チャックテーブル検査装置
【課題】チャックテーブルの吸引保持性能の良否を容易に判定できるようにする。
【解決手段】基台９０と多孔質部材９１とを貼り合わせて構成されるチャックテーブル９における貼り合わせ状態を検査するチャックテーブル検査装置１において、検査玉保持部５０から検査玉５００をチャックテーブル９の多孔質部材９１に向けて落下させて多孔質部材９１における検査玉５００の跳ね上がりを監視センサ８１で監視し、検査玉５００の跳ね上がりが監視センサ８１より高くなるか否かによって、チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判断する。チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を適切に判断することができ、また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。
【解決手段】基台９０と多孔質部材９１とを貼り合わせて構成されるチャックテーブル９における貼り合わせ状態を検査するチャックテーブル検査装置１において、検査玉保持部５０から検査玉５００をチャックテーブル９の多孔質部材９１に向けて落下させて多孔質部材９１における検査玉５００の跳ね上がりを監視センサ８１で監視し、検査玉５００の跳ね上がりが監視センサ８１より高くなるか否かによって、チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判断する。チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を適切に判断することができ、また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基台と多孔質部材とを貼り合わせて構成されるチャックテーブルにおける基台と多孔質部材との貼り合わせ状態を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種加工装置においては、チャックテーブルと呼ばれる被加工物を保持するためのテーブルを備えている。チャックテーブルは、多孔質部材と、多孔質部材を支持する基台とを備え、基台には多孔質部材と吸引源とを連通させる吸引通路が形成されている。
【０００３】
例えば被加工物がテープに貼着される場合は、チャックテーブルにおいては、多孔質部材の全面がテープによって覆われた状態として吸引を行うことにより、エアのリークを生じさせることなく、テープを介して被加工物を吸引保持することができる。
【０００４】
ところが、多孔質部材と基台との接合が不十分であったりするために両者の間に上下方向の隙間が存在する場合があり、この場合は、吸引通路においてエアがリークして吸引保持性能が低下するという問題がある。そこで、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を判定するために、種々の方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
例えば、基台と多孔質部材との間に隙間があると、多孔質部材をテープなどで覆って吸引を行ったときに多孔質部材が下方に引き下げられることを利用し、吸引前後の多孔質部材の高さの差を測定することにより、多孔質部材と基台との間の隙間を確認する方法がある。また、多孔質部材を叩いてそのときの音の周波数を測定する方法によって多孔質部材と基台との間の隙間を判断する方法もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２２９８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記前者の方法では、多孔質部材と基台との間の隙間が小さい場合は、吸引を行っても多孔質部材が引き下げられないことがあり、隙間を確認できないという問題がある。また、上記後者の方法では、音の伝わり方が温度や湿度の影響を受けるために、誤検出をすることがあるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を容易に判定できるようにすることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基台と多孔質部材とを貼り合わせて構成されるチャックテーブルの貼り合わせの状態を検査するチャックテーブル検査装置に関するもので、チャックテーブルが載置されるチャックテーブル検査台と、硬質球体からなる検査用の検査玉と、チャックテーブル検査台の上方において検査玉を所定の高さで保持する検査玉保持部と、チャックテーブル検査台と検査玉保持部との間の高さであって検査玉保持部より低い高さに配設され検査玉を監視する監視センサと、検査玉保持部から検査玉を落下させ、チャックテーブルの多孔質部材に当たって跳ね上がる検査玉が監視センサより高く跳ね上がった場合はチャックテーブルを正常と判断する判断部と、から構成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、検査球を監視する監視センサを備え、検査玉保持部から検査玉をチャックテーブルの多孔質部材に向けて落下させて多孔質部材における跳ね上がりを監視センサで監視するため、検査玉の跳ね上がりが監視センサより高くなるか否かによって、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を判断することができる。すなわち、基台と多孔質部材との間の隙間の大きさが許容範囲内であるときに検査玉が監視センサより高い位置に跳ね上がるように、検査玉保持部と監視センサとの相対的な高さの関係を設定することで、チャックテーブルの良否を判定することができる。したがって、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を適切に判断することができ、また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】チャックテーブル検査装置の一例を示す斜視図である。
【図２】検査玉が多孔質部材で跳ね上がり、監視センサの高さまで至らない状態を模式的に示す正面図である。
【図３】検査玉が多孔質部材で跳ね上がり、監視センサより高い位置に至った状態を模式的に示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示すチャックテーブル検査装置１は、基台９０と多孔質部材９１とを貼り合わせて構成されるチャックテーブル９の基台９０と多孔質部材９１との貼り合わせ状態を検査する装置であり、検査対象のチャックテーブル９が載置されるチャックテーブル検査台２を備えている。チャックテーブル９は、基台９０の表面側においてリング状に突出した凸部９０ａの内側に多孔質部材９１が収容されて構成されている。
【００１３】
チャックテーブル検査台２からは柱部３が立設されており、柱部３からは水平方向に水平支持部４が延びている。水平支持部４は、その先端部において検査玉保持部５を支持しており、柱部３に沿って上下方向に水平支持部４を摺動させることにより、検査玉保持部５の高さを調整することができる。検査玉保持部５は、チャックテーブル検査台２の上方に位置している。
【００１４】
検査玉保持部５は、２つの可動部材５０を備えている。各可動部材５０は、断面が半円状に形成された側板５０ａと、側板５０ａの下部に渡された半円状の底板５０ｂとから構成されている。
【００１５】
２つの可動部材５０によって囲まれた空間には、チャックテーブル９の検査用の硬質球体からなる検査玉５００が収容されている。検査玉５００は、例えばアルミナセラミックスによって形成されており、所定の高さにおいて検査玉保持部５によって保持されている。
【００１６】
水平支持部４の側面には、２つの可動部材５０を開閉する可動部材開閉部６が配設されている。可動部材開閉部６は、水平支持部４に固定されたシリンダ６０と、シリンダ６０によって駆動されて進退するピストン６１とを備えており、ピストン６１の先端部に可動部材５０の側板５０ａが固定されている。
【００１７】
チャックテーブル検査台２の側部には、鉛直方向に延びる２つの軸部７０、７１が配設され、個々の軸部７０、７１には、それぞれ監視センサ８０、８１が固定されている。監視センサ８０、８１は、検査玉保持部５より低い位置に配設されている。
【００１８】
図示の例では、監視センサ８０が発光部８０ａを、監視センサ８１が受光部８１ａをそれぞれ備え、監視センサ８０の発光部８０ａと監視センサ８１の受光部８１ａとが水平方向に対向しており、図２に示すように、発光部８０ａと受光部８１ａとを結ぶ検出ライン８２が形成されている。検査玉５００が検出ライン８２を通過すると、発光部８０ａから発せられた光が遮断されるため、検査玉５００の通過による光の遮断を監視センサ８１が検出できるように構成されている。監視センサ８１には、監視センサ８１の検出結果に応じてチャックテーブル９が正常か否かを判断する判断部８３が接続されている。
【００１９】
図１に示したチャックテーブル検査装置１において、チャックテーブル検査台２には、チャックテーブル９の基台９０側が載置され、多孔質部材９１が上に向いた状態となる。また、検査玉保持部５を所定の高さに固定しておく。具体的には、基台９０と多孔質部材９１との間の隙間の大きさが許容範囲内であるときに検査玉５００が監視センサ８０、８１より高い位置に跳ね上がるように、水平支持部４を鉛直方向に移動させて検査玉保持部５の鉛直方向の位置を調整する。なお、監視センサ８０、８１が鉛直方向に移動可能である場合は、監視センサ８０、８１の位置を調整することにより、検査玉保持部５との相対的な位置関係を調整することができる。いずれにしても、監視センサ８０、８１の高さは、検査玉保持部５の高さとの相対的な関係で所定の高さとなる。
【００２０】
こうしてチャックテーブル９が載置された状態で、シリンダ６０がピストン６１を後退させると、２つの可動部材５０が離れて２つの底板５０ｂの間の間隔があき、検査玉保持部５に保持された検査玉５００が落下する。そうすると、落下中の検査玉５００が検出ライン８２を通過する。監視センサ８１は、検査玉５００が検出ライン８２を通過したことを検知すると、次に、検査玉５００が多孔質部材９１に当たって検査５００が跳ね上がることを想定し、再度検査玉５００が検出ライン８２を遮断するか否かの監視を開始する。
【００２１】
そして、図２に示すように、跳ね上がった検査玉が一定時間内に検出ライン８２に達しない場合は、基台９０と多孔質部材９１との間に許容できない隙間があるために、チャックテーブル９において衝撃力が逃げており、判断部８３は、チャックテーブル９の吸引保持性能に問題ありと判定する。
【００２２】
一方、図３に示すように、多孔質部材９１に当たった検査玉が検出ライン８２よりも高く跳ね上がった場合は、監視センサ８１がそのことを検知すると、判断部８３は、基台９０と多孔質部材９１との間に隙間がないか、隙間があっても許容できる範囲のもので、チャックテーブル９の吸引保持性能が正常であると判定する。
【００２３】
このようにして、検査玉５００が多孔質部材９１に当たって跳ね上がる高さに応じて、チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判定する。
【００２４】
以上のように、チャックテーブル検査装置１では、検査玉５００をチャックテーブル９の多孔質部材９１に落下させ、多孔質部材９１における跳ね返りの高さが一定以上か否かにもとづいてチャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判定することができ、基台９０と多孔質部材９１との間の隙間の大きさに応じた跳ね上がり量を基準とすることで、吸引保持性能の良否を適切に判断することができる。また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。
【符号の説明】
【００２５】
１：チャックテーブル検査装置
２：チャックテーブル検査台
３：柱部 ４：ブラケット
５：検査玉保持部
５０：可動部材 ５０ａ：側板 ５０ｂ：底板
５００：検査玉
６：可動部材開閉部 ６０：シリンダ ６１：ピストン
７０，７１：軸部
８０，８１：監視センサ ８０ａ：発光部 ８１ａ：受光部 ８２：検出ライン
８３：判断部
９：チャックテーブル ９０：基台 ９１：多孔質部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基台と多孔質部材とを貼り合わせて構成されるチャックテーブルにおける基台と多孔質部材との貼り合わせ状態を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種加工装置においては、チャックテーブルと呼ばれる被加工物を保持するためのテーブルを備えている。チャックテーブルは、多孔質部材と、多孔質部材を支持する基台とを備え、基台には多孔質部材と吸引源とを連通させる吸引通路が形成されている。
【０００３】
例えば被加工物がテープに貼着される場合は、チャックテーブルにおいては、多孔質部材の全面がテープによって覆われた状態として吸引を行うことにより、エアのリークを生じさせることなく、テープを介して被加工物を吸引保持することができる。
【０００４】
ところが、多孔質部材と基台との接合が不十分であったりするために両者の間に上下方向の隙間が存在する場合があり、この場合は、吸引通路においてエアがリークして吸引保持性能が低下するという問題がある。そこで、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を判定するために、種々の方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
例えば、基台と多孔質部材との間に隙間があると、多孔質部材をテープなどで覆って吸引を行ったときに多孔質部材が下方に引き下げられることを利用し、吸引前後の多孔質部材の高さの差を測定することにより、多孔質部材と基台との間の隙間を確認する方法がある。また、多孔質部材を叩いてそのときの音の周波数を測定する方法によって多孔質部材と基台との間の隙間を判断する方法もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２２９８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記前者の方法では、多孔質部材と基台との間の隙間が小さい場合は、吸引を行っても多孔質部材が引き下げられないことがあり、隙間を確認できないという問題がある。また、上記後者の方法では、音の伝わり方が温度や湿度の影響を受けるために、誤検出をすることがあるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を容易に判定できるようにすることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基台と多孔質部材とを貼り合わせて構成されるチャックテーブルの貼り合わせの状態を検査するチャックテーブル検査装置に関するもので、チャックテーブルが載置されるチャックテーブル検査台と、硬質球体からなる検査用の検査玉と、チャックテーブル検査台の上方において検査玉を所定の高さで保持する検査玉保持部と、チャックテーブル検査台と検査玉保持部との間の高さであって検査玉保持部より低い高さに配設され検査玉を監視する監視センサと、検査玉保持部から検査玉を落下させ、チャックテーブルの多孔質部材に当たって跳ね上がる検査玉が監視センサより高く跳ね上がった場合はチャックテーブルを正常と判断する判断部と、から構成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、検査球を監視する監視センサを備え、検査玉保持部から検査玉をチャックテーブルの多孔質部材に向けて落下させて多孔質部材における跳ね上がりを監視センサで監視するため、検査玉の跳ね上がりが監視センサより高くなるか否かによって、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を判断することができる。すなわち、基台と多孔質部材との間の隙間の大きさが許容範囲内であるときに検査玉が監視センサより高い位置に跳ね上がるように、検査玉保持部と監視センサとの相対的な高さの関係を設定することで、チャックテーブルの良否を判定することができる。したがって、チャックテーブルの吸引保持性能の良否を適切に判断することができ、また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】チャックテーブル検査装置の一例を示す斜視図である。
【図２】検査玉が多孔質部材で跳ね上がり、監視センサの高さまで至らない状態を模式的に示す正面図である。
【図３】検査玉が多孔質部材で跳ね上がり、監視センサより高い位置に至った状態を模式的に示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示すチャックテーブル検査装置１は、基台９０と多孔質部材９１とを貼り合わせて構成されるチャックテーブル９の基台９０と多孔質部材９１との貼り合わせ状態を検査する装置であり、検査対象のチャックテーブル９が載置されるチャックテーブル検査台２を備えている。チャックテーブル９は、基台９０の表面側においてリング状に突出した凸部９０ａの内側に多孔質部材９１が収容されて構成されている。
【００１３】
チャックテーブル検査台２からは柱部３が立設されており、柱部３からは水平方向に水平支持部４が延びている。水平支持部４は、その先端部において検査玉保持部５を支持しており、柱部３に沿って上下方向に水平支持部４を摺動させることにより、検査玉保持部５の高さを調整することができる。検査玉保持部５は、チャックテーブル検査台２の上方に位置している。
【００１４】
検査玉保持部５は、２つの可動部材５０を備えている。各可動部材５０は、断面が半円状に形成された側板５０ａと、側板５０ａの下部に渡された半円状の底板５０ｂとから構成されている。
【００１５】
２つの可動部材５０によって囲まれた空間には、チャックテーブル９の検査用の硬質球体からなる検査玉５００が収容されている。検査玉５００は、例えばアルミナセラミックスによって形成されており、所定の高さにおいて検査玉保持部５によって保持されている。
【００１６】
水平支持部４の側面には、２つの可動部材５０を開閉する可動部材開閉部６が配設されている。可動部材開閉部６は、水平支持部４に固定されたシリンダ６０と、シリンダ６０によって駆動されて進退するピストン６１とを備えており、ピストン６１の先端部に可動部材５０の側板５０ａが固定されている。
【００１７】
チャックテーブル検査台２の側部には、鉛直方向に延びる２つの軸部７０、７１が配設され、個々の軸部７０、７１には、それぞれ監視センサ８０、８１が固定されている。監視センサ８０、８１は、検査玉保持部５より低い位置に配設されている。
【００１８】
図示の例では、監視センサ８０が発光部８０ａを、監視センサ８１が受光部８１ａをそれぞれ備え、監視センサ８０の発光部８０ａと監視センサ８１の受光部８１ａとが水平方向に対向しており、図２に示すように、発光部８０ａと受光部８１ａとを結ぶ検出ライン８２が形成されている。検査玉５００が検出ライン８２を通過すると、発光部８０ａから発せられた光が遮断されるため、検査玉５００の通過による光の遮断を監視センサ８１が検出できるように構成されている。監視センサ８１には、監視センサ８１の検出結果に応じてチャックテーブル９が正常か否かを判断する判断部８３が接続されている。
【００１９】
図１に示したチャックテーブル検査装置１において、チャックテーブル検査台２には、チャックテーブル９の基台９０側が載置され、多孔質部材９１が上に向いた状態となる。また、検査玉保持部５を所定の高さに固定しておく。具体的には、基台９０と多孔質部材９１との間の隙間の大きさが許容範囲内であるときに検査玉５００が監視センサ８０、８１より高い位置に跳ね上がるように、水平支持部４を鉛直方向に移動させて検査玉保持部５の鉛直方向の位置を調整する。なお、監視センサ８０、８１が鉛直方向に移動可能である場合は、監視センサ８０、８１の位置を調整することにより、検査玉保持部５との相対的な位置関係を調整することができる。いずれにしても、監視センサ８０、８１の高さは、検査玉保持部５の高さとの相対的な関係で所定の高さとなる。
【００２０】
こうしてチャックテーブル９が載置された状態で、シリンダ６０がピストン６１を後退させると、２つの可動部材５０が離れて２つの底板５０ｂの間の間隔があき、検査玉保持部５に保持された検査玉５００が落下する。そうすると、落下中の検査玉５００が検出ライン８２を通過する。監視センサ８１は、検査玉５００が検出ライン８２を通過したことを検知すると、次に、検査玉５００が多孔質部材９１に当たって検査５００が跳ね上がることを想定し、再度検査玉５００が検出ライン８２を遮断するか否かの監視を開始する。
【００２１】
そして、図２に示すように、跳ね上がった検査玉が一定時間内に検出ライン８２に達しない場合は、基台９０と多孔質部材９１との間に許容できない隙間があるために、チャックテーブル９において衝撃力が逃げており、判断部８３は、チャックテーブル９の吸引保持性能に問題ありと判定する。
【００２２】
一方、図３に示すように、多孔質部材９１に当たった検査玉が検出ライン８２よりも高く跳ね上がった場合は、監視センサ８１がそのことを検知すると、判断部８３は、基台９０と多孔質部材９１との間に隙間がないか、隙間があっても許容できる範囲のもので、チャックテーブル９の吸引保持性能が正常であると判定する。
【００２３】
このようにして、検査玉５００が多孔質部材９１に当たって跳ね上がる高さに応じて、チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判定する。
【００２４】
以上のように、チャックテーブル検査装置１では、検査玉５００をチャックテーブル９の多孔質部材９１に落下させ、多孔質部材９１における跳ね返りの高さが一定以上か否かにもとづいてチャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判定することができ、基台９０と多孔質部材９１との間の隙間の大きさに応じた跳ね上がり量を基準とすることで、吸引保持性能の良否を適切に判断することができる。また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。
【符号の説明】
【００２５】
１：チャックテーブル検査装置
２：チャックテーブル検査台
３：柱部 ４：ブラケット
５：検査玉保持部
５０：可動部材 ５０ａ：側板 ５０ｂ：底板
５００：検査玉
６：可動部材開閉部 ６０：シリンダ ６１：ピストン
７０，７１：軸部
８０，８１：監視センサ ８０ａ：発光部 ８１ａ：受光部 ８２：検出ライン
８３：判断部
９：チャックテーブル ９０：基台 ９１：多孔質部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と多孔質部材とを貼り合わせて構成されるチャックテーブルにおける該基台と該多孔質部材との貼り合わせ状態を検査するチャックテーブル検査装置であって、
該チャックテーブルが載置されるチャックテーブル検査台と、
硬質球体からなる検査用の検査玉と、
該チャックテーブル検査台の上方において該検査玉を所定の高さで保持する検査玉保持部と、
該チャックテーブル検査台と該検査玉保持部との間の高さであって、該検査玉保持部より低い高さに配設され、該検査玉を監視する監視センサと、
該検査玉保持部から該検査玉を落下させ、該チャックテーブルの多孔質部材に当たって跳ね上がる該検査玉が該監視センサより高く跳ね上がった場合は該チャックテーブルを正常と判断する判断部と、
で構成されるチャックテーブル検査装置。
【請求項１】
基台と多孔質部材とを貼り合わせて構成されるチャックテーブルにおける該基台と該多孔質部材との貼り合わせ状態を検査するチャックテーブル検査装置であって、
該チャックテーブルが載置されるチャックテーブル検査台と、
硬質球体からなる検査用の検査玉と、
該チャックテーブル検査台の上方において該検査玉を所定の高さで保持する検査玉保持部と、
該チャックテーブル検査台と該検査玉保持部との間の高さであって、該検査玉保持部より低い高さに配設され、該検査玉を監視する監視センサと、
該検査玉保持部から該検査玉を落下させ、該チャックテーブルの多孔質部材に当たって跳ね上がる該検査玉が該監視センサより高く跳ね上がった場合は該チャックテーブルを正常と判断する判断部と、
で構成されるチャックテーブル検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１３−８６１８７（Ｐ２０１３−８６１８７Ａ）
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２２５６４４（Ｐ２０１１−２２５６４４）
【出願日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
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