック機構４、４’と、ベルヌーイチャック機構４’に設けられ、吸引穴６’の角度を可変して当該吸引穴６’とワークＷ表面との対向方向を変位させる揺動機構１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの板厚が薄く形成されたとしても、簡易な構成で、ワークの利用部位を非接触状態に維持したまま安定してチャックできる。
【解決手段】チャック装置１は、ワークＷと対向する本体２と、本体に配され、ワークと接触する突出部３と、本体と突出部とワークとで囲繞される囲繞空間Ｎから気体を吸引する吸引手段５と、ワークまでの相対距離ｄを測定する測定センサ６と、相対距離に基づいて、相対距離が所定の目標値で安定化するように吸引手段の吸引力を制御する吸引制御部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置およびチャック方法を提供する。
【解決手段】可撓性を有するワークＷを保持するチャック装置であって、ワークＷの鉛直上方に位置して当該ワークＷを非接触状態で吸引するベルヌーイチャック機構４と、当該ベルヌーイチャック機構４を挟んで水平面上に対向配置され、当該ベルヌーイチャック機構４による吸引力で浮上するとともに自重で撓んだワークＷの側縁Ｗ_２を挟持し、当該側縁Ｗ_２よりも中央部Ｗ_１が鉛直上方に位置する湾曲姿勢にワークＷを保持する一対の保持手段１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルの吸引保持性能の良否を容易に判定できるようにする。
【解決手段】基台９０と多孔質部材９１とを貼り合わせて構成されるチャックテーブル９における貼り合わせ状態を検査するチャックテーブル検査装置１において、検査玉保持部５０から検査玉５００をチャックテーブル９の多孔質部材９１に向けて落下させて多孔質部材９１における検査玉５００の跳ね上がりを監視センサ８１で監視し、検査玉５００の跳ね上がりが監視センサ８１より高くなるか否かによって、チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判断する。チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を適切に判断することができ、また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】操作に多大な労力や時間を要せず、しかも各種の工作機械等への取り付けも容易であり、省エネ且つシンプル構造で低コストな真空チャック装置を提供する。
【解決手段】第１と第２のシリンダ室１１、１２には、それぞれ第１のピストン１４、第２のピストン１５が軸方向への往復動が可能に内装されている。第１のピストンと第２のピストンとは連結されている。第１のピストンによって、第１のシリンダ室内には第１の空間１１ａ及び第２の空間１１ｂが形成される。第２のピストンによって第２のシリンダ室内には第３の空間１２ａ及び第４の空間１２ｂが形成される。クランプ時には、第２の空間内の流体を排出し、第３の空間内に流体を圧入する。アンクランプ時には、第３の空間内の流体を排出し、第２の空間１１ｂ内に流体を圧入する。 （もっと読む）

【課題】加工装置による加工精度を向上する。
【解決手段】被加工物としてのワークを凍結固定して加工を行う加工装置１０において、所定の方向に移動可能なベッド１ａ，１ｂと、ベッド１ｂに固定され、ワークを載置するベース２と、ベース２を冷却する温度制御手段２０と、ベッド１ａ，１ｂに対する位置を変動可能に制御され、ワーク２を加工する工具５と、を備え、温度制御手段２０は、ベース２を冷却することにより、ワークを該ワークの材質、および／または該ワークの加工条件に応じた所定の温度に制御する。 （もっと読む）

【課題】被切削対象を容易に加工することができ、精度の高い超伝導加速空洞を形成することが可能な加工装置及び加工方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加工装置は、一端側が大径部１１であり、他端側が小径部１２である中空状のワーク１０Ａを加工して、ハーフセル１０を形成する加工装置であって、ワーク１０Ａを固定する固定治具１と、固定治具１を回転させる回転駆動部と、ワーク１０Ａを切削する切削工具４とを備え、固定治具１は、複数の部材からなり、ワーク１０Ａにおいて第１の被切削部分を切削するとき、複数の部材は、第１の被切削部分が露出するように第１のパターンで組み合わされ、ワーク１０Ａにおいて第２の被切削部分を切削するとき、複数の部材は、第２の被切削部分が露出するように第２のパターンで組み合わされ、ワーク１０Ａを取り外さずに、第１のパターンから第２のパターンへ複数の部材の組み合わせが変更される。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの多面取り露光等ワークが大型化した状態においも、カラーフィルタの露光パターンにおける色むら等を防止して、高精度、高スループットの露光を達成するための露光装置を提供する。
【解決手段】仕切り壁８１１と突起８１２との間隔Ｌは、突起８１２同士の間隔Ｌに等しくなるので、保持したワークＷの下面ＷＶの撓み量は、仕切り壁８１１と突起８１２との間、及び隣接する突起８１２同士の間でほぼ等しくなる。これにより仕切り壁８１１と突起８１２と、突起８１２同士の間隔とをほぼ等しく調整することができ、ワークＷの平面度を向上させて、露光ムラを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なる被吸着体を高い作業効率で簡単に吸着して固定することができる吸着装置および該吸着装置を備えた処理装置を提供する。
【解決手段】フィルム材２を差圧により吸着する吸着部６１を備え、吸着部６１はそれぞれ独立して吸着動作が可能な複数の吸着領域６２ａ〜６２ｄに区画されており、吸着領域６２ａ〜６２ｄのそれぞれに、真空排気ライン１３ａ〜１３ｄとガス供給ライン１６ａ〜１６ｄとが連通可能に接続されており、真空排気ライン１３ａ〜１３ｄとガス供給ライン１６ａ〜１６ｄとにそれぞれ開閉弁１４ａ〜１４ｄ、１７ａ〜１７ｄが設けられている。 （もっと読む）