【課題】被研磨材間あるいは１つの被研磨材における厚さの不均一性を改善し、かつ研磨の終点制御を容易にすることができる研磨装置及び方法を提供する。
【解決手段】被研磨物を研磨するための研磨室３６と制御装置３４とを有する研磨装置であって、前記研磨室には、前記研磨室内の雰囲気の温度を測定する温度センサ４８と、研磨面１０を有する研磨テーブル１２と、前記研磨面に研磨液を供給するノズル１６とが設けられ、前記制御装置に入力された被研磨物と研磨面との接触面の温度に対する研磨目標温度の値と前記温度センサ４８により測定された値に基づいて前記研磨液の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】クーラントを用いて研削加工した被加工物の表面形状の測定を安定して行うと共に、迅速な測定を可能とする。
【解決手段】被加工物５を保持する保持手段６と、クーラント８を用いて被加工物５を研削加工する加工手段７と、被加工物５の表面形状を測定する形状測定手段１０と、保持手段６と加工手段７と形状測定手段１０とを相対的に移動させる駆動手段と、クーラント８の温度を測定するクーラント温度測定手段１５と、被加工物５の温度を測定する被加工物温度測定手段１６と、保持手段６の温度を測定する保持手段温度測定手段１７とを有する。 （もっと読む）