【課題】研削砥石１の外径、調整車２の外径、ワーク５の外径に応じて行う調整車２の設定、調整を簡素化でき、加工精度が安定できるようにする。
【解決手段】ベッド１０上に水平スライド機構Ａを介してテーブル１１を配置し、そのテーブル１１にγ旋回スライド機構Ｂを介して旋回台１３を配置し、その旋回台１３に横スライド機構Ｃを介してアッパスライド１２を配置し、そのアッパスライド１２に調整車２を配置する。水平スライド機構Ａは、ワーク５の研削時にテーブル１１をベッド１０に対して水平方向に相対移動させることでワーク５の外径に合わせて調整車２を移動させる。γ旋回スライド機構Ｂは、旋回台１３をワーク５の軸心ｗ周りに回転移動させる。横スライド機構Ｃは、アッパスライド１２を旋回台１３に対して相対移動させる機能を有する。γ旋回スライド機構Ｂの有する機能により、旋回台１３を回転移動させることで、ワーク５の調整車２に対する心高角γが調整可能でかつ、心高角γが常に一定であるセンターレス研削盤とした。 （もっと読む）

【課題】表面に凸部が形成されたウェーハであっても、研削前の保持テーブルへの吸引保持が行われていることを確認することができる研削装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ（ワーク）１の内側１ｂに対応する部分を吸着する内部吸引部２２と、内部吸引部２２を囲繞しウェーハ１の外側１ａを吸着する外部吸引部２３と、内部吸引部２２に吸引力を発生させた際の圧力を測定する圧力測定器２４とを有する保持テーブル２１とする。保持テーブル２１にウェーハ１を設置した後、内部吸引部２２および外部吸引部２３に吸引力を発生させる前に、内部吸引部２２のみに吸引力を発生させ、圧力測定器２４により測定される圧力が所定の閾値の負圧を検出した際は研削可能と判定し、該所定の閾値の負圧を検出しない場合は研削不能と判定する。 （もっと読む）

【課題】ワークが横滑りすることを抑制すること。
【解決手段】支持部材１２０のワークＷが載置される領域内には、吸入口１２１を点対称位置として円形状の複数の穴部１２４が形成されている。このような支持部材１２０の構成によれば、支持部材１２０に形成された複数の穴部１２４が、支持部材１２０上面とワークＷの下面との間に挟まれる空気を支持部材１２０の下面側に逃すので、支持部材１２０上面にワークＷを載置するために支持部材１２０上面の数ミリ上からワークＷを落とした際、支持部材１２０上面でワークが大きく横滑りし、ワークＷを適切に支持できなくなることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】被加工物を薄化するとともに高精度に平坦化する加工方法を提供する。
【解決手段】サブストレート２３に貼り付けられた被加工物を研削して平坦化する加工方法であって、サブストレートを研削装置のチャックテーブル５０で保持するサブストレート保持ステップと、該チャックテーブルで保持された該サブストレートを研削手段１０で研削して平坦化するサブストレート平坦化ステップと、平坦化された該サブストレートに被加工物を貼り付ける貼り付けステップと、該貼り付けステップを実施した後、該被加工物の該サブストレート側を該サブストレート平坦化ステップで使用したのと同一のチャックテーブルで保持する被加工物保持ステップと、該被加工物保持ステップで該チャックテーブルに保持された該被加工物を、該サブストレート平坦化ステップで使用したのと同一の研削手段で研削して平坦化する被加工物研削ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属リング研削装置において、研削効率を向上させる。
【解決手段】金属リング研削装置において、加工ヘッド２２０に研削ブラシ４１０を取り付けるための一端が開放した円筒状の内壁を有する取付け部２１４を設け、研削ブラシの結束部材４１２は、取付け部への嵌合に適した径を有する円柱状の嵌合部４１２ｂを結束部材の結束部４１２ａの端面上において結束部と同軸上に有するものとし、加工ヘッドへの研削ブラシの取付けは、その結束部材の嵌合部を加工ヘッドの取付け部に嵌合させて行うようにし、結束部材の結束部の内径を結束部材の嵌合部の外径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】金属リング研削装置において、研削ブラシの偏磨耗を防止する。
【解決手段】金属リング研削装置において、加工ヘッド２００により各研削ブラシ２１１を回転自在に保持し、各研削ブラシに、アイドルギア２１３ａと固定ギア２１３ｂとを設け、各研削ブラシを、これらのギアの配置順が異なる第１及び第２の研削ブラシの２種類とし、第１及び第２の研削ブラシを交互に配置し、各第１研削ブラシのアイドルギアが、隣接する第２研削ブラシの固定ギアと噛み合い、各第１研削ブラシの固定ギアが、隣接する第２研削ブラシのアイドルギアと噛み合うようにする。 （もっと読む）

【課題】受止部材の構成に改良を加えると共に、位置決めの基準となる要素を適切なものとし、もってガラス基板の位置決め精度の向上を図る。
【解決手段】ガラス基板２の一辺２ａ（２ｃ）に当接可能な受止部材３と、その一辺２ａ（２ｃ）と平行な他辺２ｂ（２ｄ）に当接可能とされ且つガラス基板２を受止部材３の側に押動させる押付部材４とを備え、受止部材３を、押付部材４によるガラス基板２の押動に追従してその押動方向に移動可能となるように弾性支持すると共に、受止部材３に、その弾性支持による移動可能な状態を維持してガラス基板２の一辺２ａ（２ｃ）を当接させた状態で、押付部材４による押動時におけるガラス基板２の他辺２ｂ（２ｄ）から一辺２ａ（２ｃ）に向かう方向の変位量を基準として、ガラス基板２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】切断される部材を取り付けるための装置の改善。
【解決手段】ワークピース接合面１５２を有する板１５と、板１５内に少なくとも部分的に形成された少なくとも１つの溝を含む、ワイヤ切断装置にワークピースを取り付けるための装置。 （もっと読む）

【課題】 環状フレームをクランプしない状態で被加工物の切削を開始したり、又は押さえ部材の上面に環状フレームが載置された状態で被加工物の切削を開始して、クランプ装置や切削ブレードを破損させてしまうことのないクランプ装置を提供することである。
【解決手段】 チャックテーブルの外周に配設されて、粘着シート上に貼着された被加工物を支持する環状フレームを固定するフレームクランプ装置であって、該環状フレームを支持する支持部材と、回転軸を有し、該支持部材に固定されたエアアクチュエータと、該エアアクチュエータの該回転軸に固定され、該エアアクチュエータを駆動することによりクランプ位置と解放位置との間で回動される押さえ部材と、該押さえ部材が該クランプ位置又は該解放位置に位置づけられたことを検出する検出手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多孔質セラミックからなる保持テーブルの保持部の孔に詰まった研削屑を効果的に除去して保持部の吸引力を回復させることができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】研削加工したワークを保持テーブル２０の保持部２１上から搬出した後に保持部２１に水とエアとの混合流体を供給して保持部２１から吹き出させることにより、保持部２１内を洗浄し、保持部２１内の孔に詰まっている研削屑を除去する。 （もっと読む）