【課題】所要電力が最低限とされた、真空室内を超高真空とするためのシステムを提供すること。
【解決手段】真空ポンプは、格子およびサブリメーション要素を備えることが可能である。この格子は、格子開口、および、少なくとも１つの格子面によって画定され得る格子内部を有していてもよい。サブリメーション要素は、格子内部に配置されてもよく、また、昇華温度を超えてサブリメーション要素を加熱した際に、昇華して格子内部に反応膜を形成するように構成されていてもよい。反応膜は、格子開口を介して格子内部に入って反応膜と接触する気体分子を捕獲するのに効果的であり得る。 （もっと読む）

【課題】加熱用電力を外側から容器内に供給するための電流導入端子を不要とし、容易に加熱することができる非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】容器５１と、容器５１の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体５２と、容器５１の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体５２を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ５４とを有する。 （もっと読む）

複合排気システム（１０）は、ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）を具備する。ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）は、同じフランジ（１１）に取り付けられ、前記フランジ（１１）の同じ側の２つの異なる箇所に配置される。
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【課題】ガス吸着媒体及びこれを備える吸着ポンプ装置を提供する。ガス吸着媒体は、化学結合に関与しない余分の電子を含みイオン価が変化する物質で形成される層が互いに離隔されている多層の層状構造を有する。吸着ポンプ装置は、このガス吸着媒体を備える。気体吸着媒体は、各層の間に空間を確保することによって、広い表面積を確保することが可能であり、気体吸着能力の効率性を向上させることができる。 （もっと読む）