国際特許分類[C23G1/00]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 電解法以外の化学的方法による金属質材料の清浄または脱脂 (1,106) | 溶液または溶融塩を用いる金属質材料の清浄または酸洗い (502)
国際特許分類[C23G1/00]の下位に属する分類
酸性溶液によるもの (278)
アルカリ溶液によるもの (123)
中性溶液によるもの (32)
溶融塩によるもの (9)
廃液の再生 (29)
国際特許分類[C23G1/00]に分類される特許
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超臨界流体ベースの洗浄組成物および方法
マイクロエレクトロニックデバイス構造およびプロセス装置から望ましくない物質を除去するために、たとえば超臨界二酸化炭素などの超臨界流体を用いる組成物および方法。フラックスおよびはんだプリフォーム表面膜を除去するための有用性を有する、このようなタイプの一組成物には、たとえば超臨界CO2などの超臨界流体、およびたとえばキシレンなどの有機共溶媒が含まれる。半導体基板から金属、金属酸化物、金属含有エッチング後残渣およびCMP粒子を除去するための有用性を有する、このようなタイプの別の組成物には、超臨界流体および少なくとも1つのβ−ジケトンが含まれる。
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