国際特許分類[C08F16/26]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物 (224,083) | 炭素−炭素不飽和結合のみが関与する反応によってえられる高分子化合物 (38,630) | ただ1つの炭素−炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,その少なくとも1つがアルコール,エーテル,アルデヒド,ケトン,アセタールまたはケタール基によって停止されている化合物の単独重合体または共重合体 (360) | エーテル基による (223) | 1個の不飽和脂肪族基をもつもの (146) | エーテル酸素以外の酸素を含有するもの (34)
国際特許分類[C08F16/26]に分類される特許
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重合性化合物、高分子化合物、それらを用いた組成物及び画像形成方法並びに画像形成装置
【課題】インク組成物やトナー組成物において色材や固形物の分散性を良好にする高分子化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式(2)で表される繰り返し単位構造を有する高分子化合物。
(式中、X‘はポリアルケニル繰り返し単位を表す。Aは炭素原子数1から15までの直鎖状または分岐状のアルキレン基を表す。mは0から30までの整数を表す。Bはアルキレン基を表す。Dは芳香族環構造を表す。nは0から10までの整数を表す。Rはアルキルシリル基を表す。)
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ビニルエーテル系単量体の製造方法およびそれを用いた重合体の製造方法
【課題】 少なくとも2つのヒドロキシル基を有するアルコール類から、効率よくビニルエーテル単量体を製造する。
【解決手段】 (i)一般式(1);H(OCH2CH2)q(OT)n(OR1)mOH (1)(式中、Tは炭素数1〜3のアルキレン基または炭素数6〜9のアリール鎖、OR1は炭素数2〜18のオキシアルキレン鎖を示し、qは0または1、nは0または1、mは0〜4であり、m+n+qは0ではない。)で表される少なくとも2個のヒドロキシル基を有するアルコール類から一般式(2);CH2=CH(OT)n(OR1)mOH (2)で表される化合物を得る工程(ii)一般式(2)の化合物にアルキレンオキシドを付加させ、一般式(3);CH2=CH(OT)n(OR1)pH (3)(式中、pはOR15〜300)で表される化合物および/または該化合物の誘導体を得る工程を含むことを特徴とする製造方法でビニルエーテル系単量体を得る。
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レジスト保護膜材料及びパターン形成方法
【解決手段】 下記一般式(1)で示される部分構造を有する高分子化合物を含むことを特徴とするレジスト保護膜材料。
【化1】
【効果】 本発明の液浸リソグラフィーによるパターン形成方法は、レジスト膜上に形成されるレジスト保護膜が、非水溶性でアルカリ水溶液(アルカリ現像液)に溶解可能であり、しかもレジスト膜とミキシングしないものであるので、良好な液浸リソグラフィーを行うことができ、またアルカリ現像時にレジスト膜の現像と保護膜の除去とを同時に一括して行うことができる。
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レジスト積層体の形成方法
真空紫外領域の光線を利用するフォトリソグラフィープロセスにおいて充分な反射防止効果を有し、かつ現像プロセスにおいても充分な現像特性を有するレジスト積層体を形成する。(I)基板上にフォトレジスト層(L1)を形成する工程、および(II)フォトレジスト層(L1)上に、親水性基Yを有する含フッ素重合体(A)を含むコーティング組成物を塗布することにより反射防止層(L2)を形成する工程を含むフォトレジスト積層体の形成方法であって、含フッ素重合体(A)が親水性基Yを含有する含フッ素エチレン性単量体由来の構造単位を有し、さらに該含フッ素重合体(A)が、(i)親水性基YがpKaで11以下の酸性OH基を含むこと、(ii)フッ素含有率が50質量%以上であること、および(iii)含フッ素重合体(A)100g中の親水性基Yのモル数が0.14以上であることを特徴とする。
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