【課題】加工抵抗や熱膨張などによる機械変形が生じることが無く、精度の高い加工を安定して行うことができ、さらに、機械剛性が高く、且つ、省スペース化を実現した、従来技術にはない全く新しい加工機を提供する。
【解決手段】この加工機１０は、外郭構造を形成する筺体１１と、筺体１１の一表面及び他表面に対してそれぞれ設けられ、載置されるワークＷを筺体１１の設置面と垂直方向に往復移動可能な一対のワークテーブル２１と、ワークテーブル２１に載置されるワークＷの対向する二面を加工可能なように、一対のワークテーブル２１を挟むように筺体１１に設けられる複数台の加工ヘッド３１と、を備えている。そして、この加工機１０には、一対のワークテーブル２１及び複数台の加工ヘッド３１のそれぞれに対して加わる応力の一部を筺体１１に受け持たせるモノコック構造が採用されている。 （もっと読む）

【課題】テーブル及びウェイトの往復動時の駆動速度を適正に調整することができて、テーブル及びワークの往復動に伴う慣性力を有効に相殺することができるレシプロ研削盤及びその制御方法を提供する。
【解決手段】ワーク２２を載置した状態で第１駆動装置２１により機台１１上で往復動されるテーブル１９と、そのテーブル１９の往復動に伴いテーブル１９上のワーク２２を加工するための工具１７と、第２駆動装置２６により機台１１上でテーブル１９と逆位相にて往復動されるウェイト２５とを備える。機台１１に作用する慣性変動を検出するためのセンサ２７を設ける。そのセンサ２７の検出に基づいて慣性変動が収束するように、第１駆動装置２１と第２駆動装置２６との少なくとも一方の駆動速度を制御する制御装置を設ける。 （もっと読む）

切断ホイールを具備する砥石切断機は、物体を切断するために使用される。切断機は、ベース部と、ベース部に作動的に取付けられた切断装置と、制御装置とを含む。切断装置は、旋回シャフトと、旋回シャフトに取付けられた駆動シャフトと、駆動装置と、駆動ホイールとを含む。柔軟な駆動要素が駆動シャフトと駆動ホイールを連結している。駆動ホイールの回転軸と駆動シャフトの回転軸の間の距離は、柔軟な駆動要素の張力を増減するために可変である。送りテーブルが、ベース部に作動的に取付けられており、かつ、切断ホイールの回転方向へ前後に移動可能である。切断ホイールは、切断位置に固定可能であり、かつ、送りテーブルは、制御装置により、切断ホイールに向かって自身に固定された物体と共に移動し、物体を切断する。エンクロージャーが、切断装置を取り囲んでおり、かつ、静止した側部と、開放可能な前面パネルおよび上部パネルと、を具備し、開放可能な前面パネルおよび上部パネルは、切断装置へのアクセスのために一体的な組立体として開くように、相互に、かつ、側部パネルのうちの１つのものの一部分に、ヒンジで取付けられている。
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【課題】反転テーブルの往復移動速度を大幅に高めることができ、且つ反転テーブルに起因する振動を抑制し得る平面研削盤の反転テーブル装置を提供する。
【解決手段】駆動モータ３と、駆動モータ３の駆動軸２に歯車伝達機構４を介して接続される回転軸５と、回転軸５の端部に備えた偏心ピン６と、偏心ピン６に長孔２４を介して嵌合し回転軸５の回転により偏心ピン６及び長孔２４を介して固定架台１上の一方向に往復移動する反転テーブル２１と、反転テーブルの移動を案内する直動案内部と、反転テーブル２１の往復移動に伴う固定架台１の振動を抑制する方向へ移動自在に配設されるカウンタウェイト４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】反転テーブルの往復移動速度を大幅に高められるようにした平面研削盤の反転テーブル装置を提供する。
【解決手段】駆動モータ３と、駆動モータ３の駆動軸２に歯車伝達機構４を介して接続される回転軸５と、回転軸５の端部に備えた偏心ピン６と、偏心ピン６に長孔２４を介して嵌合し回転軸５の回転により偏心ピン６及び長孔２４を介して一方向に往復移動する反転テーブル２１と、反転テーブルの移動を案内する直動案内部とを備える。 （もっと読む）

【課題】水平面内にテーブルのための広い移動スペースを確保する必要がなくて、研削盤全体を小型に構成することができるレシプロ研削盤を提供する。
【解決手段】回転砥石２９を上下方向に対して定位置に配置する。駆動軸３７を水平方向に延びるように配置する。テーブル３６を上下方向へ往復動可能に配置する。テーブル３６と駆動軸３７との間には、駆動軸３７の回転を上下方向の往復動に変換してテーブル３６に伝達するための偏心輪機構４３を介在させる。テーブル３６の往復動にともなう慣性負荷をキャンセルするためのキャンセル機構５０を設ける。テーブル３６を上下方向に往復動させて、そのテーブル３６上のワークＷに対して回転砥石２９により研削加工を施す。 （もっと読む）

【課題】往復動テーブル本体の往復動のストロークを大きく採れるようにすると共に、高速化が可能となるようにし、しかも往復動テーブル本体の振動を押えることができるようにした、往復動テーブルを提供する。
【解決手段】同期して互いに反対する方向へ同速度で同ストローク移動し得るようにした往復動テーブル本体１４及びカウンタウエイト１８と、往復動テーブル本体１４の移動方向他端側Ｂに設けられ、往復動テーブル本体１４により引っ張られて伸長されるか、若しくは往復動テーブル本体１４から力を受けて圧縮されるコイルバネ２７と、カウンタウエイト１８の移動方向他端側Ｂに設けられ、カウンタウエイト１８から力を受けて圧縮されるか若しくはカウンタウエイト１８により引っ張られて伸長されるコイルバネ２８を設ける。 （もっと読む）

【課題】送りネジ軸の一端に駆動源が連結されると共に他端が回動可能に支持され、送りネジ軸に螺合した送りナットに連結された各種摺動体が移動する構成の駆動機構において、送りネジ軸の振動を防止する。
【解決手段】駆動源が送りネジ軸に連結され、送りナットが送りネジ軸に螺合し摺動体を介して作用要素に連結された構成の駆動部を有し、駆動部により駆動されて作用要素が移動する構成の駆動機構において、送りネジ軸の自由端部の外周には送りネジ軸を支持するボールベアリング７０、７１の内輪７００、７１０が固定され、端末支持部２６においてボールベアリング７０、７１を収容する筒部２６ａの内周には、ボールベアリング７０、７１の外輪７０１、７１１を送りネジ軸２４の軸心方向に摺動可能に支持すると共に送りネジ軸２４の振動を吸収する外輪弾性体７７、７８を配設する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加工タクトを向上させるとともに、ガラス板の端面を一定の取り代で研削し、かつ、ガラス板の端面や研削手段を損傷させることがないガラス板の端面研削装置を提供する。
【解決手段】実施の形態の端面研削装置１０は、生産性の高いベルト搬送手段１２と位置決め精度の高い吸着搬送手段１４とを組み合わせ、設備を大型化させること無く、吸着搬送手段１４が持つタクトが遅いという欠点をベルト搬送手段１２で補った装置である。研削手段１６のガラス板搬送方向上流側に設けられたセンサ１８により、吸着搬送手段１４によって吸着保持されたガラス板Ｇの端面位置を一枚のガラス板Ｇにおいて複数箇所検出し、砥石６２の位置を位置制御部２０によりフィードフォワード制御する。これにより、ガラス板Ｇは、吸着搬送手段１４によって位置決めされ、かつ研削手段１６の砥石６２がガラス板Ｇの端面精度に追従して端面研削加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるスライスうねりを解消することによりウエーハの表面のナノトポグラフィを改善する方法及びワイヤソー装置を提供する。
【解決手段】インゴットからワイヤソー装置により切断したウエーハ表面のナノトポグラフィを改善する方法であって、ワイヤソー装置に具備された、ワイヤを複数のローラ間に巻き付けて形成したワイヤ列にインゴットを送るためのワーク送りテーブルの送りの真直度を改善するウエーハの表面のナノトポグラフィを改善する方法及びインゴットを切断してウエーハを製造するためのワイヤソー装置であって、ワイヤを複数のローラ間に巻き付けて形成したワイヤ列と、インゴットを固定してワイヤ列に送るためのワーク送りテーブルと、ワーク送りテーブルを直線状に案内するための直動案内とを具備し、ワーク送りテーブルの送りの真直度は波長２０〜２００ｍｍの成分がＰＶ値≦１．０μｍを満たす装置。 （もっと読む）