【目的】水蒸気単独または水素、窒素、アルゴンなどで希釈された水蒸気中に不純物として含まれる酸素を除去すると同時に、結露防止のために加熱しながら精製した場合などに二酸化炭素など微量の不純物が精製水蒸気中に検出されることがあるため、この点を改善して酸素は勿論、その他の不純物も検出下限値以下のような高純度の精製水蒸気を得る。
【構成】酸素雰囲気下での焼成処理、還元活性化処理および水蒸気による処理を施したニッケルまたは銅を主成分とする触媒に粗水蒸気を接触させる。 （もっと読む）