【課題】除湿機からのドレンを、吸入効率を低下させることなく圧縮機本体内に供給すると共に、吸入側ロータ軸に設けられているリップシールの寿命を延ばす。
【解決手段】水噴射式スクリュー圧縮機は、圧縮機本体１、圧縮空気と水とを分離する気水分離器６、気水分離器からの圧縮空気を導く吐出経路１９ａ，１９ｂ、前記気水分離器で分離された水を前記圧縮機本体に戻す本体給水経路７，９，９ａ、前記吐出経路に設けられた除湿機２１、この除湿機で凝縮分離されたドレンを排出するドレン排出経路２２を備えている。前記圧縮機本体の吸入側ロータ軸３Ｂ側に設けられたリップシール２９とロータ歯部３Ａの吸込側端面との間のケーシング１Ａには隔壁２８が設けられ、この隔壁内には軸封注水路２６が形成されている。また、この軸封注水路には前記ドレン排出経路が接続され、前記リップシールと前記ロータ歯部の吸込側端面との間に前記ドレンを供給する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程等において、反応性を有する特殊ガスを吸い込むような場合に好適なスクロール形真空ポンプを提供する。
【解決手段】固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを、圧縮室５内において相互に嵌入させるとともに、該旋回スクロールの端板の鏡面と当接する端面の外周側に凹設したダストシール溝部にダストシールを嵌入させ、固定スクロールに対して一定の偏心量で旋回させることにより、吸入孔から吸入した気体を、中心方向への移動に伴って圧縮して外部に排出させるスクロール形真空ポンプであって、前記ダストシール部より内周側に環状溝を設け、この環状溝に穿設した流入孔から不活性ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】ガイド部材の収容孔を高精度に作製しなくてもガイド部材が干渉することがないベーン型圧縮機を提供する。
【解決手段】ロータ本体２３に形成されたベーン溝１３に基部を支持されロータ本体２３から出没自在に配設されたベーン１５と、ベーン溝１３の底部とベーン１５との間に設けられてベーン１５をシリンダ室１７のカム面側に押圧するコイルスプリング２１と、一端がベーン１５又はベーン溝１３の底部に圧入される圧入端６９と他端がベーン１５又はベーン溝１３の底部に設けた逃げ孔６７に収容される収容端７０とが設けられコイルスプリング２１の内周に嵌装されてコイルスプリング２１の座屈を防止するガイド部材１９とを有する。コイルスプリング２１におけるガイド部材１９の収容端側の受け径ｒ１をガイド部材１９の圧入端側の受け径ｒ２より大きく設定した拡径部８０を設けた。 （もっと読む）

【課題】偏芯回転運動をする被密封平面に対して密封安定性に優れたＵ形シールを提供する。
【解決手段】横断面形状がＵ形の樹脂製シール本体10と、シール本体10の凹溝11内に装入された金属製内装弾性体20と、から成るＵ形シールに於て、シール本体10が被密封平面21，21に接触する密封部位12，12の形状が、リップを省略して平坦面状である。 （もっと読む）

【課題】鏡板と歯部との隅角部構造から生じる流体漏れを抑制し、且つ部品コストの上昇を抑制する。
【解決手段】
回転式圧縮機は、シリンダ部材（31）とピストン部材（32）とが相対的に偏心回転する。ピストン部材（32）の鏡板（32a）とシリンダ部材（31）の鏡板（31a）との前面で且つピストン部材（32）とシリンダ部材（31）とが互いに摺接する前面の少なくとも一部には、表面がシリンダ室（30a）の端面（30b）と同一面となり且つ表面に相手方部材（31，32）が摺接するシート部材（60）が設けられている。シート部材（60）は、ピストン部材（32）の鏡板（32a）の前面における歯部（32b）の分断部（3b）に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガイド部材の収容孔を高精度に作製しなくてもガイド部材が干渉することがないベーン型圧縮機を提供する。
【解決手段】ロータ本体２３に形成されたベーン溝１３に基部を支持されロータ本体２３から出没自在に配設されたベーン１５と、ベーン溝１３の底部とベーン１５との間に設けられてベーン１５をシリンダ室１７のカム面側に押圧するコイルスプリング２１と、一端がベーン１５又はベーン溝１３の底部に圧入される圧入端６９と他端がベーン１５又はベーン溝１３の底部に設けた逃げ孔６７に収容される収容端７０とが設けられコイルスプリング２１の内周に嵌装されてコイルスプリング２１の座屈を防止するガイド部材１９とを有する。ガイド部材１９の収容端７０側に圧入端６９側よりも小径の小径外径部９１を形成してガイド部材１９が逃げ孔６７に干渉することを防止する。 （もっと読む）

【課題】気体圧縮機において、ベーン背圧空間からベーン溝に至る形を流れる速度を向上させて、ベーンの突出をより迅速化する。
【解決手段】トリガーバルブ６６（圧力調整弁）の通路６６ａのうち、ベーン背圧空間６９に臨む側の開口６６ｇを、ベーン背圧空間６９の中心Ｃに対して偏心した位置で開口させて、トリガーバルブ６６によってベーン背圧空間６９内に導入された冷媒ガスＧを、ベーン背圧空間６９内で特定の方向に回転させ易くし、その回転の流れによってベーン背圧空間６９内の冷凍機油Ｒ（油分）を攪拌させ、冷凍機油Ｒをミスト化したり、冷媒ガスＧを混在させて、ベーン背圧空間６９からベーン溝５９に至る経路内での媒体（ミスト化した冷凍機油Ｒや、冷媒ガスＧが混在した冷凍機油Ｒ）の流通の抵抗を低下させ、ベーン５８の突出動作の迅速性を高める。 （もっと読む）

【課題】軸の撓みによって軸封能力が低下しない軸封構造を提供する。
【解決手段】間隔を空けて回転軸３を取り囲むハウジング１から回転軸に向かって突出し、回転軸３に垂直な環状のシール面１６を形成する第１の突出部６，７，８，１０，１１，１２，１５と、ハウジング１から軸に向かって突出し、シール面１６に対向する支持面１７を形成する第２の突出部５，６，７，９，１０，１３，１４と、第１の突出部６，７，８，１０，１１，１２，１５と第２の突出部５，６，７，９，１０，１３，１４との間に配置され、内径が軸の外形よりも僅かに大きいシールリング１８と、シールリング１８と支持面１７との間に配設され、シールリング１８をシール面１６に押圧する付勢部材１９とを有する軸封部を複数備え、ハウジング１は、隣接し合うシールリング１８の間に形成される供給空間にシール流体を供給するシール流体流路２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】気体圧縮機において、ベーン背圧空間内での液圧縮を防止して圧力調整弁に影響が及ぶのを防止する。
【解決手段】トリガーバルブ６６（圧力調整弁）の通路６６ａのうち、ベーン背圧空間６９に臨む側の開口６６ｇを、ベーン背圧空間６９の最上部６９ａよりも下方の位置で開口させることで、あるいは、ベーン背圧空間６９を、その開口６６ｇよりも上方まで広がって形成されたものとすることで、ベーン背圧空間６９内に冷媒ガスＧが閉じ込められて残存する空間６９ｂ（トリガーバルブ６６の通路６６ａの開口６６ｇよりも上方の空間）が形成され、この空間６９ｂ内には液冷媒Ｌや冷凍機油Ｒ等の液体が充填されないため、ベーン背圧空間６９内での液圧縮を防止する。 （もっと読む）

【課題】気体圧縮機において、圧力調整弁が本来予定している吐出室の圧力（静圧）で正確に開閉させる。
【解決手段】トリガーバルブ６６は、吐出室２１側においてサイクロンブロック６０から噴出する冷媒ガスＧの動圧の影響を受けないように、遠心分離方式の油分離器に設けられている。 （もっと読む）