【課題】
空気圧等の流体圧の入力圧に応じてそれに応じた超微細ストロークを発生するアクチュエータを提供する。
【解決手段】
複数の切込み２１〜２４を備えるボディ１０に対して交差するように中心部に挿通孔１２を形成するとともに、ボディ１０の端部に凹部１３を形成し、凹部１３内に収納保持される圧力板１６に連設されるロッド１７を上記挿通孔１２内に配し、ダイヤフラム１９を介して上記圧力板１６に入力圧力を印加したときに、切込み２１〜２４の根元側の連結部の弾性変形によって出力点Ｐがストロークを生ずるようにする。 （もっと読む）

【課題】ノズルフラッパ弁において、ヒステリシスを抑制することである。
【解決手段】ノズルフラッパ弁１０は、気密構造の筐体１２の中に、リニアモータ１４と、リニアモータ１４に一体として移動するフラッパ２２と、リニアモータ１４及びフラッパ２２を支持する雲形ばね２４，２６と、フラッパ２２に噴き出し開口を向けるノズル３２と、気体供給源からの供給圧Ｐｓを絞ってノズル３２と負荷に供給する気体流路の絞り装置１００が備えられる。リニアモータ１４は、筐体１２に固定される磁石１６、移動体１８、移動体１８に取り付けられるコイル２０を有し、コイル２０は、信号線２８により接続端子３０を介し制御部に接続される。 （もっと読む）