【課題】操作に多大な労力や時間を要せず、しかも各種の工作機械等への取り付けも容易であり、省エネ且つシンプル構造で低コストな真空チャック装置を提供する。
【解決手段】第１と第２のシリンダ室１１、１２には、それぞれ第１のピストン１４、第２のピストン１５が軸方向への往復動が可能に内装されている。第１のピストンと第２のピストンとは連結されている。第１のピストンによって、第１のシリンダ室内には第１の空間１１ａ及び第２の空間１１ｂが形成される。第２のピストンによって第２のシリンダ室内には第３の空間１２ａ及び第４の空間１２ｂが形成される。クランプ時には、第２の空間内の流体を排出し、第３の空間内に流体を圧入する。アンクランプ時には、第３の空間内の流体を排出し、第２の空間１１ｂ内に流体を圧入する。 （もっと読む）

【課題】被切削対象を容易に加工することができ、精度の高い超伝導加速空洞を形成することが可能な加工装置及び加工方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加工装置は、一端側が大径部１１であり、他端側が小径部１２である中空状のワーク１０Ａを加工して、ハーフセル１０を形成する加工装置であって、ワーク１０Ａを固定する固定治具１と、固定治具１を回転させる回転駆動部と、ワーク１０Ａを切削する切削工具４とを備え、固定治具１は、複数の部材からなり、ワーク１０Ａにおいて第１の被切削部分を切削するとき、複数の部材は、第１の被切削部分が露出するように第１のパターンで組み合わされ、ワーク１０Ａにおいて第２の被切削部分を切削するとき、複数の部材は、第２の被切削部分が露出するように第２のパターンで組み合わされ、ワーク１０Ａを取り外さずに、第１のパターンから第２のパターンへ複数の部材の組み合わせが変更される。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに連通する配管の圧力を計測する圧力センサーに異物が侵入するのを防止し、圧力検知部に異物が付着ないし衝突しないようにする。
【解決手段】チャックテーブル２に連結され開閉弁４０，４１によって吸引源５０または高圧エアー源５１のいずれかに連通する第１の配管３０を備え、第1の配管３０に圧力計６が連結されたチャックテーブル機構１において、圧力計６は、第１の配管３０に対して立設され第１の配管３０の内径より大きい内径を有し上部が閉塞した筒体６０と、筒体６０の側壁に連結され筒体６０の内径より小さい内径を有し上部が閉塞した枝筒体６１と、枝筒体６１の閉塞端に配設され圧力を検知する圧力センサー６２とから構成される。第１の配管３０よりも筒体６０を太くして容積差を持たせることで、流体速度を抑制して筒体６０内に異物１０を滞留させ、バキューム動作によって吸引を行うと圧力計６から異物を排出できる。 （もっと読む）

【課題】支持可能なワーク（５）に限定されず、各種ワーク（５）を有効に支持して保持することができる。また、ワーク（５）の大きさや重量に応じて支持面の大きさを変更することができ、各種ワーク（５）を最適条件で支持して保持することができる。
【解決手段】回動部材（３４）により回動盤（３５）を回動して各支持ロッド（３９）を、他端部が互いに近づく縮径側及び互いに離間する拡径側に位置するように傾動してワーク（５）に対する各支持ロッド（３９）による支持面を可変可能にする。 （もっと読む）

【課題】支持可能なワーク（５）に限定されず、各種ワーク（５）を有効に支持して保持することができる。また、ワーク（５）の大きさや重量に応じて支持面の大きさを変更することができ、各種ワーク（５）を最適条件で支持して保持することができる。
【解決手段】回動部材（３４）により回動盤（３５）を回動して各支持ロッド（３９）を、他端部が互いに近づく縮径側及び互いに離間する拡径側に位置するように傾動してワーク（５）に対する各支持ロッド（３９）による支持面を可変可能にする。 （もっと読む）

【課題】溶接対象となり得る部材が倒れたり位置ずれしたりすることがないよう安定的に保持できるようにし、溶接するときの作業性、及び作業者の安全性の向上を図った溶接部材保持装置を提供する。
【解決手段】一方の部材２を他方の部材３に溶接により接合する際に、前記一方の部材２を前記他方の部材３に当接させた状態で保持することが可能な溶接部材保持装置１であって、負圧発生手段２０と、該負圧発生手段２０で発生された負圧により前記他方の部材３に吸着される吸着部４と、把持レバー１１と、把持レバー１１の反復操作により、前記他方の部材３に当接させた前記一方の部材２を前記他方の部材３に向かって押圧して保持する油圧ロッド７とを備える。 （もっと読む）

【課題】熟練を要することなく安定した切削加工が可能になるように被加工材を吸引治具に吸引面に確実に位置決めして固定保持することができるようにする。
【解決手段】所定の吸引力で被加工材Ｗを吸引して被加工材Ｗを吸引治具３の吸引面に吸着した後、各チャック１を径の中心方向へ移動させることにより、被加工材Ｗの外周を予め定めた力で挟み付けて被加工材Ｗを各チャック１により位置決めし、更に先の所定の吸引力より強い吸引力で被加工材Ｗを吸引治具３に吸着して吸引面に固定保持する。 （もっと読む）

【課題】磁性体を一部に含む磁性体部と、該磁性体部をほぼ取り囲んだ状態で形成された空所部とを有する物体を簡単に加工する。
【解決手段】 加工装置は、磁性体を一部に含む磁性体部と、該磁性体部をほぼ取り囲んだ状態で形成された空所部とを有する物体Ｍを保持可能な保持面を有し、複数のマイクロコイルＭＣを有する電磁チャック２０と、電磁チャック２０を前記保持面と交差する方向に移動させる移動装置と、を備えている。移動装置が、該電磁チャック２０の複数のマイクロコイルＭＣにより物体Ｍの前記磁性体部が磁気吸着され、かつ前記空所部が磁気吸着されない状態で、電磁チャック２０を前記保持面と交差する方向に移動させることにより、磁性体部及びこれに連結された部分を電磁チャック２０の移動方向に応じて変形させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】吸着式の回転ジグにワークを取り付ける場合等において、極めて高精度に芯出しを行うことができる自動芯出しシステム及び自動芯出し方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、吸着式にワークの一側を保持可能なワーク保持部と、ワーク保持部に結合されていて、ワーク保持部を回転軸回りに割り出し可能に回転させる主軸と、前記回転軸に対するワークの芯ずれ位相または芯ずれ量を測定できる検出センサと、ワーク保持部に対向する位置に移動可能であって、吸着式にワークの他側を保持可能な第二ワーク保持部と、前記回転軸と第二ワーク保持部との相対位置関係を制御可能な移動制御部と、を備えたことを特徴とする芯出しシステムである。 （もっと読む）

【課題】薄板ワークの支持剛性を向上させて精度良く表面加工することができる薄板ワークの固定装置を提供する。
【解決手段】互いに対向する縁Ｅを有する薄板ワークＷをこれらの縁Ｅが水平方向に並ぶ状態で所定の位置に固定する固定装置２であり、この固定装置２は、薄板ワークＷの下面における複数の部位をそれぞれ吸着保持するように並設された複数のワーク吸着機構である第１シリンダロッド５と、薄板ワークＷの各縁Ｅをそれぞれ把持し、前記薄板ワークへ圧縮荷重を与える複数のワーク縁把持機構４とを備えている。ワーク縁把持機構４は、薄板ワークＷを下方へ突出する向きに撓ませるように、薄板ワークＷの対向する縁Ｅから当該薄板ワークＷの対向する縁の中央側へ向けて圧縮荷重を与える。 （もっと読む）

【課題】起立姿勢とされた平板状のワークを良好に保持することができる保持装置、およびこの保持装置を有する基板ブレーク装置を提供する。
【解決手段】基板ブレーク装置１は、主として、搬送ユニット５０と、非接触保持ユニット８０と、ブレークユニット８５と、を有している。搬送ユニット５０の固定機構６０は、ワークの外縁部を接触保持する。非接触保持ユニット８０は、ワークの主面を非接触保持する。これにより、ワークの主面を接触保持できない場合であっても、ワークを良好に保持し、脆性材料基板上のスクライブラインに沿って良好にブレークできる。 （もっと読む）

【課題】
外部の真空装置及びロータリージョイントのような複雑で大型の機構を用いずに簡潔な構造で、チャックそのものに遠心力を利用した真空発生装置を内蔵させたもので、加工物を確実かつ安定性よく保持することができる真空チャックを提供する。
【解決手段】
本願発明は、旋盤加工用の真空チャックであって、チャック内部に、チャックの回転により生ずる遠心力を利用した真空発生装置を内蔵させ、これによって生ずる吸引力によって加工物を保持するようにしたことを特徴とする真空チャックにより解決したものである。 （もっと読む）

【課題】吸着面に吸着された状態で処理が施されるフィルムを加工するフィルム加工装置において、制御を煩雑とすることなく、フィルムの周縁部に沿う領域に設けられた位置合わせマークの近傍においても皺を生じさせずにフィルムを吸着面に吸着させる。
【解決手段】周縁部に沿う領域に位置合わせマーク１４が設けられ、吸着面に中央部から周縁部に向かって徐々に吸着されていき、吸着面に吸着された状態で処理が施されるアンテナシート１０に対して、位置合わせマーク１４の近傍を含むアンテナシート１０の搬送方向両側に沿う領域に、単位アンテナシート１０ａの中央部１２から放射状に延びる方向を長手方向とする長孔１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】保持面に形成した吸着溝により伝達される負圧によってワークを保持する場合においても、ワークが適切に保持されていない状態となるのを事前に検出すること。
【解決手段】環状フレーム１０１の開口部１０２にテープ１０３を介してワークＷを支持した形態のワークユニット１０のワークＷをテープ１０３を介して保持する保持面３４とこの保持面３４に形成された吸着溝３４１とを有するワーク保持部３を有するワーク保持機構において、環状フレーム１０１の内周とワークＷの外周との間に位置するテープ１０３に対応する位置に吸着溝３４１を囲むように形成された環状のリーク検出溝３３１と、リーク検出溝３３１に負圧を発生させる吸引部３２３と、リーク検出溝３３１と吸引部３２３との間に配設された圧力センサ３２４とを有し、リーク検出溝３３１の断面積を吸着溝３４１の断面積よりも大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂製のワークを容易に固定して精度よく加工でき、しかも汎用性が高い樹脂製ワーク加工装置と樹脂加工部材の製造方法とを提供する。
【解決手段】樹脂製ワークＷを所定位置に固定する固定部１１と、固定部１１で固定したワークＷの加工対象部位Ｗ１を加工工具１３で加工する加工部１５とを備えており、固定部１１が、ワークＷに設けた基準部位Ｗ２を当接してワークＷを支持する支持部１７と、基準部位Ｗ２とは異なる位置に設けた加工対象部位Ｗ１の近傍でワークＷの表面を吸着する吸着部１９とを備え、支持部１７に当接すると共に吸着部１９で吸着することでワークＷを固定する。 （もっと読む）

【課題】パッケージ基板が湾曲していても分割予定ラインに沿って切削することができる切削装置を提供する。
【解決手段】第１の方向に形成された複数の第１の分割予定ラインと第１の分割予定ラインと直交する方向に形成された複数の第２の分割予定ラインとによって区画された複数の領域にチップが配設されたパッケージ基板を第１の分割予定ラインおよび第２の分割予定ラインに沿って切削する切削装置であって、パッケージ基板を吸引保持す保持テーブルと、保持テーブルに吸引保持されたパッケージ基板を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、保持テーブルに載置されたパッケージ基板を押圧する押圧手段とを具備し、押圧手段は第１の分割予定ラインと平行に配設され第１の分割予定ライン以外の領域を押圧する複数の第１の押圧部材を備えた第１の押圧冶具と、第２の分割予定ラインと平行に配設され第２の分割予定ライン以外の領域を押圧する複数の第２の押圧部材を備えた第２の押圧冶具とを具備している。 （もっと読む）

【課題】被加工物を吸着テーブルに載置した際に被加工物を充分な負圧で吸引保持することができる保持装置を提供する。
【解決手段】吸着表面に開口する複数個の吸引孔（１８）を有する吸着テーブル（６）と、吸着テーブル（６）の吸引孔（１８）に付設された吸引手段（８）とを具備する被加工物保持装置。吸引手段（８）はバキュームポンプ（２６）、エジェクタ（２８）及び圧縮エア供給源（Ｅ）を含み、エジェクタ（２８）はエア供給口（２８ａ）、エア排出口（２８ｂ）及び真空吸引口（２８ｃ）を有し、エジェクタ（２８）の真空吸引口（２８ｃ）は吸着テーブル（６）の吸引孔（１８）に接続され、エジェクタ（２８）のエア供給口（２８a）は圧縮エア供給源（E）に接続され、エジェクタ（２８）のエア排出口（２８ｂ）はバキュームポンプ（２６）に接続されている。 （もっと読む）

【課題】目的部分と残余部分とを完全に切り離した後でも、残余部分がすぐに切り落とされることがないようにし、残余部分を割れや欠けが無い状態で再生工程に送る。
【解決手段】切断刃１８を用いて対象物１２を切断して目的部分１４と残余部分１６とに切り分けるために、対象物１２を仮固定面２２上に固定するベース２０を備え、ベース２０の仮固定面２２には、対象物１２の被支持面２４に密着し吸気孔２６を有する複数の吸着口２８と、切断刃１８が目的部分１４と残余部分１６とを完全に切り離した直後に仮固定面２２まで食い込むように形成された逃し溝が設けられ、吸着口２８は、目的部分１４の支持面に密着するもの及び残余部分１６の支持面に密着するものを含む。 （もっと読む）

ワークピースを支持するためのシステムおよび方法は、移動可能なヘッド（２２、２０２）を伴う、複数の支持アセンブリ（１９、２００）を含む。位置誤差は、ヘッド（２２、２０２）に対して、ヘッド（２２、２０２）の異なる位置に基づいて確認され、ワークピースを支持するように、ヘッド（２２、２０２）を適切に位置付けるために使用される。他の本発明の態様は、支持アセンブリ（１９、２００）およびそのヘッド（２２、２０２）の特徴を対象とする。
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【課題】対象物の形状や大きさ等により一部の吸引孔の開口に対象物が配置されない場合にも、対象物を安定して吸着保持できると共に、より簡単な製造作業で低コストで製造することが可能であり、又、故障の頻度を減らし、耐久性を高めることができる。
【解決手段】対象物を減圧吸引により保持可能な吸引孔を有する吸着部を所定間隔で複数配置し、吸引孔の途中に収容部５２を設けて、収容部５２の真空源側の開口５２１を上側、対象物側の開口５２２を下側に配置し、収容部５２に球体６を収容し、吸引孔の対象物側の開口に対象物が配置されている場合には吸引孔で対象物を減圧吸引し、吸引孔の対象物側の開口に対象物が配置されていない場合には、外気の流入する圧力で球体６が浮上して収容部の真空源側の開口５２１を閉塞することにより、吸引孔を遮断する真空吸着装置。 （もっと読む）