【課題】 比較的簡易な構成によって載置面に研削屑等が入り込むことを抑制することができる載置用部材を提供する。
【解決手段】 載置用部材は、試料を載置する載置面（２ａ）を備えた多孔質体からなる載置部（２）と、該載置部（２）を取り囲んで支持する支持部（３）とを有する。載置面（２ａ）の外周部に凹部（７ａ）が設けられ、該凹部（７ａ）の内面に沿って多孔質体の気孔を覆う被覆層（８）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の移動速度に変化が生じても、ガラス板と砥石との位置関係に誤差が生じることなく、ガラス板の隅部を所望に隅取りするガラス板を隅取りする方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】 ガラス板２をその一縁６と平行なＸ方向に移動させる移動手段７と、ガラス板２の一縁６側の隅部３を研削する研削工具としての環状の砥石４と、砥石４をＸ方向に直交するＹ方向に移動させる移動手段８と、ガラス板２の一縁６に対向するＸ方向に伸びた他の一縁１１側の隅部３ａを研削する研削工具としての環状の砥石５と、砥石５をＹ方向に移動させる移動手段９と、ガラス板２をＸ方向に移動させながら、ガラス板２のＸ方向の移動に応答して、砥石４及び５をＹ方向に移動させるように、移動手段８及び９を制御する制御手段１０とを具備しているガラス板隅取り装置１。 （もっと読む）

【課題】二枚のウエーハが接着された積層ウエーハの両面を安定して適性に研削可能な研削装置を提供する。
【解決手段】結晶方位を示すオリフラが形成された第１のウエーハと、第１のウエーハより小さいオリフラが形成され第１のウエーハと略同一直径の第２のウエーハとが対面して接着された積層ウエーハの両面を研削する研削装置であって、積層ウエーハを吸引保持するたチャックテーブル５４と、該チャックテーブルに保持された積層ウエーハを研削する研削手段とを具備し、該チャックテーブルの保持面は、第１のウエーハの形状に対応した第１の吸引領域５５ａと、第２のウエーハの第１のウエーハからの突出部分の形状に対応した第２の吸引領域５５ｂとを含み、第１のウエーハの露出面を研削する際は、該第１及び第２の吸引領域を作用させ、第２のウエーハの露出面を研削する際は、該第１の吸引領域を作用させて第１のウエーハを吸引保持する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーの先端部が精度良く曲面加工できる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置１０は、頂上１４ａに向かって凸である曲面を有するとともに、少なくとも頂上１４ａおよびその周囲にダイヤモンド砥石の被覆層１４ｃを有する研磨部１４と、頂上１４ａを通過する回転軸Ａで研磨部１４を回転させる回転部と、光ファイバー１２の先端部１２ａを頂上１４ａに誘導するガイド部１６とを備える。ガイド部１６は、研磨部１４と対向するように設けられ、光ファイバー１２の外径の大きさとほぼ同じ大きさの内径を有する孔２４ａが形成された管部２４を備える。さらに、ガイド部１６は、研磨部１４とは反対側で管部２４に接続された光ファイバー１２の導入部２６を有し、導入部２６はその中心に孔２６ａを備え、孔２６ａの内径の大きさは、管部２４から離れるにつれて同じままであるか、大きくなっていく。 （もっと読む）

【課題】 サイクルタイムを短縮できるようにする。
【解決手段】 キャリアのポケット４に保持されたワークＷの両端面を一対の研削砥石１によりキャリアスルー研削するに際し、キャリア３の１つのポケット４にキャリア進行方向に複数個のワークＷを投入して、キャリア３により各ワークＷを隙間なく連続状に整列させて押し込みながら研削する。研削砥石１とキャリア３は研削部２では逆方向に回転する。またポケット４に所定数のワークＷを投入し終えた後に、キャリア３によりポケット４内の先端側のワークＷを研削部２に押し込む。 （もっと読む）

【課題】 ピンの保持状態の定量的な管理を可能とし、これにより、加工精度の安定化および管理の容易化を可能とした動力伝達チェーン用ピンの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 ピン14が適正な保持力で保持されているかどうかを判定する保持力判定手段36が設けられている。保持力判定手段36は、アンローディング手段35に設けられてピン14の引き抜き力を検知するロードセル（センサ）54と、センサ54で検知されたピン14の引き抜き力が所定値を下回った場合に板ばね交換信号を出力する処理手段55とを有している。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルを冷却する機能を備えたチャックテーブル機構を提供する。
【解決手段】チャックテーブル６と、冷却媒体供給手段７とを具備するチャックテーブル機構５であって、チャックテーブル６は、保持テーブル６１と、支持部材６２とを備え、支持部材６２には冷却媒体を流す冷却媒体流通路６２２の一端に連通する第1の連通路６３３と他端に連通する第２の連通路６３４とが設けられており、冷却媒体供給手段７は、冷却媒体冷却手段７１と、冷却媒体を送給するポンプ７２と、冷却媒体送出管７３と、冷却媒体戻し管７４と、冷却媒体送出管７３と第1の連通路６３３とを連通するとともに第２の連通路６３４と冷却媒体戻し管７４とを連通する第1の形態と、冷却媒体送出管７３と該第２の連通路６３４とを連通するとともに第１の連通路６３３と冷却媒体戻し管７４とを連通する第２の形態とに切り替え可能な切り替え弁７５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】基板の研削を簡易な方法で行なう。
【解決手段】外表面および内部に連通した空隙を含み弾性力を有する平板状の基板保持部８００の一方の主表面上に基板１００を載置する工程と、基板保持部８００の他方の主表面側から脱気することにより、基板保持部８００の一方の主表面を基板１００の表面形状に沿うように変形させた状態で、基板１００を基板保持部８００を介して真空吸着して固定する工程とを備える。また、基板１００が基板保持部８００を介して固定された状態で、基板１００の基板保持部８００と接している主表面１２０とは反対側の主表面１１０を研削する工程と、上記研削する工程の後、真空吸着を解除する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はガラス基板を吸着する際の痕跡を減少させることを課題とする。
【解決手段】被研磨体吸着治具１０は、シリンダ６０と、操作部材７０と、バネ部材８０と、台座９０と、吸着パッド１００とを有する。操作部材７０は、被押圧操作部７８が押圧操作されていないとき、被押圧操作部７８がバネ部材８０のバネ力によりシリンダ６０のシリンダ室６２より上方に突出する上動位置（負圧停止位置）に保持されている。そして、操作部材７０は、被押圧操作部７８がバネ部材８０のバネ力に抗して下方に押圧操作されると、第２の連通孔７６が負圧導入孔６４に連通され、吸着パッド１００の吸着面に負圧を導入する。また、操作部材７０の押圧操作が解除されると、バネ部材８０のバネ力により上動して第１の連通孔７４が大気導入孔６６に連通される上動位置に復帰する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の無用な破損を回避することができると共に、研削位置でのガラス板の位置決め精度を高めて、面取り精度や面取り品質の向上を図る。
【解決手段】ガラス板１を上面に載せる左右一対の下側ベルト搬送機構１０と各下側ベルト搬送機構１０の上側に対に設けられた上側ベルト搬送機構２０とを備えてガラス板１を水平方向に直線搬送するガラス板搬送装置３と、搬送経路の両側方に配されて、ガラス板１の左右幅方向の端面１ａを面取りするダイヤモンドホイール２とを具備する。左右のベルト搬送機構１０、２０の一方側は固定側Ｋとして、ガラス板１を左右幅方向に移動不能に固定的に支持し、他方側は移動側Ｌとしてガラス板１を左右幅方向に移動可能に支持する。上下のベルトに挟まれる頭出し位置の直前でガラス板１とベルトの相対位置を決め、研削位置Ｔではベルトを位置決めすることで、ガラス板１の端面をダイヤモンドホイールに対して位置決めする。 （もっと読む）