【課題】金属表面へのめっき等の前処理として、金属表面の酸洗浄が一般に行われる。酸洗浄を行う場合、酸洗浄後の廃酸処理や、酸洗浄後の水洗に使用される多量の洗浄水の処理等が必要となり、これらの処理はコストを増大させるだけでなく、環境問題を引き起こす要因となる。
【解決手段】酸を用いずに、超臨界状態、亜臨界状態又は液体状態の高圧二酸化炭素流体と、水との混合相を調製し、金属成分が付着した基材を混合相に接触させることにより、基材から金属成分を除去する。 （もっと読む）

半導体材料処理装置のアルミニウムめっき構成要素が開示される。構成要素は、基板と、基板の少なくとも１つの表面に形成された任意の中間層とを含む。中間層は、少なくとも１つの表面を含む。基板上または任意の中間層上に、アルミニウムめっきが形成される。アルミニウムめっきが上に形成される表面は、導電性を有する。任意で、アルミニウムめっき上に陽極酸化層を形成することができる。アルミニウムめっきまたは任意の陽極酸化層は、構成要素のうちの処理にさらされる表面を備える。１つまたは複数のアルミニウムめっき構成要素を含む半導体材料処理装置、基板を処理する方法、およびアルミニウムめっき構成要素を作製する方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】 電子・機械部品に悪影響を与えることのない電子・機械部品洗浄方法を提供する。
【解決手段】 気液混合方法によって無添加生成したオゾン水を用いて電子・機械部品を洗浄する電子・機械部品洗浄方法において、当該オゾン水が含有するオゾン気泡の粒径Ｒが０＜Ｒ≦１０００ｎｍであることを特徴とする。オゾン気泡の粒径が上記範囲にあるためオゾン水から浮力を受けづらい。この結果、オゾン気泡の上昇が抑制され、その結果、容易に脱気しない。容易に脱気しないことにより充分な洗浄効果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】銅配線の腐食抑制効果（銅腐食抑制効果）が優れ、かつ接触抵抗に影響を及ぼさない銅配線用洗浄剤を提供することを目的とする。
【解決手段】銅腐食抑制剤（ＲＥ）及び水（Ｗ）を含有してなり、２５℃でのｐＨが３〜１４であり、かつ式（１）を満たしてなることを特徴とする銅配線用洗浄剤を用いる。

【数１】


｛式中、Ｅは２５℃での酸化還元電位（Ｖ、ｖｓＳＨＥ）、ｐＨは２５℃でのｐＨを表す。｝

また、上記の銅配線用洗浄剤を半導体基板又は半導体素子に連続的又は断続的に供給して、銅配線を有する半導体基板又は半導体素子を洗浄することを特徴とする半導体基板又は半導体素子の洗浄方法を用いる。
なし （もっと読む）

【課題】アルカリ溶液を使用することなく効果的に鋼板を連続洗浄する方法及び装置を提供すること。
【解決手段】過熱水蒸気吹付器１により連続走行する鋼板Ｓの両面に過熱水蒸気を吹き付け、その後、ブラシロール２ａにより鋼板Ｓの両面をブラッシングし、さらに、水噴霧器３により鋼板Ｓの両面に水を噴霧して鋼板Ｓを連続洗浄する。 （もっと読む）

【課題】安全で環境負荷物質を使用しない洗浄液を用いて効率的に有機物質を除去することができ、被洗浄物に変色やダメージを与えずに、被洗浄物から有機物質を除去する洗浄方法および超音波洗浄用洗浄剤を提供する。
【解決手段】被洗浄物を電解質水溶液に接触させつつ超音波を印加することにより被洗浄物から有機物質を除去する。その電解質水溶液はイオン強度が0.0025ｍｏｌ／ｌ乃至1.0ｍｏｌ／ｌであって溶存酸素濃度が4ｍｇ／ｌ乃至飽和濃度の無機酸塩水溶液またはホウ酸水溶液から成る。印加する超音波の周波数は100乃至400ｋHzである。 （もっと読む）

【課題】 微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法の提供。
【解決手段】 微細化多孔性材料を密閉容器中に入れ、温度と圧力を制御と調節し、高圧流体の高密度、高拡散性、低粘度、低誘電率及び極めて低い表面張力の溶剤特性を利用し、高圧流体を微細化多孔性材料の外層より微細化多孔構造を通して内層に進入させ、並びに加工過程或いは使用後に残留した汚染物或いは不純物を溶解させ、流体の流動により汚染物或いは不純物を内層より微細化多孔性材料を通して釈放させ、微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を洗浄除去する目的を達成し、加工、洗浄用水を節約し、廃水処理と汚染排出問題を減らし、操作時間を短縮し、汚染物或いは不純物の除去と分離収集を一度に完成でき、大量の電力を消耗して微細化多孔性材料を乾燥させる必要がないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
被洗浄物に粘度の高い加工油が付着している場合であっても、確実に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄システムを提供する。
【解決手段】
本発明の洗浄装置の洗浄用回転ドラム１の内部に、外部から供給された洗浄水１６を昇温させる加熱器５ａと、その加熱器５ａによって昇温された高温水を洗浄用回転ドラム１内の被洗浄物７に噴射させる複数のノズル５ｂとを備えた洗浄用シャワー装置５が配置され、洗浄用シャワー装置５の加熱器５ａは、被洗浄物７に付着した油成分を除去可能な粘度まで低下させる温度に洗浄水１６を昇温させる。 （もっと読む）

【課題】表面清浄度および耐食性に優れたステンレス鋼およびステンレス鋼管の製造方法を提供する。
【解決手段】ステンレス素鋼を冷間加工し、アルカリ液等に浸漬する浸漬脱脂を施した後、砥粒を吹き付けるブラスト法やフェルトクリーニング等を用いる機械研削による脱脂または電解研磨による脱脂を行い、続いて熱処理を行う。また、ステンレス鋼素管を同様の工程で処理することによって、ステンレス鋼管を製造することができる。冷間加工を油潤滑により行えば、表面粗さの劣化がなく、望ましい。 （もっと読む）

【課題】 導電部材の乾燥時に変色部分や腐食が発生することを防止することができる洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 洗浄装置１は、導電部材を洗浄する洗浄部５と、洗浄部５で洗浄した導電部材に対して、第二の洗浄としてのすすぎを行うすすぎ部６と、すすぎ後に水切りを行うブロー部７と、水分を完全に取り除く乾燥部８とを有している。すすぎ部６は、洗浄部５で用いられるアルカリ水よりも高温の純水を導電部材に噴き付けることで、導電部材に残留している物質や水滴を取り除く。 （もっと読む）