【課題】所要電力が最低限とされた、真空室内を超高真空とするためのシステムを提供すること。
【解決手段】真空ポンプは、格子およびサブリメーション要素を備えることが可能である。この格子は、格子開口、および、少なくとも１つの格子面によって画定され得る格子内部を有していてもよい。サブリメーション要素は、格子内部に配置されてもよく、また、昇華温度を超えてサブリメーション要素を加熱した際に、昇華して格子内部に反応膜を形成するように構成されていてもよい。反応膜は、格子開口を介して格子内部に入って反応膜と接触する気体分子を捕獲するのに効果的であり得る。 （もっと読む）

【課題】加熱用電力を外側から容器内に供給するための電流導入端子を不要とし、容易に加熱することができる非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】容器５１と、容器５１の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体５２と、容器５１の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体５２を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ５４とを有する。 （もっと読む）

【課題】排気動作が極高真空領域に入っても水素排気速度を高く維持でき、真空容器の壁部から水素が放出されにくくし、かつ真空容器から水素分子を有効に排気できる、極高真空水素ポンプ等を提供する。
【解決手段】この極高真空水素ポンプは、排気通路容器２１と、排気通路容器に取り付けられる少なくとも１台の排気素子３１Ａ，３１Ｂと、排気通路容器の内部空間に臨む熱電子放出フィラメント２６を有する電子銃２５を備える。排気素子は、素子容器３２と、３つの陰極板４１〜４３と２種の円筒陽極５１，５２とから構成される非対称の２階建て構造を有する電極構造部５０と、電極構造部の２階建て構造における高さ方向に磁界を作る永久磁石５３とを備えるように構成され、多量のゲッター合金製造能力を有する。 （もっと読む）

ゲッターポンプ（１２０；２２０）及びイオンポンプ（１３０；２３０）を含む複合型ポンプシステムは、説明される。ゲッターポンプ及びイオンポンプ（１２０，１３０；２２０，２３０）は、システムの真空レベルを改善するために、ゲッター及びイオンポンプ双方の伝導率が真空チャンバーのガス流量の源に向かって最大化されることができるように、同じフランジ（１１１；２１１）に直列に取り付けられており、それぞれそれに関して両側に配置される。
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複合排気システム（１０）は、ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）を具備する。ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）は、同じフランジ（１１）に取り付けられ、前記フランジ（１１）の同じ側の２つの異なる箇所に配置される。
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【課題】チタン等のゲッター材を蒸発させても、蒸発したゲッター材が不必要な箇所に蒸着することを防止できるゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】基材２の上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜３の上に温度センサ兼ヒータ８が葛折り状にパターニングされている。温度センサ兼ヒータ８は、下層から順に密着層４、拡散防止層５、電熱層６及び拡散防止兼密着層７を有し、温度センサ兼ヒータ８が層間絶縁膜９によって被覆されている。層間絶縁膜９の上に蒸発型のゲッター膜１０が成膜されており、ゲッター膜１０はカバー１２によって覆われている。カバー１２とゲッター膜１０との間には隙間１３があり、その隙間１３は開放されている。 （もっと読む）

【課題】低温でも蒸発してガスを吸着し得る蒸発型ゲッター材及びそれを用いたゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】基材２の上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜３の上に温度センサ兼ヒータ８が葛折り状にパターニングされている。温度センサ兼ヒータ８は、下層から順に密着層４、拡散防止層５、電熱層６及び拡散防止兼密着層７を有し、温度センサ兼ヒータ８が層間絶縁膜９によって被覆されている。層間絶縁膜９の上に蒸発型のゲッター膜１０が成膜されており、ゲッター膜１０は、サマリウム（Ｓｍ）単体からなる。 （もっと読む）

【課題】異なる非希ガスが異なる温度にて選択的に排気されるように加熱装置を有するインシトゥーゲッターポンプを提供する。
【解決手段】本ウェハー処理装置は、処理チャンバーと、チャンバーから希ガスを排気するめために処理チャンバーと結合されている低圧ポンプと、希ガス源と処理チャンバーとを結合するバルブ機構と、処理チャンバー内に配置されていると共に、希ガスの流れが前記チャンバー内へ流入する間、特定の非希ガスを排気し得るインシトゥーゲッターポンプと、処理チャンバー内に配置されるウェハーを処理するための処理システムとを備える。インシトゥーゲッターポンプは、異なる温度で異なる種類のガスを選択的に排気するために数多くの異なる温度にて作用することが好ましい。ガス分析装置は、チャンバーから排気されるガスの種類を制御すべくゲッターポンプの温度を自動的に制御するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子放出構造が簡単に構成される、低電力消費の無磁気静電サドルフィールド型スパッタイオンポンプに関する。
【解決手段】本発明に係るスパッタイオンポンプは、側壁に電子注入孔を有する真空容器と、前記真空容器の中心軸に対して対称になるように前記真空容器に設置された二本の棒状の陽極電極と、前記電子注入孔に対応して、前記真空容器の外側に設置された少なくとも一つの冷陰極電子放出装置と、を含む。 （もっと読む）

【課題】希ガスを効果的に固定化することができる希ガスの固定化装置及び固定化方法を提供する。
【解決手段】希ガスの固定化装置１０は、表面にリチウムの蒸着膜１８が形成された回転ターゲット１４と、希ガスを含むガスを導入するガス導入パイプ２３と、該ガス導入パイプ２３から導入されたガスのプラズマ柱２４を生成するためのプラズマ発生装置２１とを備えている。そして、ガス導入パイプ２３から導入されたガスを用いてプラズマ発生装置２１により希ガスのプラズマ柱２４を生成し、そのプラズマ柱２４を回転ターゲット１４表面の蒸着膜１８に照射し、希ガスを蒸着膜１８中に固定化することができるようになっている。回転ターゲット１４表面の蒸着膜１８を常温に維持するために、水道水で冷却する水冷却管１５を備えていることが好ましい。希ガスとしては、固定化の難しいヘリウムを対象とすることができる。 （もっと読む）