国際特許分類［C23F1/16］の内容
化学；冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆；金属質材料による材料への被覆；化学的表面処理；金属質材料の拡散処理；真空蒸着，スパッタリング，イオン注入法，または化学蒸着による被覆一般；金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 機械方法によらない表面からの金属質材料の除去 (2,622) | 化学的手段による金属質材料のエッチング (1,059) | エッチング組成物 (517) | 水溶液組成物 (505) | 酸性組成物 (395)
国際特許分類［C23F1/16］の下位に属する分類
銅または銅合金をエッチングするためのもの (137)
アルミニウムまたはアルミニウム合金をエッチングするためのもの (66)
マグネシウムまたはマグネシウム合金をエッチングするためのもの (3)
シリコンまたはゲルマニウムをエッチングするためのもの (17)
耐火金属をエッチングするためのもの (60)
鉄族金属をエッチングするためのもの (49)
その他の金属質材料をエッチングするためのもの (52)
国際特許分類［C23F1/16］に分類される特許
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膜のエッチング選択比の変更方法
結晶膜のパターン形成方法を提供する。第１の原子を含む縮退格子を有する結晶膜が第１領域及び第２領域に設けられる。ドーパントが第１領域内の第１の原子を置換し、第１領域に非縮退結晶膜を形成する。第１領域及び第２領域はウェットエッチャントに晒され、ウェットエッチャントは第１領域の非縮退格子をエッチングせずに第２領域の縮退格子をエッチングする。
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