【課題】ポンプ主要機構を三次元化した実用的な熱遷移駆動型真空ポンプを実現する。
【解決手段】平面的に配置されたキャピラリ集合体４と支持体５の上下に２つのコネクタ７が配置されており、ポンプ主要機構が三次元化された構造である。支持体５に設けられた貫通窓６を通じて前段と後段のコネクタが接続され、多段カスケード接続の熱遷移駆動型真空ポンプを実現しやすい。キャピラリ集合体４は、陽極酸化によるマクロポーラス・シリコンからなり、均一なクヌーセン数を持つ垂直方向に貫通した細孔又は細間隙を有する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑えつつ、複数箇所に空気砲を供給すること。
【解決手段】顔位置Ｐｓが基準位置Ｐｄよりも上側にある場合には（ステップＳ５０で上側判定）、チャンバ内温度Ｔｃが算出した空気砲温度Ｔａよりも高くなるように（ステップＳ７０でＹｅｓとなるように）、ペルチェ素子１４０を過熱動作させる（ステップＳ８０）。一方、顔位置Ｐｓが基準位置Ｐｄよりも下側にある場合には（ステップＳ５０で下側判定）、チャンバ内温度Ｔｃが算出した空気砲温度Ｔａよりも低くなるように（ステップＳ１００でＹｅｓとなるように）、ペルチェ素子１４０を冷却動作させる（ステップＳ１１０）。 （もっと読む）

【課題】 本発明は構造が簡単で組立性及び生産性を改善することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係る圧縮流体装置は、シリンダボア内で直線往復動するピストンにより流体吸引口が選択的に開放されながら流体吸込がなされ、シリンダボア内の高圧の流体圧力により前記バルブプレートが流体吐出口で全体的に浮遊しつつ流体吐出口が開放され流体吐出がなされ、流体吸引口は、ピストンの最大後進位置である下死点直前に位置するよう配され、これによりピストンが下死点に至る時流体吸引口が瞬間的に開放されながら流体がシリンダボア内の真空により迅速に流入され、シリンダブロックは、円形の外観構造を有する。 （もっと読む）