【課題】高分子フィルム面に所望の反射防止膜を効率的に形成可能な陽極酸化ポーラスアルミナからなる鋳型スタンパ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】下記の工程を有する、陽極酸化ポーラスアルミナからなる鋳型の製造方法。（１）アルミニウム基材の表面に陽極酸化を施してアルミナ層を形成する工程。（２）前記アルミナ層を除去する工程。（３）前記工程（２）の後、工程（１）と同一の電圧で再び陽極酸化を施して細孔を形成する工程。（４）細孔に孔径拡大処理を施す工程。 （もっと読む）

【課題】アルマイト皮膜の破損によるパーティクルの発生を確実に防止することができる基板処理装置用の部品を提供する。
【解決手段】ウエハＷにプラズマ処理を施す基板処理装置１０の部品であるクーリングプレート３６は、アルミニウムにシリコンを含む合金を主成分とするアルミニウム基材５６と、クーリングプレート３６を電源の陽極に接続し且つシュウ酸を主成分とする溶液中に浸漬する陽極酸化処理によってアルミニウム基材５６の表面に形成されたアルマイト皮膜５７とを備え、該アルマイト皮膜５７にはエチルシリケートが含浸されている。 （もっと読む）

【課題】密着性および耐食性に優れた無孔質陽極酸化皮膜を有する表面処理アルミニウム材料の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】アルミニウム材料６を電解液２中で電解する電解処理工程ｋを行うことにより、前記アルミニウム材料６の表面に無孔質陽極酸化皮膜を形成する表面処理アルミニウム材料の製造方法において、前記電解処理工程ｋは２回以上連続して行なうものであり、前半の電解処理工程が電解液２の液温を５０℃超とする高温電解処理工程であり、その後の電解処理工程が電解液２の液温を５０℃以下とする低温電解処理工程であることを特徴とする表面処理アルミニウム材料の製造方法を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】表面に微細な凹凸パターンが形成された、背面より光透過可能なインプリント用モールドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム材の陽極酸化により表面に規則的なホールアレー構造が形成されたモールドであって、アルミニウム材のさらなる陽極酸化により残りの地金アルミニウム部分まで酸化され、地金アルミニウム部分が酸化アルミニウムとされることにより全体が光透過可能に構成されているインプリント用モールド、およびその製造方法。得られた光透過性モールドは、モールドパターン部背面より、光硬化性樹脂の硬化に必要な紫外光の照射が可能であることから、光インプリントにより不透明な基板上に微細な凹凸パターンの形成を行うためのモールドとして有効である。 （もっと読む）

【課題】良好な耐食性や耐摩耗性を有することはさることながら、耐剥離性が高く、かつクラックが発生し難いアルマイト処理された部品を有する燃料ポンプと、その燃料ポンプ部品のアルマイト処理方法を提供する。
【解決手段】ポンプボデーなどの純アルミニウムまたはアルミニウム合金製の燃料ポンプ部品を、弱酸である蓚酸浴中でアルマイト処理して表面にアルマイト層１０２を形成する。次いで酢酸ニッケル水溶液中に浸漬して、アルマイト層の表面に実質的に金属塩被膜が形成されない程度にアルマイト層の細孔１０３を金属塩１０５で封孔処理することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッチング処理において、選択性を向上させる。
【解決手段】ウエハＷを導入するロード室１０２とウエハＷをリアクティブ・イオン・エッチング処理するＲＩＥ装置１とが、ゲートバルブ１０１を介して接続されている。ＲＩＥ装置１の処理室４の内面が、非水溶液での陽極酸化Ａｌ_２Ｏ_３膜によって被膜されている。前処理として酸素原子、水分子を含まないガス雰囲気中で、波長１２０ｎｍ〜１９０ｎｍの紫外線が照射装置１１２によってウエハＷに対して照射され、ウエハＷは１７０℃以上でベークされる。 （もっと読む）

【課題】金属を主成分とする被処理材の表面に、陽極酸化によりピンホールや表面荒れがなく平滑な高品質酸化物皮膜を形成する。
【解決手段】陽極酸化により、金属を主成分とする被処理材の表面に酸化物皮膜を形成するために用いる化成液であって、水と親プロトン性溶媒とを含む化成液。この親プロトン性溶媒は、非プロトン性極性溶媒であることがより好ましく、環式化合物であることがさらに好ましく、Ｎ−アルキルピロリドンであることが特に好ましい。この化成液中で、金属を主成分とする被処理材を陽極酸化する工程を含む酸化物皮膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】皮膜の欠けによるパーティクルの発生を防止することができる基板処理装置用の部品の皮膜形成方法を提供する。
【解決手段】まず、表面にアルミニウム基材が剥き出しとなったクーリングプレートを直流電源の陽極に接続して、シュウ酸溶液中に浸漬し、クーリングプレートの表面を酸化し（ステップＳ６１）、次いで、表面にアルマイト皮膜が形成されたクーリングプレートを沸騰水中に５分〜１０分に亘って浸漬する（ステップＳ６２）。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化技術を微粒子の表面処理の分野に展開し、表面に多孔性酸化膜層を有するの微粒子や、緻密な表面酸化膜層を有する微粒子を、煩雑な工程を経ることなく高スループットで製造可能な方法と、その方法により製造された微粒子を提供する。
【解決手段】単離可能な金属粒子の集合体を電解液中で陽極酸化することにより粒子表面に酸化膜層を形成することを特徴とする粒子の製造方法、およびその方法により製造された粒子。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化多孔質皮膜の作製法において、ミクロンオーダーの細孔径を形成するこ
とができるセルサイズを有するアルミナ多孔質構造体の製造方法が求められている。
【解決手段】アルミニウムを電解液に浸漬して行う陽極酸化を利用したアルミナ多孔質構
造体の製造方法であって、前記電解液が陽極酸化の設定電圧を超える絶縁破壊電圧を有し
ており、該設定電圧は２００Ｖ以上とし、０．２Ｖ／ｓｅｃ〜５Ｖ／ｓｅｃの勾配で該設
定電圧まで昇圧する電圧を印加するステップを有し、該ステップにおいて、電圧の上昇に
従って抵抗値が大きくなる領域、電圧の上昇に従って抵抗値が小さくなる領域とが存在し
、抵抗値の極大が観測される電解液条件であることを特徴とするアルミナ多孔質構造体の
製造方法。 （もっと読む）